WWW.DISS.SELUK.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА
(Авторефераты, диссертации, методички, учебные программы, монографии)

 
Копировать

На правах рукописи

Луговой Евгений Владимирович

РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ОСНОВ ЗОЛЬ-ГЕЛЬ

ТЕХНОЛОГИЙ ФОРМИРОВАНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК НА

ОСНОВЕ ОКСИДА АЛЮМИНИЯ ДЛЯ ОРГАНИЧЕСКИХ ПОЛЕВЫХ

ТРАНЗИСТОРОВ

05.27.01 – Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микрои нано- электроника, приборы на квантовых эффектах

АВТОРЕФЕРАТ

Диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Таганрог – 2013

Работа выполнена на кафедре технологии микро- и наноэлектронной аппаратуры факультета Электроники и приборостроения ФГАОУ ВПО «Южный федеральный университет».

Научный руководитель:

– доктор физико-математических наук Серба Павел Викторович (ФГАОУ ВПО «Южный федеральный университет»).

Официальные оппоненты:

– доктор физико-математических наук Лаврентьев Анатолий Александрович государственный технический университет, (Донской г. Ростов-на-Дону).

– доктор технических наук Милешко Леонид Петрович (Южный федеральный университет, г. Таганрог) Ведущее предприятие:

Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики, г. Москва.

Защита состоится «_» _20 г. в часов на заседании диссертационного совета Д 212.208.23 при Южном федеральном университете по адресу: 347922, г. Таганрог, ул. Шевченко, 2, ауд. Е-306.

С диссертацией можно ознакомиться в Зональной библиотеке Южного федерального университета по адресу: г. Ростов-на-Дону, ул. Пушкинская, 148.

Автореферат разослан «_» 20 г.

Ученый секретарь диссертационного совета доктор технических наук Старченко И.Б.

Актуальность работы. В современной технике, электронной и электротехнической промышленности пленки играют важную роль. Они находят широкое применение в микроэлектронных приборах, оптоэлектронике, датчиках, в качестве просветляющего покрытия, защитного покрытия и др. В соответствии с этим, пленки при сравнительно жестких режимах эксплуатации должны обладать стабильностью свойств, быть сравнительно технологичными и дешевыми. Из применяемых в настоящее время материалов этим требованиям удовлетворяют пленки оксида алюминия (Al2O3), которые проявляют термодинамическую устойчивость при высоких температурах, с более высокой диэлектрической проницаемостью по сравнению с диоксидом кремния (SiO2), проявляют хорошую диэлектрическую прочность, химическую и радиационную устойчивость, имеют низкую плотность поверхностных состояний.



В связи с этим актуальным является формирование микроэлектронных структур с диэлектрическими пленками Al2O3. Известно много методов формирования пленок на основе оксида алюминия. Однако имеющиеся методы позволяют получать пленки либо с высокой себестоимостью (послойное атомное осаждение), либо пленки с микро- и макродефектами. Из известных методов золь-гель метод наиболее дешевый, позволяющий получать пленки требуемого состава и стехиометрии, однако не позволяющий получать пленки высокого качества. Используя данный метод и возможности электронно-лучевого нагрева в локальной области до высоких температур, можно улучшить качество пленки.

Одним из интенсивно развивающихся направлений применения в технологии микро- и наноэлектроники золь-гель пленок Al2O3 является использование их в качестве подзатворного диэлектрика и в органических транзисторах в частности, которые в настоящее время все больше внимания привлекают разработчиков матриц для дисплеев, датчиков, электронных меток и т.д. Однако, одна из существенных проблем органических полевых транзисторов – высокое рабочее напряжение, которое может превышать несколько десятков вольт, следовательно, уменьшается КПД и, как результат, высокая рассеиваемая мощность. Емкость диэлектрика является определяющей частотные свойства транзистора. Чтобы увеличить емкость подзатворного диэлектрика необходимо увеличивать диэлектрическую проницаемость или уменьшать толщину диэлектрика, причем технология уменьшения толщины диэлектрика резко увеличивает стоимость прибора.

Поэтому более целесообразно применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью и Al2O3 в частности, так как позволяет работать при меньших рабочих напряжениях.

Так как транзисторы реализуются на органическом материале, то применение традиционных методов вакуумного получения диэлектрических пленок ограничено. Следовательно, развитие производства основывается на осаждении. Золь-гель технология наиболее предрасположена к применению для синтеза и формирования подзатворных диэлектриков на основе Al2O3.

Целью данной работы является разработка основ технологического процесса формирования диэлектрических пленок Al2O3, синтезированных золь-гель методом, для повышения функциональных и эксплуатационных характеристик органических полевых транзисторов.

Для достижения указанной цели необходимо было решить следующие задачи:

Провести анализ известных способов формирования диэлектрических пленок на основе Al2O3 для устройств микро- и наноэлектроники.

Изучить физико-химические процессы формирования золь-гель пленок на основе Al2O3 на кремниевой подложке (Al2O3/Si) при тепловом воздействии на структуру стационарным и локальным Исследовать электрофизические характеристики сформированных диэлектрических тонкопленочных структур с Al2O3.





Рассмотреть возможность формирования органических полевых транзисторов с подзатворным диэлектриком Al2O3, синтезированным золь-гель методом и сформированным высокотемпературным полем в вакууме.

Научная новизна Разработана физико-механическая модель спекания ксерогеля оксида алюминия, учитывающая динамику релаксации поверхности и кинетику спекания пористых твердых материалов.

Определена функциональная зависимость изменения толщины и шероховатости сформированных пленок Al2O3 от тепловых режимов обработки.

Установлено, что сформированные золь-гель методом пленки бемита монокристаллического сапфира.

Практическая значимость работы Определена область тепловых режимов формирования пленки в вакууме и последующей финишной электронно-лучевой обработкой, позволяющей получить однородную пленку Al2O3 с диэлектрической проницаемостью 7,2 – 7,4.

Экспериментально выявлено, что при повышении температуры отжига в вакууме до 1000 С среднеквадратичная шероховатость зольгель пленок Al2O3 снижается до 0,60 – 0,42 нм.

Разработан маршрут изготовления органического полевого транзистора с использованием Al2O3 в качестве подзатворного диэлектрика с рабочими напряжениями в области 1 – 5 В.

Положения, выносимые на защиту Физико-механическая модель спекания ксерогеля оксида алюминия.

Экспериментальные закономерности влияния режимов отжига на шероховатость поверхности, оптические и электрофизические параметры сформированных пленок Al2O3.

Экспериментально установленные режимы термического отжига в вакууме, влияющие на фазовое состояние пленок оксида алюминия.

Маршрут изготовления органического полевого транзистора с синтезированного золь-гель методом.

Личный вклад автора Автор самостоятельно выполнял экспериментальную работу по синтезу и формированию диэлектрических пленок, эллипсометрические измерения и расчеты, компьютерную обработку всех экспериментальных и аналитических данных. Принимал участие в постановке цели и задач, а также планировании экспериментов; проведении электрофизических измерений; в анализе полученных результатов и формулировке выводов; в подготовке научных публикаций.

Апробация результатов работы Основные положения диссертационной работы докладывались и обсуждались на III, V Российской СНТК «Вакуумная техника и технологии», (Казань, 2007, 2011 г.), Третьей ежегодной научной конференции студентов и международной научно-технической конференции «Микро- и нанотехнологии в электронике», (Нальчик, 2009 г.), X Всероссийской научно-технической конференции студентов и аспирантов, (Таганрог, 2010 г.), Международной радиоэлектронного приборостроения» (INTERMATIC), (Москва, 2012 г).

Результаты диссертационной работы отражены в 10 печатных работах, из них 4 статьи в изданиях, рекомендованных ВАК, и 6 работ в сборниках трудов конференций.

Структура и объем работы.

Диссертация изложена на русском языке и состоит из введения, четырех глав, общих выводов, списка литературы (115 наименований) и приложения. Общий объем диссертации 105 страниц.

СОДЕРЖАНИЕ ДИССЕРТАЦИИ

В первой главе работы представлен анализ литературных источников в области практического использования пленок Al2O3, рассмотрены методы синтеза пленок, приведены их достоинства и недостатки. Рассмотрен процесс формирования пленок на основе оксида алюминия золь-гель технологией.

Известно, что при нагревании пленок ксерогеля бемита, сначала при температуре 100–150 °С, из них удаляется нестехиометрическая вода, содержащаяся как в порах (в виде фазовых прослоек), так и внутри кристаллитов между слоями. При температуре выше 300 °С из пленок происходит удаление кислоты-стабилизатора, а при 450–500°С бемит дегидратируется, переходя в -Al2O3. Органические вещества, содержащиеся в ксерогелях (остатки спиртов в бемите, полученном из изопропилата алюминия), при температуре выше 600 °С полностью выгорают.

претерпевает ряд полиморфных превращений (рисунок 1), а при температуре выше 1100 °С переходит в устойчивую модификацию -Al2O3 (корунд). В заключение сформулирована цель и задачи работы.

Рисунок 1 – Обобщенная схема возможных переходов оксида алюминия от гидроксидов до корунда при температурном отжиге [1] протекающих в пленке при воздействии стационарного и локального теплового полей.

Известно, что в процессе формирования пленки на основе Al2O3, полученного золь-гель методом из изопропилата алюминия, наблюдается ряд полиморфных превращений. Для рассматриваемого нами случая установлен диэлектрической пленки на основе Al2O3.

повышенной температуре, что, как известно, является обязательным условием образования бемита, поскольку при низких температурах образуется гиббсит или байерит, которые не дают устойчивых золей. Следовательно, формирование оксида алюминия альфа модификации протекает согласно реакционной способности элементов системы по отношению к температуре по цепочке:

Бемит -Al2O3 -Al2O3 -Al2O3.

По результатам расчетов, используя уравнение Гиббса, получены температурные зависимости изменения изобарно-изотермического потенциала от температуры для реакций формирования оксида алюминия альфа фазы из бемита, представленные на рисунке 2.

Рисунок 2 – Изменение энергии Гиббса для реакций формирования -Al2O Дальнейшая модификация оксида алюминия в -Al2O3 вызывает значительное уменьшение значений изобарно-изотермического потенциала вплоть до температуры плавления -Al2O3.

ксерогеля оксида алюминия, синтезированного золь-гель методом, в которой принимаются во внимание релаксация поверхности и кинетика спекания твердых пористых материалов.

термическим отжигом в вакууме характеризуются шероховатостями различной амплитуды и протяженности.

Предполагается, что процесс релаксации шероховатости поверхности происходит по механизму вязкого переноса массы вещества. Кинетическое уравнение, определяющее данный процесс в пленке имеет вид:

где F =, – сила поверхностного натяжения, µ – динамическая вязкость вещества пленки.

Решение уравнения (1) для шероховатой поверхности также может быть представлено в виде суперпозиции отдельных решений:

Так как в соответствие с выражением (2) амплитуда шероховатости в процессе отжига экспоненциально убывает к нулю, то полагая, что процесс релаксации i-ой моды заканчивается, когда отношение оценить продолжительность времени релаксации:

Имея экспериментальное значение времени отжига t и определяя параметры моды i и для материала золь-гель пленки.

Рассмотрим процесс уплотнения тела, который содержит ансамбль пор, предполагая, что заполнение объема пор происходит вследствие вязкого течения вещества. Предполагается, что все поры равного размера и равномерно расположены в объеме твердого тела [2]. Отсюда можно оценить эффективное время релаксации пор в объеме материла.

Если за время отжига все поры релаксируют, то средний радиус поры в исходной пленке может быть оценен по величине усадочного объема [2]:

где n – общее число отожженных пор в объеме пленки.

Отсюда средний радиус пор в объеме пленки будет равен:

Тогда, в соответствие с зависимостью (4) начальная плотность (5) материала пленки будет равной:

Формула (5) является базовой для расчета исходной пористости объема синтезированной золь-гель методом пленки. Имея экспериментальное значение усадочного объема после отжига и зная исходную толщину пленки, можно найти 0 и по формуле (4) начальный радиус поры. Эти данные позволяют корректировать начальную стадию золь-гель процесса при синтезе пленки перед сушкой и отжигом.

Для расчета исходной пористости сформированной пленки использовались параметры средней арифметической шероховатости пленок, (таблица 1). Расчеты показали, средний размер пор в пленке Al2O3 после процесса сушки порядка 57 нм, размер пор не превышает толщину пленки, откуда можно сделать вывод, что в процессе термического отжига в вакууме будет происходить релаксация пор с переходом в монолитную пленку.

Исходная относительная плотность материала пленки после процесса сушки равна 0,407.

Таблица 1 Исходные данные для расчета начального радиуса пор Процессы электронно-лучевой обработки (ЭЛО) структуры Al2O3/Si построены на решении тепловой задачи электронно-лучевого нагрева полубесконечного изотропного тела в вакууме. Результат моделирования показан на рисунке 3. Анализ модели показал, что тепловое поле в пленке Al2O3 под лучом распределено однородно. В зонах начала и конца луча тепловое поле направлено вдоль пленки.

В результате проведенных расчетов была установлена область технологических режимов ЭЛО, позволяющая проводить финишное электронно-лучевое формирование пленок Al2O3.

Рисунок 3 – Распределение температуры в структуре Al2O3/Si при ЭЛО исследования микроструктуры поверхности, оптических, электрических характеристик синтезированных золь-гель методом и сформированных термическим отжигом в вакууме с последующей ЭЛО пленок Al2O3 от тепловых режимов обработки.

Для приготовления золя использовался пленкообразующий материал технологической целесообразности, более благоприятен вследствие его высокой чистоты (99,999%) и нейтральности для окружающей среды.

Приготовленный золь наносился на очищенную кремниевую (n-Si) подложку методом центрифугирования. Подложки предварительно проходили процесс очистки.

После синтеза образец помещался в печь, где сушился при температуре 100 – 150 °С в течение 1 – 2 ч. Процесс сушки необходим для получения пленки ксерогеля и удаления остаточного растворителя.

Далее образцы помещались в вакуумную камеру установки для последующего отжига при температурах 600 °С, 800 °С и 1000 °С при давлении 10-4 мм. рт. ст.

Финишный отжиг производился в специализированной вакуумной установке при энергии ленточного луча 3 – 3,5 кэВ и плотностью тока 100 – 150 мА/см2. Для исключения разрушения пленки образец подогревался до фоновой температуры.

При помощи микроскопа были получены сканы поверхности пленки размером 55 мкм (рисунок 4), отражающие изменение шероховатости поверхности с изменением температуры отжига.

а) – после процесса сушки при, б) – 600 °С, в) – 800 °С, г) – 1000 °С Рисунок 4 – АСМ изображения поверхности пленок Al2O3, отожженных в Обработка и анализ полученных АСМ изображений поверхности пленок Al2O3 осуществлялась с использованием программного модуля обработки изображений Image Analysis (NT-MDT). На основе анализа были получены следующие параметры (таблица 2):

Таблица 2 Параметры шероховатости поверхности Ry – размах высот исследуемой области, Rz – шероховатость поверхности по десяти выбранным максимальным высотам и впадинам исследуемой области, Ra – средняя арифметическая шероховатость, Rq – среднеквадратичная шероховатость.

Анализ результатов показывает, что при термическом отжиге в вакууме синтезированных золь-гель методом пленок Al2O3 с увеличением температуры среднеквадратичная шероховатость уменьшается в 2 раза.

Определение показателя преломления и толщины пленки Al2O выполнялось методом лазерной эллипсометрии. Вычисление основных эллипсометрических параметров ( и ) осуществлялось при комнатной температуре на ЛЭФ-3М по многоугловой методике и длине волны лазерного луча = 632,8 нм.

В результате расчетов полученных данных по методике «однородный изотропный слой на изотропной подложке» было установлено, что в процессе повышения температуры отжига наблюдается увеличение показателя преломления от 1,1 до 1,83, а толщина формируемых пленок уменьшилась со 120 до 43 нм при увеличении температуры от 600 до 1000°С (рисунок 5 а, б).

При этом показатель преломление сформированных пленок на 4% превышает показатель преломления сапфира.

Таким образом, в процессе отжига в каркасе пленки происходят структурные изменения, сопровождающиеся усадкой синтезированной зольгель пленки Al2O3 и релаксацией образовавшихся после процесса сушки пор в объеме пленки.

Рисунок 5 – Показатель преломления (а) и толщина сформированных пленок (б), измеренные методом эллипсометрии закономерность изменения толщины и шероховатости золь-гель пленок от воздействия стационарного и локального теплового поля в вакууме (рисунок 6, а, б).

Рисунок 6 – Функциональная зависимость толщины и шероховатости от Различие в ходе кривых шероховатости и толщины объясняется тем, что в начальный момент термического отжига усадка пленок и, как следствие, изменение толщины, происходит за счет релаксации пор в объеме, при этом шероховатость поверхности изменяется незначительно. Это связано с тем, что основная энергия поглощается объемом пленки. Далее пики шероховатости уменьшаются, их площадь становится больше, поглощаемая энергия увеличивается. Происходит обратный процесс: поверхность выглаживается более интенсивно, нежели релаксируют поры.

Электрические характеристики синтезированных и сформированных диэлектрик-полупроводник с никелевыми контактами для образцов, отожженных в вакууме при температуре 600 °С и 1000 °С. Полученные результаты приведены на рисунке 7 а, б.

Из полученных вольт-фарадных характеристик была рассчитана диэлектрическая проницаемость и плотность поверхностных состояний синтезированных золь-гель методом и сформированных термическим отжигом в вакууме пленок Al2O3 (таблица 3).

Рисунок 7 – Усредненные вольт-фарадные характеристики структур, Вычисление плотности поверхностных состояний проводилось методом Термана. В результате расчета плотности поверхностных состояний на границе раздела Al2O3/Si было получено значение (1-3)1011 эВ-1см-2 для образцов, отожженных при температуре 1000 °С.

Полученные результаты позволяют утверждать, что с помощью зольгель метода можно синтезировать и формировать стационарным и локальным тепловым полем в вакууме до получения требуемой плотности пленок.

Таблица 3 Диэлектрическая проницаемость и плотность поверхностных состояний пленки Al2O термического отжига, так и после электронно-лучевой обработки проводилось на многофункциональном рентгеновском фотоэлектронном микрозонде ESCALAB 250 с использованием монохроматизированного рентгеновского излучения Al Ka- линии. Рентгенэлектронные спектры уровней Al2p, представленные в таблице 4, показывают, что химическое состояние алюминия в пленке – Al2O3, как после термического отжига, так и после электронно-лучевой обработки.

Об этом говорит энергия связи Al2p, равная 74,3 эВ, характерная для сапфира, нагретого до температуры 450 °С [3].

Таблица 4 Энергия связи уровней элементов пленки Al2O3/Si Также исследования показали монотонное уменьшение углеродных загрязнений на поверхности пленок при росте температуры формирования пленок.

В четвертой главе дана оценка применения сформированной пленки Al2O3 в органических полевых транзисторах. Для описания выходных ВАХ органических транзисторов использовались уравнения, описывающие ВАХ МОП-транзисторов. Для сравнения выходных характеристик различных технологических решений использовались параметры, полученные нами из вольт-фарадных характеристик сформированных МОП-структур с параметрами транзистора, предложенными в [4]. Результаты расчета показали, что ВАХ транзистора с параметрами пленки, в данной работе, имеют в среднем токи на 28-40% превышающие токи органического транзистора с подзатворным диэлектриком Al2O3, сформированным методом послойного атомного осаждения (рисунок 8).

Проведенная оценка показывает, что диэлектрические пленки на оксида алюминия можно эффективно использовать для формирования подзатворного диэлектрика в органических полевых транзисторах. Приведен технологический маршрут изготовления органического полевого транзистора с подзатворным диэлектриком на основе оксида алюминия.

Рисунок 8 – Рассчитанные передаточная (а) и выходная (б) характеристики

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ

Разработана физико-механическая модель формирования тонких диэлектрических пленок оксида алюминия, сформированные золь-гель методом с термическим отжигом в вакууме.

Определена функциональная зависимость изменения толщины и шероховатости сформированных пленок Al2O3 от тепловых режимов обработки.

Установлено, что сформированные методом золь-гель пленки бемита после отжига в вакууме и фазовых превращений имеют диэлектрическую проницаемость на 23 – 26 % ниже монокристаллического сапфира.

Экспериментально определены закономерности влияния режимов отжига на шероховатость поверхности пленок Al2O3, показывающие снижение среднеквадратичной шероховатости от 1,1 до 0,5 нм при увеличении температуры отжига от 200 до 1000 С.

5. Получены технологические режимы формирования пленки в вакууме с последующей финишной ЭЛО, позволяющие получить однородную пленку Al2O3 с диэлектрической проницаемостью 7,2 – 7,6.

транзистора с подзатворным диэлектриком Al2O3 c рабочими напряжениями в области 1 – 5 В.

1. Hart L.D. Alumina chemicals: Science and Technology Handbook, The American Ceramic Society Inc, Weterville, Ohio, 1990. 617 p.

2. Гегузин Я.Е. Физика спекания. М.: Изд. «Наука», 1967. 360 с.

3. Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии: Пер. с англ./ Под ред. Д. Бриггса, М.П. Сиха. – М.: Мир, 1987, 600 с.

4. Low voltage organic devices and circuits with aluminum oxide thin film dielectric layer / SHANG LiWei, JI ZhuoYu, CHEN YingPin [et al.] // Science China Technological Sciences. 2011. Vol. 54. № 1. P. 95–98.

оптических характеристик стекол, модифицированных электронным лучом // Известия ЮФУ. Технические науки. 2010, №3, с. 211 – 214.

2. Луговой Е.В., Авдеев С.П., Серба П.В. О влиянии электронно-лучевой обработки на поверхность диэлектрических пленок на основе Al2O3 // Известия ЮФУ. Технические науки. 2011, №4, с. 94 – 98.

Термодинамический анализ образования метабората лантана в процессе электронно-лучевой обработки стекол // Известия ЮФУ. Технические науки.

2011, №4, с. 228 – 231.

4. Луговой Е.В., Авдеев С.П., Петров С.Н., Гаранжа С.Н., Серба П.В.

Электронно-лучевая обработка оптических компонентов на основе боролантановых стекол, применяемых в приборе ориентации по полярной звезде // Инженерный вестник Дона. 2011, №4, Т. 18, с. 165 – 176.

Публикации в других изданиях:

5. Луговой Е.В., Авдеев С.П. Электроннолучевая обработка сапфира. // Тезисы докладов III Российской СНТК «Вакуумная техника и технологии».

Казань. – 2007.

6. Луговой Е.В. Разработка технологического процесса электроннолучевой полировки лейкосапфировых пластин. // Тезисы докладов Третьей ежегодной научной конференции студентов и аспирантов базовых кафедр ЮНЦ РАН. Ростов-на-Дону –2008.

Электроннолучевая модификация поверхности деталей электронных приборов. // Микро- и нанотехнологии в электронике. // Материалы Международной научно-технической конференции. Нальчик: Каб.-Балк. ун-т, –2009. с.47–48.

8. Луговой Е.В., Авдеев С.П., Серба П.В. О формировании тонких пленок оксида алюминия электронно-лучевым отжигом, полученных золь-гель технологией. // Материалы международной научно-технической конференции «Фундаментальные (INTERMATIC). Москва.– 2012 г.

В работах, опубликованных в соавторстве, лично автору принадлежат следующие результаты:

преломления стекол и толщины оптически неоднородных слоев образцов методом эллипсометрии;

в работе [2] – разработана методика исследований и условия проведения экспериментов;

в работах [3] и [4] – обработка ленточным сканирующим электронным лучом поверхности образцов.

Автор выражает благодарность коллективу лаборатории исследования экспериментальных результатов.



 


Похожие работы:

«Назарова Виктория Валерьевна ИНТЕНСИФИКАЦИЯ ПРОЦЕССА ПРОИЗВОДСТВА ТОНКОДИСПЕРСНОГО МЕЛА ДЛЯ КОМПОЗИЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ Специальность 05.17.11 – Технология силикатных и тугоплавких неметаллических материалов АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Белгород – 2012 Работа выполнена на кафедре технологии цемента и композиционных материалов Белгородского государственного технологического университета им. В.Г. Шухова (БГТУ им. В.Г. Шухова)...»

«РАБЫШ Александр Александрович ТЕХНОЛОГИЯ БИОСТОЙКИХ ДРЕВЕСНОСТРУЖЕЧНЫХ ПЛИТ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ КОМПЛЕКСНОГО ОТВЕРДИТЕЛЯ 05.21.03 –Технология и оборудование химической переработки биомассы дерева; химия древесины АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Санкт-Петербург – 2011 Работа выполнена в Санкт-Петербургской государственной лесотехнической академии им. С.М. Кирова Научный руководитель : Заслуженный деятель науки РФ, доктор технических...»

«Гнусов Максим Александрович ОБОСНОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ КОМБИНИРОВАННЫХ РАБОЧИХ ОРГАНОВ ГРУНТОМЕТА ДЛЯ ПРОКЛАДКИ МИНЕРАЛИЗОВАННЫХ ПОЛОС В ЛЕСУ 05.21.01 – Технология и машины лесозаготовок и лесного хозяйства Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Воронеж – 2014 Работа выполнена в Федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального образования Воронежская государственная лесотехническая академия (ФГБОУ...»

«НАФИКОВА РАЙЛЯ ФААТОВНА ОДНОСТАДИЙНЫЙ СИНТЕЗ СТЕАРАТОВ ДВУХВАЛЕНТНЫХ МЕТАЛЛОВ 05.17.04 - Технология органических веществ АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Казань - 2001 Работа выполнена в Стерлитамском закрытом акционерном ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ обществе Каустик. Актуальность проблемы. Поливинилхлорид (ПВХ) и сополимеры винилхлори-да доктор химических наук, являются основой многих композиционных материалов и занимают одно из...»

«Загрутдинова Альбина Камилевна ЭЛЕКТРЕТНЫЕ БИОРАЗЛАГАЕМЫЕ КОМПОЗИЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ НА ОСНОВЕ ПОЛИОЛЕФИНОВ 05. 17. 06 – Технология и переработка полимеров и композитов АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Казань – 2010 Работа выполнена в Государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования Казанский государственный технологический университет (ГОУ ВПО КГТУ) Научный руководитель : доктор технических наук,...»

«Антонова Татьяна Степановна ОБОСНОВАНИЕ МЕТОДИКИ РАЗМЕЩЕНИЯ ЛЕСОСЕК И ТРАНСПОРТНОГО ОСВОЕНИЯ ЛЕСОВ ЛЕСОЗАГОТОВИТЕЛЬНОГО ПРЕДПРИЯТИЯ НА БАЗЕ ГЕОИНФОРМАЦИОННЫХ СИСТЕМ 05.21.01 – Технология и машины лесозаготовок и лесного хозяйства Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Санкт-Петербург – 2012 2 Работа выполнена в государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования Санкт-Петербургском государственном...»

«Савич Василий Леонидович ОБОСНОВАНИЕ ОСНОВНЫХ ПАРАМЕТРОВ ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ ВИБРОКОРЧЕВКИ ПНЕЙ И ЦЕЛЫХ ДЕРЕВЬЕВ Специальность 05.21.01 – Технология и машины лесозаготовок и лесного хозяйства Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Петрозаводск – 2013 Работа выполнена на кафедре теоретической механики и начертательной геометрии федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего профессионального образования...»

«ФАЗЫЛОВА ДИНА ИЛЬДАРОВНА РЕСУРСОСБЕРЕГАЮЩИЕ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ РЕЗИН С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ДРЕВЕСНЫХ НАПОЛНИТЕЛЕЙ И ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ 05.17.06 - Технология и переработка полимеров и композитов АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Казань – 2010 Работа выполнена в Государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования Казанский государственный технологический университет (ГОУ ВПО КГТУ) Научный руководитель :...»

«Ветюгов Александр Викторович СОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ ПРОЦЕССА ГРАНУЛИРОВАНИЯ ТОНКОДИСПЕРСНЫХ КЕРАМИЧЕСКИХ ПОРОШКОВ 05.17.08 – Процессы и аппараты химических технологий АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Иваново 2013 Работа выполнена в филиале ФГБОУ ВПО Московский государственный индустриальный университет в г. Кинешме, Ивановской области и в ФГБОУ ВПО Ивановский государственный химикотехнологический университет. - кандидат технических...»

«ЯРОШЕВСКАЯ ВЕРА АЛЕКСАНДРОВНА СИНТЕЗ, СТРОЕНИЕ, СВОЙСТВА И ВОЗМОЖНЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ ПРОИЗВОДНЫХ ИНДОЛА С ФОСФОРСОДЕРЖАЩИМИ ЗАМЕСТИТЕЛЯМИ 05.17.05 - Технология продуктов тонкого органического синтеза АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук Казань - 2000 ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ Работа выполнена в лаборатории органической химии имени академика А.Е Арбузова Введение. Индол с полным правом можно назвать уникальным соединением и...»

«Уваров Илья Владимирович РЕЗОНАНСНЫЕ СВОЙСТВА ТРЕХСЛОЙНЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ КАНТИЛЕВЕРОВ НАНОРАЗМЕРНОЙ ТОЛЩИНЫ 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микрои наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Ярославль – 2013 Работа выполнена в Ярославском филиале Федерального государственного бюджетного учреждения науки Физико-технологического института РАН и на кафедре...»

«РЫЖУК Роман Валериевич РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ОСНОВ ФОРМИРОВАНИЯ ДИОДНЫХ ИОННО-ЛЕГИРОВАННЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ КАРБИДА КРЕМНИЯ Специальность: 05.27.01 – Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах АВТОРЕФЕРАТ д исс ер т а ц и и на соискание ученой степени кандидата технических наук Таганрог – 2010 2 Работа выполнена в Технологическом институте Южного федерального университета в г. Таганроге...»

«ШУМИЛОВ АНДРЕЙ СТАНИСЛАВОВИЧ МОДЕЛИРОВАНИЕ ФОРМИРОВАНИЯ ГЛУБОКИХ КАНАВОК В КРЕМНИИ В BOSCH-ПРОЦЕССЕ Специальность 05.27.01. – твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Москва – 2009 1 Работа выполнена в Ярославском филиале Учреждения Российской академии наук Физико-технологический институт (ФТИАН) Научный руководитель :...»

«ТЮРИН Алексей Николаевич ОБОСНОВАНИЕ МЕТОДИКИ ПРОЕКТИРОВАНИЯ ЛЕСОСЕЧНО-ТРАНСПОРТНЫХ ПРОЦЕССОВ НА БАЗЕ ГЕОИНФОРМАЦИОННЫХ СИСТЕМ И ГЛОБАЛЬНЫХ СИСТЕМ ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ 05.21.01.- Технология и машины лесозаготовок и лесного хозяйства АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Санкт-Петербург – 2010 2 Работа выполнена на кафедре Технологии лесозаготовительных производств в Санкт-Петербургской государственной лесотехнической академии имени С.М....»

«Тимонина Анна Владимировна Получение и исследование свойств материалов на основе нанокристаллов соединений AIIBVI Специальность 05.27.06 технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Москва 2014 Работа выполнена в Федеральном государственном бюджетном учреждении науки Институт физики твердого тела Российской академии наук (ИФТТ РАН)...»

«ЕВСЕЕНКО ВЕРОНИКА ИВАНОВНА ПРОЦЕССЫ ПОЛУЧЕНИЯ ВИСМУТА ВИННОКИСЛОГО И ГАЛЛОВОКИСЛОГО ОСНОВНОГО ВЫСОКОЙ ЧИСТОТЫ ИЗ НИТРАТНЫХ РАСТВОРОВ 05.17.01 – Технология неорганических веществ АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук Красноярск - 2008 Работа выполнена в Институте химии твердого тела и механохимии Сибирского отделения Российской Академии наук кандидат химических наук Научный руководитель : Логутенко Ольга Алексеевна доктор химических...»

«Бисингалиева Зияда Халмяровна ИССЛЕДОВАНИЕ ФАКТОРОВ И РАЗРАБОТКА МЕТОДА ПРЕДОТВРАЩЕНИЯ ПОЖЕЛТЕНИЯ ШЕРСТИ ПРИ ХРАНЕНИИ Специальность 05.19.08– Товароведение промышленных товаров и сырья легкой промышленности АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Москва 2008 Работа выполнена в ФГОУ ВПО Московская государственная академия ветеринарной медицины и биотехнологии им. К.И. Скрябина Научные руководители: доктор технических наук, профессор...»

«СКУРИХИН Александр Аркадьевич ПОЛУЧЕНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ПОВЕДЕНИЯ МОДИФИЦИРОВАННЫХ МЕТАЛЛАМИ ОКИСЛЕННЫХ И ТЕРМОРАСШИРЕННЫХ ГРАФИТОВ Специальность 05.17.03 – Технология электрохимических процессов и защита от коррозии АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Иваново 2008 Работа выполнена в ГОУВПО “Ивановский государственный химикотехнологический университет” на кафедре технологии электрохимических производств. –...»

«Бажанова Анна Геннадьевна ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ПОЛУЧЕНИЕ МАГНЕТИТА ДЛЯ СИНТЕЗА МАГНИТНЫХ ЖИДКОСТЕЙ 05.17.03. – Технология электрохимических процессов и защита от коррозии АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Иваново – 2011 2 Работа выполнена в ГОУ ВПО Ярославский государственный технический университет на кафедре Охрана труда и природы и в ГОУ ВПО Ивановский государственный химико-технологический университет на кафедре Технология...»

«ПАЛАТНИКОВ МИХАИЛ НИКОЛАЕВИЧ МАТЕРИАЛЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ НА ОСНОВЕ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МОНОКРИСТАЛЛОВ И КЕРАМИЧЕСКИХ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ НИОБАТОВ-ТАНТАЛАТОВ ЩЕЛОЧНЫХ МЕТАЛЛОВ С МИКРО- И НАНОСТРУКТУРАМИ Специальность 05.17.01 – Технология неорганических веществ Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук Апатиты 2011 Работа выполнена в Учреждении Российской академии наук Институт химии и технологии редких элементов и минерального сырья им....»








 
© 2013 www.diss.seluk.ru - «Бесплатная электронная библиотека - Авторефераты, Диссертации, Монографии, Методички, учебные программы»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.