WWW.DISS.SELUK.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА
(Авторефераты, диссертации, методички, учебные программы, монографии)

 

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ

Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования

МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ИНСТИТУТ РАДИОТЕХНИКИ,

ЭЛЕКТРОНИКИ И АВТОМАТИКИ (ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)

МИРЭА

"УТВЕРЖДАЮ" "СОГЛАСОВАНО"

Председатель учебно-методической Декан факультета Электроники комиссии факультета Электроники _ Ю.К.Фетисов _ И.П.Башкатов « » 200 г.

« » 200 г.

РАБОЧАЯ ПРОГРАММА

Дисциплины «Физическая химия материалов и процессов электронной техники» (СД.02) Специальность - 210104 - «Микроэлектроника и твердотельная электроника»

Специализация - 210106 «Диэлектрические материалы и структуры электронной техники»

Очная форма образования Составлена на основании Государственных требований к минимуму содержания и уровню подготовки инженера по специальности 210104.

(Шифр по ГОСу) Факультет: Электроники Кафедра: Физики конденсированного состояния (ФКС) Москва 2008г.

1. ЦЕЛИ И ЗАДАЧИ ИЗУЧЕНИЯ ДИСЦИПЛИНЫ, ЕЕ МЕСТО В УЧЕБНОМ

ПРОЦЕССЕ

1.1.Цель изучения дисциплины.

Получение:

представления об основных закономерностях физической химии и об использовании этих законов в технологии современных электронных компонентов знаний основных законов физической химии умений применять полученные знания к управлению существующими и к разработке новых технологических процессов опыта использования и применения физико-химических процессов в современном производстве изделий электронной техники 1.2. Задачи изучения дисциплины.

Для изучения используются лекционные материалы, демонстрационные фотографии оборудования, привлекаются конкретные технологические задачи и их решения из производственного опыта преподавателя. Для проведения расчетов используются ПК 1.3. Перечень дисциплин и разделов, знания которых требуются для изучения данной дисциплины: : физика ч.5, физика твердого тела, химия, мат.анализ

2. СОДЕРЖАНИЕ ДИСЦИПЛИНЫ

2.1. Наименование тем, их содержание 2.1.1 Основные физико-химические закономерности – теоретическая база технологических процессов твердотельной электроники. Технологические процессы и их роль в процессе производства. Научные основы технологии – фундаментальные дисциплины, в том числе физическая химия. Разделы физической химии и конкретные технологические процессы, теоретической основой которых является данный раздел.

Чистота и квалификация химических веществ, используемых в технологии. Критерии экологической очистки.

2.1.2 Строение молекул. Физико-химические методы контроля в технологии.

Элементы теории строения молекул. Энергия ионизации, сродство к электрону и электроотрицательность. Эмиссионный спектральный анализ. УФ-спектроскопия.

Электронные и рентгеновские методы анализа, их применение для контроля технологических процессов. Молекулярные спектры и ИК-спектроскопия.

2.1.3 Применение первого и второго начал термодинамики к химическим процессам. Тепловые эффекты. Закон Гесса. Зависимость тепловых эффектов от температуры. Термохимические уравнения. Теплоты образования, плавления, испарения.

Максимальная работа и химическое сродство. Термодинамические потенциалы. Критерии направления процессов и условия равновесия в системах. Роль термических процессов в технологии.

2.1.4 Химическое равновесие в гомогенных системах. Обратимые и необратимые процессы. Условие равновесия в системах. Константа равновесия. Уравнения изобары и изохоры реакции. Влияние внешних условий на константу равновесия.

2.1.5 Химические процессы в гетерогенных системах. Процессы кристаллизации, легирования и очистки в технологии. Общие условия равновесия в гетерогенных системах. Правило фаз ГИББСА. Термодинамические принципы описания фаз и процессов их получения. Основные закономерности образования новой фазы. Примеси и дефекты в полупроводниковых системах. Однокомпонентные многофазные системы. Равновесные соотношения при фазовых переходах. Фазовые переходы I-го и II-го рода. Уравнение Клайперона-Клазиуса. Термодинамика растворов. Законы Рауля. Кристаллизация разбавленных растворов. Криоскопия. Давление насыщенного пара растворов.

Положительные и отрицательные отклонения от законов Рауля. Законы Коновалова.

Температуры кипения растворов и дистилляция двойных смесей. Азеотропы.

Количественные расчеты при фазовых равновесиях. Ректификация и её использование в технологии. Взаимная растворимость двух жидкостей. Третий компонент в двухслойной жидкой системе. Закон распределения. Понятие о тройных системах. Процессы кристаллизации из растворов. Р-Т-диаграммы состояний. Методы фазового анализа.

Диаграммы состояния, их виды и закономерности построения. Диаграммы состояния полупроводниковых систем и основных сплавов металлов. Процессы пайки в технологии.

Микросварка.

2.1.6 Поверхностные явления и адсорбция. Методы обработки и очистки поверхности в технологии. Понятие об адсорбции газов и паров. Физическая и химическая адсорбция. Изотермы адсорбции. Мономолекулярная и потенциальная теории адсорбции.

Влияние неоднородности поверхности и энергетики кристаллов на адсорбцию.

Поверхностная активность. Механическая обработка, шлифовка и полировка в технологии.

Химико-механическая полировка. Процессы очистки в технологии. Использование адсорбционных явлений в целях экологии.

2.1.7 Основы химической кинетики. Скорость химической кинетики. Порядок реакции и ее молекулярность. Реакции первого, второго и третьего порядков.

Экспериментальное определение порядка реакции. Ступенчатые, сопряженные и цепные реакции. Влияние температуры на скорость реакции. Теория активных соударений.

Уравнение Аррениуса. Энергия активации и ее определение. Кинетика гетерогенных процессов. Химическая и диффузионная кинетика. Гомогенный и гетерогенный катализ.

Порядок гетерогенных реакций.

2.1.8 Основы электрохимии. Электрохимические процессы в технологии.

Травление материалов. Коррозия и защита от коррозии. Растворы электролитов.

Сильные и слабые электролиты. Понятие о теории сильных электролитов. Активность.

Электропроводность растворов. Методы очистки и контроля качества воды в технологии.

Строение границы раздела электролита с металлом, полупроводником и диэлектриком.

Электрохимическая термодинамика. Электрохимическая кинетика и электродные процессы.

Перенапряжение и поляризация. Анодные электрохимические процессы на металлах и полупроводниках и их использование в технологии. Пассивация. Механизм процессов электрохимического и химического травления. Селективное и полирующее травление.

Выявление дефектов материала методами травления. Электрохимическое осаждение металлов. Теория электрокристаллизации. Использование Гальванических и химических процессов осаждения металлов в технологии. Теории коррозии металлов. Защита от коррозии.

2.1.9 Основы фотохимии. Процессы с нетермическим характером активации в технологии. Методы литографии. Первичные и вторичные фотохимические процессы.

Теория фотографических процессов, строение фотоматериалов и их обработка. Сущность современных процессов литографии. Контактная и бесконтактная оптическая фотолитография. Ультрафиолетовая фотолитография. Электроно- и ионо- литография.

Фоторезисты и электронорезисты. Характеристика основных технологических стадий процессов литографии. Физико-химические процессы в плазме и их использование в технологии.

2.2. ЛАБОРАТОРНЫЕ РАБОТЫ – не предусмотрены учебным планом

2.4. САМОСТОЯТЕЛЬНАЯ РАБОТА СТУДЕНТОВ

2.4.1. Курсовые работы – не предусмотрены учебным планом 2.4.2. Самостоятельные задания – не предусмотрены учебным планом 2.4.3. Прочие виды самостоятельной работы - подготовка к занятиям по конспектам и литературе (п.3).

3. УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ ПО ДИСЦИПЛИНЕ

3.1. Основная литература - В.А.Киреев «Курс физической химии»

3.2. Дополнительна литература:

- под ред. Я.И.Герасимова «Курс физической химии», М., 1948г.

- Л.И. Антронов «Теоретическая электрохимия», М., 1975г.

- Е.А. Ефимов, И.Г. Ерусалимчик «Электрохимия германия и кремния», М., 1963г.

- Ю.А. Карпов, А.П. Савостин, В.Д. Сальников «Аналитический контроль металлургического производства», М., 1995г.

- под ред.Я.А. Федотова и Г. Поля «Фотолитография и оптика», М.-Берлин, 1974г.

3.3. Пособия и методические указания По каждому разделу программы на лекциях даются указания по использованию тех или иных разделов дополнительной литературы 3.4. Электронные учебники, пособия, задачники, методички и т.д. Использование Интернета.

Используются подготовленные методички, включая методички по лабораторным работам.

Рабочую программу составил профессор кафедры «ФКС» Ерусалимчик И.Г.



 
Похожие работы:

«МИНОБРНАУКИ РОССИИ Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ТОНКИХ ХИМИЧЕСКИХ ТЕХНОЛОГИЙ ИМ. М.В. ЛОМОНОСОВА УТВЕРЖДАЮ Решением Ученого Совета ЕНФ От 2012 г. Протокол № Декан ЕНФ проф. Флид В.Р. ПРОГРАММА КУРСА Поверхностные явления и дисперсные системы для вступительного экзамена в магистратуру по направлению 510500 Химия (магистерская программа 510508 Коллоидная химия) Программа разработана на...»

«МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РФ Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Тверской государственный университет Химико-технологический факультет Кафедра органической химии УТВЕРЖДАЮ Декан химико-технологического ф-та С.С. Рясенский _ 2011 г. Рабочая программа дисциплины Методика преподавания химии, 3 курс (наименование дисциплины, курс) 020100.62 Химия Направление подготовки Общий Профиль подготовки Квалификация (степень...»

«МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РЕСПУБЛИКИ КАЗАХСТАН ПРОГРАММА вступительного экзамена в магистратуру по специальности 6М120200 – Ветеринарная санитария Направление: научное и педагогическое Костанай, 2014 1 Содержание Введение...4 1 Основная часть..5 1.1 Ветеринарно-санитарная экспертиза продуктов животноводства и птицеводства.5 1.2 Ветеринарно-санитарная экспертиза продуктов растениеводства, рыбоводства и пчеловодства...6 1.3 Технология, санитария, ветеринарно-санитарная экспертиза мясо -...»

«БЕЛОРУССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ УТВЕРЖДАЮ Декан химического факультета _ Д.В. Свиридов _ 2011 г. Регистрационный № УД-_/р РАСТВОРЫ ПОЛИМЕРОВ Учебная программа по специальности 1-31 05 01 Химия (по направлениям) направление специальности: 1-31 05 01-01 Химия (научно-производственная деятельность); специализация 1-31 05 01-01 05 Высокомолекулярные соединения Факультет химический Кафедра высокомолекулярных соединений Курс Семестр Лекции 30 (часов) Экзамен – 8 семестр Практические...»

«Химия (охрана окружающей среды) Химия (радиационная, химическая и биологическая защита) Информационные технологии в химии А. А. Рагойша Лекция 2 Текстовые базы данных • База данных (database) упорядоченный информационный массив, состоящий из стандартных блоков. Классификация по типу содержимого: текстовые, числовые, формульные,. Структура базы данных (с точки зрения пользователя) • Запись (record) стандартный блок информации • Поле (field) смысловой фрагмент записи Поля: текстовые, числовые и...»

«МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования КРАСНОЯРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ПЕДАГОГИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ им. В.П. АСТАФЬЕВА (КГПУ им.В.П.Астафьева) Факультет биологии, географии и химии ПРОГРАММА вступительных испытаний для поступающих в аспирантуру Направление подготовки 05.06.01 Науки о земле Программа аспирантуры Экономическая, социальная, политическая и рекреационная география...»

«Рабочая программа учебной дисциплины УТВЕРЖДАЮ Директор ИГНД: _ Е.Г. Язиков _ 2007 г. ОСНОВЫ ТЕХНОЛОГИИ ПЕРЕРАБОТКИ ЯДЕРНЫХ СЫРЬЕВЫХ РЕСУРСОВ Рабочая программа для подготовки магистров в области урановой геологии Направление 130100 – геология и разведка полезных ископаемых Институт геологии и нефтегазового дела Обеспечивающая кафедра: геоэкологии и геохимии Курс Семестр Учебный план набора 2008 года Распределение учебного времени Лекции 36 часов (ауд.) Практические занятия 36 часов (ауд.) Всего...»

«Министерство образования Республики Беларусь Учебно-методическое объединение вузов Республики Беларусь по химико-технологическому образованию УТВЕРЖДАЮ Первый заместитель Министра образования Республики Беларусь А.И.Жук 2009 г. Регистрационный № ТД-/тип. МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ Типовая учебная программа для высших учебных заведений по специальности 1-50 02 01 Конструирование и технология изделий из кожи СОГЛАСОВАНО СОГЛАСОВАНО Заместитель председателя Начальник Управления высшего и концерна Беллегпром...»

«1 Пояснительная записка. 8 класс. Общая характеристика учебного предмета Основными проблемами химии являются изучение состава и строения веществ, зависимости их свойств от строения, конструирование веществ с заданными свойствами, исследование закономерностей химических превращений и путей управления ими в целях получения веществ, материалов, энергии. Поэтому содержание программы структурировано по шести блокам: Методы познания веществ и химических явлений. Экспериментальные основы химии;...»

«МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Кузбасский государственный технический университет имени Т.Ф. Горбачева Кафедра химии и технологии неорганических веществ Рабочая программа дисциплины Научно-исследовательская работа Направление подготовки магистров 240100.68 Химическая технология Профиль 240103.68 Химическая технология неорганических веществ М3.Б.1 Трудоемкость дисциплины...»

«МИНИСТЕРСТВО СЕЛЬСКОГО ХОЗЯЙСТВА РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования КУБАНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ АГРАРНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ АННОТАЦИЯ РАБОЧЕЙ ПРОГРАММЫ по дисциплине Пищевая химия (индекс и наименование дисциплины) 260100.62 Продукты питания из Код и направление растительного сырья подготовки Профиль подготовки Квалификация Бакалавр (степень) выпускника Факультет перерабатывающих технологий Ведущий д.т.н., проф....»

«МИНИСТЕРСТВО СЕЛЬСКОГО ХОЗЯЙСТВА РФ ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ ОРЛОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ АГРАРНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ УТВЕРЖДАЮ Проректор по УР _2012г. Рабочая программа дисциплины (модуля) ГЕОГРАФИЯ ПОЧВ Направление подготовки: Агрохимия и агропочвоведение (110100) Квалификация (степень) бакалавр Форма обучения очная Орел 2012 год Составители: Степанова Л.П., д.с.х.н., профессор кафедры земледелия_ 17 апреля2012г. Рецензент:...»

«БЕЛОРУССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ХИМИЧЕСКИЙ ФАКУЛЬТЕТ КАФЕДРА АНАЛИТИЧЕСКОЙ ХИМИИ ПРОГРАММА ОБЩЕГО КУРСА АНАЛИТИЧЕСКАЯ ХИМИЯ ДЛЯ СТУДЕНТОВ 2 КУРСА ХИМИЧЕСКОГО ФАКУЛЬТЕТА СПЕЦИАЛЬНОСТИ: 1-31 05 01 – ХИМИЯ СПЕЦИАЛИЗАЦИИ: 1-31 05 01-01 Химия (научно-производственная деятельность) Лекций – 40 часов Семинарских занятий – 18 часов Лабораторных занятий – 114 часов Контроль самостоятельной работы –18 часов Составители – профессор Мечковский С.А. профессор Лещев С.М. Утверждена Советом...»

«Белорусский государственный университет УТВЕРЖДАЮ Декан химического факультета Д.В.Свиридов (дата утверждения) Регистрационный № УД-_/р. РАДИАЦИОННАЯ ХИМИЯ (название дисциплины) Учебная программа для специальности: 1-31 05 01 Химия (по направлениям) (код специальности) (наименование специальности) Направление специальности: 1-31 05 01-01 Научно-производственная деятельность Специализации: 1-31 05 01-01 12 Радиационная химия 1-31 05 01-01 13 Радиохимия Факультет _химический (название факультета)...»

«МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РФ Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Тверской государственный университет Химико-технологический факультет Кафедра неорганической и аналитической химии УТВЕРЖДАЮ Декан химико-технологического факультета С.С. Рясенский _ 2013 г. Рабочая программа дисциплины _ Неорганическая химия (1 курс) 020100.62 Химия _ (Направление подготовки) Аналитическая химия_ (Профиль подготовки) Квалификация (степень...»

«МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РФ Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Пермский государственный национальный исследовательский университет (ПГНИУ) Географический факультет Кафедра биогеоценологии и охраны природы УТВЕРЖДЕНО Декан географического факультета _ 2014 г. А.И. Зырянов ПРОГРАММА вступительного экзамена по специальности 25.00.36 Геоэкология по географическим наук ам Пермь, 2014 1 Введение В основу настоящей программы...»

«МИНИСТЕРСТВО СЕЛЬСКОГО ХОЗЯЙСТВА РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Кубанский государственный_аграрный университет Факультет перерабатывающих технологий УТВЕРЖДАЮ Декан факультета перерабаттехнологий _ А.И. Решет _ Рабочая программа дисциплины Биохимия Направление подготовки 260200.62 Продукты питания животного происхождения Квалификация (степень) выпускника Бакалавр Форма обучения очная Краснодар 2011 г....»

«Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт химии твердого тела и механохимии Сибирского отделения Российской академии наук Рабочая программа дисциплины ХЕМОМЕТРИКА основной образовательной программы послевузовского профессионального образования (аспирантура) по специальности 02.00.04 –физическая химия Рабочая программа составлена на основании паспорта научной специальности 02.00.04 – Физическая химия, в соответствии с Программой-минимум кандидатского экзамена по...»

«БЕЛОРУССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ХИМИЧЕСКИЙ ФАКУЛЬТЕТ КАФЕДРА АНАЛИТИЧЕСКОЙ ХИМИИ ПРОГРАММА СПЕЦИАЛЬНОГО КУРСА Анализ продуктов питания ДЛЯ СТУДЕНТОВ 4 КУРСА СПЕЦИАЛЬНОСТИ ХИМИЧЕСКАЯ ЭКОЛОГИЯ СПЕЦИАЛИЗАЦИИ АНАЛИТИЧЕСКАЯ ХИМИЯ Лекции – 24 часа Семинарские занятия – 6 часов Контроль самостоятельной работы – 6 часов Лабораторные занятия - 24 часа Составитель – доцент Мельситова И.В. Утверждена Советом химического факультета _ 2006г. Председатель Совета химического факультета _ Паньков В.В....»

«БЕЛОРУССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ХИМИЧЕСКИЙ ФАКУЛЬТЕТ КАФЕДРА АНАЛИТИЧЕСКОЙ ХИМИИ ПРОГРАММА ОБЩЕГО КУРСА АНАЛИТИЧЕСКАЯ ХИМИЯ ДЛЯ СТУДЕНТОВ 2 КУРСА ХИМИЧЕСКОГО ФАКУЛЬТЕТА СПЕЦИАЛЬНОСТИ: 1-31 05 01 – ХИМИЯ СПЕЦИАЛИЗАЦИИ: 1-31 05 01-03 01 Химия лекарственных препаратов, 1-31 05 01-04 01 Химическая экология Лекций – 36 часов Семинарских занятий – 16 часов Лабораторных занятий – 90 часов Контроль самостоятельной работы –10 часов Составители – профессор Мечковский С.А. профессор Лещев С.М....»








 
© 2013 www.diss.seluk.ru - «Бесплатная электронная библиотека - Авторефераты, Диссертации, Монографии, Методички, учебные программы»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.