WWW.DISS.SELUK.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА
(Авторефераты, диссертации, методички, учебные программы, монографии)

 

Ярославский государственный университет им. П.Г.Демидова

СОГЛАСОВАНО УТВЕРЖДАЮ

Председатель НМК/НМС Декан физического факультета

Кузнецова И.А.

/_/ (подпись)

(подпись) (фамилия, И.О.) «_» 2011 г.

«_» _ 2011 г., протокол №

РАБОЧАЯ ПРОГРАММА

Наименование дисциплины

ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ И ПРОФИЛОМЕТРИЯ

для системы повышения квалификации в области микро- и наноэлектроники Форма обучения очная Рекомендуется в качестве программы дополнительного образования для направления подготовки 210100.62 «Электроника и наноэлектроника»

Профиль подготовки - Интегральная электроника и наноэлектроника Квалификации выпускника Оператор уникального аналитического оборудования для диагностики наноструктур и наноматериалов Ярославль 1. Цели и задачи дисциплины:

Целями освоения дисциплины являются знакомство с основными методами диагностики микро- и наноструктур изучение методов зондовой микроскопии и профилометрии при исследования структур микро- и наноэлектроники, а также получение практических навыков использования сканирующего мульти – микроскопа СММ-2000 и профилометра модели 130, необходимых для дальнейшей самостоятельной работы.

2. Место дисциплины в структуре ООП:

Дисциплина «Зондовая микроскопия и профилометрия» относится к числу специальных курсов подготовки квалифицированных специалистов в области микро- и наноэлектроники.

3. Требования к результатам освоения дисциплины:

Процесс изучения дисциплины направлен на формирование следующих компетенций:

ПК-3 готовность учитывать современные тенденции развития электроники, измерительной и вычислительной техники, информационных технологий в своей профессиональной деятельности ПК-5 способность владеть основными приемами обработки и представления экспериментальных данных ПК-6 способность собирать, обрабатывать, анализировать и систематизировать научнотехническую информацию по тематике исследования, использовать достижения отечественной и зарубежной науки, техники и технологии ПК-8 способность проводить предварительное технико-экономическое обоснование проектов ПК-9 способность осуществлять сбор и анализ исходных данных для расчета и проектирования электронных приборов, схем и устройств различного функционального назначения ПК-12 готовность осуществлять контроль соответствия разрабатываемых проектов и технической документации стандартам, техническим условиям и другим нормативным документам ПК-16 готовность организовывать метрологического обеспечение производства материалов и изделий электронной техники ПК-18 способность собирать, анализировать и систематизировать отечественную и зарубежную научно-техническую информацию по тематике исследования в области электроники и наноэлектроники ПК-21 готовность анализировать и систематизировать результаты исследований, представлять материалы в виде научных отчетов, публикаций, презентаций ПК-22 способность внедрять результаты исследований и разработок и организовывать защиту прав на объекты интеллектуальной собственности ПК-23 способность организовывать работу малых групп исполнителей ПК-25 способность выполнять задания в области сертификации технических средств, систем, процессов, оборудования и материалов ПК-27 способность налаживать, испытывать, проверять работоспособность измерительного, диагностического, технологического оборудования, используемого для решения различных научно-технических, технологических и производственных задач в области электроники и наноэлектроники ПК-28 готовность к участию в монтаже, испытаниях и сдаче в эксплуатацию опытных образцов материалов и изделий электронной техники ПК-30 готовность осуществлять регламентную проверку технического состояния оборудования, его профилактический осмотр и текущий ремонт ПК-31 способность составлять заявки на запасные детали и расходные материалы, а также на поверку и калибровку аппаратуры ПК-33 способность осваивать новые области исследований, изучать и учитывать новые проблемы в сфере физики, проектирования, технологии изготовления и применения электронных приборов и устройств, устанавливать связь прикладных научноисследовательских задач с фундаментальными законами физики ПК-34 способность применять методы математического моделирования для разработки моделей исследуемых процессов, материалов, элементов, приборов и устройств электронной техники В результате изучения дисциплины студент должен:

Иметь представление:

О физических основах методов зондовой микроскопии и профилометрии, общих направлениях развития современных методов исследования структур микро- и наноэлектроники.

Знать:

Основные физические законы, лежащие в основе современных методов исследования структур микро- и наноэлектроники. Конструкцию, технические характеристики, принципы и режимы работы зондового микроскопа и профилометра. Общую методику физического эксперимента с использованием зондового микроскопа и профилометра, специальные методики измерений. Требования к эксплуатации зондового микроскопа и профилометра. Требования к технике безопасности при работе с зондовым микроскопом и профилометром.

Уметь:

Получать изображения поверхности с помощью метода зондовой микроскопии в различных режимах. Получать профиль поверхности с помощью метода профилометрии.

Представлять и интерпретировать полученные результаты.





Иметь навыки:

Практической работы на сканирующем мульти – микроскопе СММ-2000, СММ-2000 ВАК и профилометре модели 130.

4. Объем дисциплины и виды учебной работы Самостоятельная работа (всего) Расчетно-графические работы Реферат Другие виды самостоятельной работы Освоение рекомендованной литературы, подготовка к занятиям Вид промежуточной аттестации (зачет, экзамен) 1 Общая трудоемкость 24 часа 5. Содержание дисциплины 5.1. Содержание разделов дисциплины п/п раздела дисциплины 1. Современные Введение задачи курса. Методы изучения морфологии методы поверхности (СЭМ, ПРЭМ и т.д.) Место и роль сканирующей исследования зондовой микроскопии в науке о нанообъектах морфологии Основные принципы сканирующей зондовой микроскопии.

поверхности и Общие принципы работы сканирующего зондового нанообъектов микроскопа. Сканирующая туннельная микроскопия.

Метод Атомно-силовая микроскопия. Артефакты в сканирующей сканирующей зондовой микроскопии. Источники искажений и артефактов в зондовой СЗМ. Влияние формы зондов на качество изображений в микроскопии СЗМ, эффект конволюции. Задача восстановления реальной 2. Конструкции Типы сканеров применяемых в СЗМ, основные свойства зондовых пьезокерамических материалов, устройство трубчатых микроскопов сканеров. Конструкция головки микроскопа СММ-2000.

Конструкция универсального высоковакуумного мульти микроскопа СММ-2000-ВАК. Программное обеспечение 3. Режим Подготовка к работе. Закрепление и обновление СТМ – иглы.

сканирующей Крепление образца в СТМ-режиме. Установка СТМ – микроскопии Сканирование. Выбор области сканирования. Выбор 4. Режим атомно- Подготовка к работе. Установка кантилевера в АСМ-столик.

силовой Установка образца для АСМ-режима. Установка и настройка микроскопии АСМ-столика. Включение и настройка АСМ-режима.

5. Работа с Устройство и принцип работы профилометра. Назначение и профилометром область применения профилометра. Краткое описание 5.2. Разделы дисциплин и виды занятий Современные методы исследования морфологии Метод сканирующей зондовой микроскопии Конструкциb зондовых[ микроскопов Режим сканирующей туннельной микроскопии Режим атомно-силовой микроскопии 6. Лабораторный практикум 7. Примерная тематика курсовых проектов (работ) Не предусмотрены 8. Учебно-методическое и информационное обеспечение дисциплины:

а) основная литература:

1. Логинов Б.А. Сканирующая туннельная и атомно-силовая микроскопия: работа на микроскопе СММ-2000. М.: МИФИ, 2008. 224 с.

2. Профилометр модели 130. Паспорт130..0.01-ПС. ОАО «Завод Протон – МИЭТ» М.:

2007. 25с.

3. Миронов В.Л.Основы сканирующей зондовой микроскопии. Учебное пособие для студентов старших курсов вузов. Российская академия наук, Институт физики микроструктур. Н.Новгород. 2004. 110с.

б) дополнительная литература:

1. Шульгин Б.В., Анипко А.В., Логинов Б.А., Черепанов А.Н. Методы и средства микроскопии. методические указания. Екатеринбург: ГОУ ВПО УГТУ – УПИ. 2005. 188 с.

2. Биннинг Г., Рорер Г. Сканирующая туннельная микроскопия – от рождения к юности.

Нобелевские лекции по физике. // УФН, т. 154, № 2, с. 261 (1986).

3. Неволин В. К. Основы туннельно-зондовой нанотехнологии: Учебное пособие. М.:

МГИЭТ (ТУ), 1996, 91 с.

в) программное обеспечение и Интернет-ресурсы:

http://www.uniyar.ac.ru специального программного обеспечения не требуется г) базы данных, информационно-справочные и поисковые системы http://www.uniyar.ac.ru 9. Материально-техническое обеспечение дисциплины:

• Оборудование Центра коллективного пользования диагностики микро- и наноструктур, компьютеры с доступом в Интернет 10. Методические рекомендации по организации изучения дисциплины:

Курс «Сканирующая зондовая микроскопия и профилометрия» состоит из следующих разделов:

• Современные методы исследования морфологии поверхности и нанообъектов Метод сканирующей зондовой микроскопии • Конструкции зондовых микроскопов • Режим сканирующей туннельной микроскопии • Режим атомно-силовой микроскопии • Работа с профилометром В рамках первой темы дается краткий обзор курса, разъясняются общие положения организации учебного процесса при изучении данной дисциплиныпорядок выполнения лабораторных работ. Также дается обзор учебной литературы по вопросам изучаемым в рамках данной дисциплины Во втором разделе изучаются назначение, основные принципы работы и варианты реализации сканирующих элементов. Особое внимание должно быть уделено рассмотрению вопросов, связанных с защитой СЗМ от механических вибраций, акустических шумов и термодрейфов, как наиболее критичных факторов, определяющих качество СЗМ изображений.

В разделе Режим СТМ необходимо тщательно рассмотреть суть физических явлений, лежащих в основе работы сканирующих туннельных микроскопов. В качестве конкретных примеров, играющих принципиальную роль для СТМ необходимо рассмотреть туннельный ток в системах металл-диэлектрик –металл и металл диэлектрикполупроводник.

В разделе Режим АСМ обучающимся представляется информация о назначении основных характеристиках и технологии изготовления кантилеверов, рассматриваются различные типы силового взаимодействия кантилеверов споверхностью. Также приводится кривая зависимости силы взаимодействия от расстояния между зондом и образцом и определяются участки, соответствующие различным режимам работы АСМ:

контактный, бесконтактный и полуконтактный.

При изложении материала о профилометрии описываются принципы работы современных профилометров и профилографов. Особо подчеркиваются возможности профилометров при изучении объектов и структур микроэлектроники.

Разработчики:

Доцент кафедры нанотехнологий в электронике ЯрГУ _С.А.Кривелевич Эксперты:

Кафедра микроэлектроники, заведующий кафедрой, профессор _ А.С.Рудый Кафедра нанотехнологий в электронике ЯрГУ, И.о. заведующего кафедрой _ А.Б.Чурилов

 
Похожие работы:

«ИЗВЕСТИЯ КРЫМСКОЙ АСТРОФИЗИЧЕСКОЙ Изв. Крымской Астрофиз. Обс. 109, № 1, 204222 (2013) ОБСЕРВАТОРИИ УДК 524.32 Проект HeII: эмиссионные линии ионизованного гелия в спектрах вспыхивающих звезд и звездные аналоги солнечных корональных выбросов – программа наблюдений на ВКО/Спектр-УФ Р.Е. Гершберг НИИ Крымская астрофизическая обсерватория, Научный, АР Крым, Украина, 98409 gershber@crao.crimea.ua Поступила в редакцию 1 октября 2012 г. Аннотация. Подробно рассмотрены эмиссионные линии ионизованного...»

«Профилактика ВИЧ и инфекций, передаваемых половым путем, среди работников секс-бизнеса в Восточной Европе и Центральной Азии КОЛЛЕКЦИЯ ЮНЭЙДС “ЛУЧШАЯ ПРАКТИКА” Фото и другие иллюстрации: ЮНЭЙДС / Н. Оберзаушер UNAIDS/06.10R (перевод на русский язык, сентябрь 2006 г.) Оригинал : на английском языке, UNAIDS/06.10E, май 2006 г.: HIV and sexually transmitted infection prevention among sex workers in Eastern Europe and Central Asia Перевод – ЮНЭЙДС © Объединенная программа Организации Объединенных...»

«ЧАСТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ОБРАЗОВАНИЯ МИНСКИЙ ИНСТИТУТ УПРАВЛЕНИЯ УТВЕРЖДАЮ Ректор Минского института управления Н.В. Суша 2013 г. Регистрационный № УДСТРАТЕГИЧЕСКОЕ УПРАВЛЕНИЕ Учебная программа для специальности: 1-40 01 02-05 Информационные системы и технологии (управленческая деятельность) Факультет Инженерно информационный Кафедра Менеджмента Курс 3 Семестры 5,6 Лекции Экзамен 12 Практические Зачет нет (семинарские) занятия Лабораторные Курсовой проект нет нет занятия (работа) Всего аудиторных...»

«Рассел Д. Арчибальд УПРАВЛЕНИЕ ВЫСОКОТЕХНОЛОГИЧНЫМИ ПРОГРАММАМИ И ПРОЕКТАМИ Издание третье, переработанное и дополненное MANAGING HIGH TECHNOLOGY PROGRAMS AND PROJECTS 3rd Edition Russel D. Archibald John Wiley & Sons, Inc. New York • Chichester • Brisbane • Toronto • Singapore УПРАВЛЕНИЕ ВЫСОКОТЕХНОЛОГИЧНЫМИ ПРОГРАММАМИ И ПРОЕКТАМИ Издание третье, переработанное и дополненное Рассел Д. Арчибальд Под общей редакцией...»

«Государственное бюджетное образовательное учреждение дополнительного профессионального образования Пензенский институт усовершенствования врачей Министерства здравоохранения Российской Федерации (ГБОУ ДПО ПИУВ Минздрава России) Утверждаю Проректор по научной и инновационной работе Л.В.Мельникова (подпись) 20_ г. Программа вступительных экзаменационных испытаний в ординатуру по специальности 31.08.57 Онкология Пенза 2014 Согласовано: Профессор кафедры хирургии, онкологии и эндоскопии, д.м.н....»

«Частное учреждение образования Минский институт управления УТВЕРЖДАЮ Ректор Минского института управления Н.В.Суша 2010 г. Регистрационный № УД-_/р. СУДЕБНО-БУХГАЛТЕРСКАЯ ЭКСПЕРТИЗА Учебная программа для специальности 1–25 01 08-03 Бухгалтерский учет, анализ и аудит (в коммерческих и некоммерческих организациях) Факультет учетно-финансовый Кафедра бухгалтерского учета, анализа и аудита Курс 5 Семестры 8, 9 Лекции Экзамен 6 нет Практические Зачет 2 (семинарские) занятия Лабораторные Курсовой...»

«Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Российская академия народного хозяйства и государственной службы при Президенте Российской Федерации Северо-Западный институт управления Рекомендовано для использования в учебном процессе Управление персоналом в таможенных органах [Электронный ресурс]: учебно-методический комплекс / ФГБОУ ВПО Российская академия народного хозяйства и государственной службы при Президенте Российской Федерации,...»

«УДК 519.245, 537.563.22 ЭФФЕКТИВНОЕ ИСПОЛЬЗОВАНИЕ МНОГОЯДЕРНЫХ СОПРОЦЕССОРОВ ПРИ СУПЕРКОМПЬЮТЕРНОМ СТАТИСТИЧЕСКОМ МОДЕЛИРОВАНИИ ЭЛЕКТРОННЫХ ЛАВИН1 М.А. Марченко Для моделирования развития электронных лавин в газе разработаны трехмерный параллельный алгоритм метода Монте-Карло и программа ELSHOW, реализованная с использованием комбинирования принципов крупно- и мелкозернистого параллелизма. Для реализации параллельных вычислений на высокопроизводительных гибридных вычислительных системах с...»

«Всемирная организация здравоохранения ШЕСТИДЕСЯТАЯ СЕССИЯ A60/16 ВСЕМИРНОЙ АССАМБЛЕИ ЗДРАВООХРАНЕНИЯ 22 марта 2007 г. Пункт 12.9 предварительной повестки дня Гигиена полости рта: план действий по пропаганде и комплексной профилактике болезней Доклад Секретариата 1. Болезни полости рта, такие как кариес зубов, периодонтальная болезнь, выпадение зубов, повреждения слизистой оболочки полости рта, орофарингеальный рак, симптомы ВИЧ/СПИДА в ротовой полости, язвенно-гангренозный стоматит (нома),...»

«СОДЕРЖАНИЕ 1. Общие положения 3 1.1. Основная образовательная программа (ООП) магистратуры (магистерская программа) 3 1.2. Нормативные документы для разработки магистерской программы 3 1.3. Общая характеристика магистерской программы 4 1.4 Требования к уровню подготовки, необходимому для освоения магистерской программы 5 2. Характеристика профессиональной деятельности выпускника магистерской программы 8 2.1. Область профессиональной деятельности выпускника 8 2.2. Объекты профессиональной...»

«Частное учреждение образования Минский институт управления УТВЕРЖДАЮ Ректор Минского института управления Н.В.Суша 2010 г. Регистрационный № УД-_/р. СУДЕБНО-БУХГАЛТЕРСКАЯ ЭКСПЕРТИЗА Учебная программа для специальности 1–25 01 08-03 Бухгалтерский учет, анализ и аудит (в коммерческих и некоммерческих организациях) Факультет учетно-финансовый Кафедра бухгалтерского учета, анализа и аудита Курс 5 Семестры 9, 10 Лекции Экзамен 6 нет Практические Зачет 2 (семинарские) занятия Лабораторные Курсовой...»

«Частное учреждение образования Минский институт управления УТВЕРЖДАЮ Ректор Минского института управления Н.В.Суша 2010 г. Регистрационный № УД-_/р. СУДЕБНО-БУХГАЛТЕРСКАЯ ЭКСПЕРТИЗА Учебная программа для специальности 1–25 01 08 Бухгалтерский учет, анализ и аудит Факультет учетно-финансовый Кафедра бухгалтерского учета, анализа и аудита Курс 5 Семестры 9 Лекции Экзамен 16 нет Практические Зачет 18 (семинарские) занятия Лабораторные Курсовой проект нет нет занятия (работа) Всего аудиторных...»

«Министерство образования и науки Российской Федерации Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Кемеровский технологический институт пищевой промышленности 240700 Программа подготовки Промышленная биотехнология вид профессиональной деятельности Производственно-технологическаяи научно-исследовательская от г. 22.12.2009 NQ 808 Квалификация (степень) магистр Форма обучения очная Нормативный срок освоения программы - 2 года Кемерово 1....»

«РЕГУЛИРОВАНИЕ ЗАПОЛНЕНИЯ НЕРЕСТОВЫХ РЕК ПРОИЗВОДИТЕЛЯМИ ЛОСОСЕЙ Макеев С. С. Анивский отдел ихтиологии, рыболовства, мониторинга водных биоресурсов и среды их обитания ФГУ Сахалинрыбвод 2010 г. СОДЕРЖАНИЕ О САХАЛИНСКОЙ ЛОСОСЕВОЙ ИНИЦИАТИВЕ. 3 ВВЕДЕНИЕ.. 5 ОПТИМАЛЬНОЕ ЗАПОЛНЕНИЕ НЕРЕСТИЛИЩ. 6 К ВОПРОСУ О ПОСЛЕДСТВИЯХ ПЕРЕЗАПОЛНЕНИЯ НЕРЕСТИЛИЩ ПРОИЗВОДИТЕЛЕЙ ТИХООКЕАНСКИХ ЛОСОСЕЙ. 13 ЛОСОСЬ В ЭКОСИСТЕМЕ.. 18 РЕГУЛИРОВАНИЕ ЗАПОЛНЕНИЯ НЕРЕСТИЛИЩ ПРОИЗВОДИТЕЛЯМИ ПРОМЫСЛОВЫХ ВИДОВ ЛОСОСЕЙ.....»

«LDSS-4726-RU (Rev. 8/12) ЗАЯВЛЕНИЕ/ПЕРЕОФОРМЛЕНИЕ НА ПОЛУЧЕНИЕ ЛЬГОТ ПРОГРАММЫ TANF Инструкции Запрашиваемая в этой форме информация необходима для того, чтобы определить, можно ли использовать федеральные фонды временного пособия для нуждающихся семей (Temporary Assistance for Needy Families – TANF) для предоставления Вам услуг в рамках этой программы.Дополнительная информация, касающаяся этой формы, предлагается на стр. 6 и 7. Проживают ли указанные ниже лице вместе с Вами? Отметьте нужную...»

«АДМИНИСТРАЦИЯ УСТЬ-ПРИСТАНСКОГО РАЙОНА АЛТАЙСКОГО КРАЯ ПОСТАНОВЛЕНИЕ с. Усть-Чарышская Пристань №244 12.05.2012 (дата) Об утверждении муниципальной целевой программы Развитие торговой деятельности в Усть-Пристанском районе на 2012-2016 годы В целях обеспечения дальнейшего развития торговой деятельности на территории Усть-Пристанского района и в соответствии с Федеральным законом от 28.12.2009 № 381-ФЗ Об основах государственного регулирования торговой деятельности в Российской Федерации...»

«ООП ВПО Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования 110400.68 Агрономия Башкирский государственный аграрный университет ОСНОВНАЯ ОБРАЗОВАТЕЛЬНАЯ ПРОГРАММА ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ Направление подготовки 110400.68 Агрономия Квалификация - магистр Форма обучения - очная Уфа 2013 Издание 1 страница 1 из 57 ОГЛАВЛЕНИЕ 1 Общие положения.. 2 Характеристика профессиональной деятельности выпускника ООП ВПО по направлению подготовки...»

«Стратегии поддержки потребностей беженцев и населения принимающей страны в связи с ВИЧ Совместная публикация Объединенной программы Организации Объединенных Наций по ВИЧ/СПИДу (ЮНЭЙДС) и Управления Верховного комиссара Организации Объединенных Наций по делам беженцев (УВКБ ООН) КОЛЛЕКЦИЯ ЮНЭЙДС ЛУЧШАЯ ПРАКТИКА Фото на обложке – ЮНЭЙДС/Л. Тейлор UNAIDS/06.06R (перевод на русский язык, февраль 2006 г.) Оригинал : на английском языке, UNAIDS/05.21E, октябрь 2005 г.: Strategies to support the...»

«Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Российский государственный университет нефти и газа имени И. М. Губкина Аннотация РАБОЧАЯ ПРОГРАММА РАЗДЕЛА “МОДЕЛИРОВАНИЕ СИСТЕМЫ РАЗМЕЩЕНИЯ СКВАЖИН НА ПЛОЩАДИ УЧЕБНОГО ГАЗОВОГО МЕСТОРОЖДЕНИЯ В ECLIPSE И PETREL” МЕЖДИСЦИПЛИНАРНОГО КУРСА: “ПРОЕКТИРОВАНИЕ РАЗРАБОТКИ ГАЗОВЫХ МЕСТОРОЖДЕНИЙ CИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПРОГРАММНОГО КОМПЛЕКСА AVOCET” Направление подготовки 131000“Нефтегазовое дело” Программа...»

«Рекомендации для студентов: работа в Adobe Connect Pro Общие сведения об Adobe Connect Pro Стандартные разделы интерфейса слушателя (студента) Учебная программа по дисциплине Структура учебного модуля по дисциплине Интегрированная образовательная среда (LMS) Adobe Connect Pro Учебные Учебные программы по материалы дисциплинам Доступ авторизованных Тестирование и пользователей отчетность и гостей Вебинары и занятия в виртуальных аудиториях Adobe Connect Pro: общие сведения Adobe Connect Pro –...»






 
© 2013 www.diss.seluk.ru - «Бесплатная электронная библиотека - Авторефераты, Диссертации, Монографии, Методички, учебные программы»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.