WWW.DISS.SELUK.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА
(Авторефераты, диссертации, методички, учебные программы, монографии)

 

Математическое моделирование тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем датчиков давления

На правах рукописи

ЧЕРНОВ Павел Сергеевич

МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ

ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ

НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ

ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ

Специальность 05.13.18 – Математическое моделирование,

численные методы и комплексы программ

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

ПЕНЗА 2011

Работа выполнена в государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования «Пензенский государственный университет».

Научный руководитель – доктор технических наук, профессор Васильев Валерий Анатольевич.

Официальные оппоненты: доктор технических наук, профессор Бутаев Михаил Матвеевич;

кандидат технических наук Цибизов Павел Николаевич.

Ведущая организация – ОАО «НИИ физических измерений»

(г. Пенза).

Защита диссертации состоится « 28 » июня 2011 г., в 14 часов, на заседании диссертационного совета Д 212.186.04 в государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования «Пензенский государственный университет» по адресу: 440026, г. Пенза, ул. Красная, 40.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке государственного образовательного учреждения высшего профессионального образования «Пензенский государственный университет», автореферат размещен на сайте www.pnzgu.ru Автореферат разослан « 26 » мая 2011 г.

Ученый секретарь диссертационного совета доктор технических наук, профессор В. В. Смогунов

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы. Бурное развитие вычислительной техники открывает новые возможности в исследовании различных физических процессов и создании приборов с заданными техническими характеристиками. Современные технологии математического моделирования и вычислительного эксперимента позволяют эффективно решать многие научные и технические задачи, ранее казавшиеся неразрешимыми.




Проблемами математического моделирования в России занимаются Институт математического моделирования РАН, Институт вычислительного моделирования СО РАН, Институт вычислительной математики РАН, Вычислительный центр РАН, Институт информатики и математического моделирования, МГУ, МФТИ и другие научноисследовательские организации и высшие учебные заведения.

Значительный вклад в теорию и практику математического моделирования внесли В. К. Андреев, Н. С. Бахвалов, П. Н. Вабищевич, П. П. Волосевич, Ю. Г. Евтушенко, Т. Г. Елизарова, Н. Н. Калиткин, Ю. Н. Карамзин, А. В. Колдоба, Ю. А. Криксин, О. Ю. Милюкова, Ю. А. Повещенко, В. А. Путилов, А. А. Самарский, И. М. Соболь, В. Ф. Тишкин, Б. Н. Четвертушкин, В. В. Шайдуров, Г. В. Шпатаковская, М. В. Якобовский и др.

Разработка датчиков давления нового поколения немыслима без применения математического моделирования, численных методов, использования комплексов программ. Основой современных тонкопленочных датчиков давления являются нано- и микроэлектромеханические системы (НиМЭМС), состоящие из упругого элемента и сформированной на его поверхности структуры из нано- и микроразмерных пленок. Геометрия упругого элемента, морфология и свойства тонких пленок, а также топология измерительной схемы во многом определяют чувствительность и точность датчиков давления.

Несмотря на большой объем исследований, проведенных учеными разных стран, многие вопросы по оптимальному построению НиМЭМС остаются нерешенными. Не исследованы деформации упругих элементов НиМЭМС сложной формы, таких как мембрана с жестким центром, под воздействием давления на предмет определения оптимальных геометрических параметров и зон расположения тензоэлементов в целях повышения чувствительности и уменьшения погрешности от нелинейности датчика. Недостаточно исследовано воздействие термоудара на элементы НиМЭМС, в частности на мембрану с жестким центром, в то время как это воздействие может приводить к погрешности в 30–60%. Мало изучено влияние температуры подложки, скорости и времени осаждения тонких пленок на их морфологию поверхности, которая влияет на характеристики датчиков.

В связи с этим актуальны исследования параметров и характеристик НиМЭМС методами математического моделирования, разработка алгоритмов и программ, позволяющих моделировать процесс роста поверхности тонких пленок, воздействие давления и температур на элементы НиМЭМС с целью решения задач повышения чувствительности и уменьшения погрешностей датчиков давления.

Целью диссертационной работы является применение современной технологии математического моделирования, численных методов и комплекса программ для исследования физических процессов в тонкопленочных НиМЭМС и решения задач повышения чувствительности и уменьшения погрешностей датчиков давления.

Задачи диссертационной работы:

1 Разработка модели роста поверхности тонких пленок НиМЭМС, позволяющей учитывать поверхностную диффузию осаждаемых частиц, температуру подложки, скорость и время осаждения.

2 Разработка алгоритма и программной реализации предложенной модели, позволяющих определять параметры, характеризующие морфологию поверхности, и исследовать влияние на них температуры подложки, скорости и времени осаждения.





3 Проверка адекватности модели сопоставлением результатов моделирования с данными атомно-силовой микроскопии поверхностей экспериментально полученных образцов тонких пленок.

4 Реализация метода конечных элементов в виде комплекса программ, позволяющих моделировать воздействие давления и термоудара на НиМЭМС датчиков давления и изучать влияние геометрических параметров упругого элемента на распределения деформаций и температур.

5 Применение математического моделирования, численных методов и комплекса программ для установления зависимостей между параметрами упругого элемента НиМЭМС и решения задач повышения чувствительности и уменьшения погрешностей датчиков давления.

Методы исследований. Теоретические исследования проводились с использованием методов статистической физики, теории клеточных автоматов, численных методов Монте-Карло, метода конечных элементов, теории механики деформируемого тела, теплопроводности и термоупругости. В экспериментальных исследованиях применялась атомно-силовая микроскопия. Обработка экспериментальных данных производилась методами статистического анализа, теории Фурье-преобразований и теории фракталов.

Достоверность результатов. Достоверность полученных результатов и выводов подтверждается сходимостью результатов теоретических и экспериментальных исследований, совпадением с данными, полученными с помощью аналитических выражений в области их применения, и непротиворечивостью полученных результатов с изложенными в известных литературных источниках.

Научная новизна результатов диссертационной работы:

1 Впервые разработана модель роста поверхности тонких пленок НиМЭМС, учитывающая поверхностную диффузию частиц и отличающаяся от известных моделей, основанных на стохастических дифференциальных уравнениях, возможностью исследования влияния температуры подложки на морфологию поверхностей.

2 Разработаны алгоритм и программная реализация предложенной модели, что позволило определить параметры и характеристики морфологии поверхности и установить их зависимости от условий осаждения. Проведено сопоставление результатов моделирования с данными атомно-силовой микроскопии образцов тонких пленок.

3 Установлены зависимости радиальных деформаций упругого элемента от радиуса жесткого центра и толщины мембраны, отличающиеся от традиционных аналитических выражений отсутствием расходимости вблизи жесткого центра, что позволило применить их для решения задач повышения чувствительности и уменьшения погрешности датчиков.

4 Установлены зависимости распределения температур от радиуса жесткого центра упругого элемента НиМЭМС при моделировании воздействия термоудара, вычислены неизвестные ранее значения радиальных деформаций в присутствии градиента температур, определено условие, обеспечивающее уменьшение влияния термоудара.

Практическая ценность работы:

1 Разработана программа, реализующая предложенную модель роста тонких пленок НиМЭМС и численные методы анализа поверхности, позволяющая вычислять параметры, характеризующие морфологию, и устанавливать их зависимости от температуры подложки, времени и скорости осаждения.

2 Разработана программа, реализующая метод конечных элементов и позволяющая моделировать воздействие давления и исследовать деформации упругого элемента в виде мембраны с жестким центром.

Определены места расположения тензоэлементов и геометрические параметры упругого элемента, при которых увеличивается чувствительность и уменьшается погрешность НиМЭМС датчиков давления.

3 Разработана программа, реализующая метод конечных элементов, позволяющая моделировать воздействие термоудара и исследовать воздействие температур на НиМЭМС датчика давления при различных геометрических параметрах упругого элемента в виде мембраны с жестким центром. Определено условие, при котором обеспечивается уменьшение влияния термоудара.

4 Получены аналитические выражения для расчета геометрических параметров НиМЭМС, использование которых позволяет сократить время разработки тонкопленочных датчиков давления.

Реализация и внедрение результатов работы. Диссертационная работа выполнялась в рамках аналитической ведомственной целевой программы Министерства образования и науки РФ «Развитие научного потенциала высшей школы (2009–2010)».

Мероприятие 1. Проведение фундаментальных исследований в рамках тематических планов. Регистрационный номер: 1.11.09.

Наименование проекта: «Комплексные исследования и разработка гетерогенных структур преобразователей информации, устойчивых к воздействию дестабилизирующих факторов».

Мероприятие 2. Проведение фундаментальных исследований в области естественных, технических и гуманитарных наук. Научнометодическое обеспечение развития инфраструктуры вузовской науки.

Регистрационные номера: 2.1.2/4431, 2.1.2/10274. Наименование проекта: «Проведение фундаментальных научных исследований свойств тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем при воздействии стационарных и нестационарных температур».

Теоретические и практические результаты диссертационной работы использованы ОАО «НИИ физических измерений» (г. Пенза);

ФГУП «Пензенский научно-исследовательский электротехнический институт» (г. Пенза); ГОУ ВПО «Пензенский государственный университет» (г. Пенза).

На защиту выносятся:

1 Модель роста поверхности тонких пленок НиМЭМС датчиков давления, учитывающая поверхностную диффузию осаждаемых частиц и отличающаяся от известных моделей, основанных на стохастических дифференциальных уравнениях, возможностью исследования влияния температуры подложки на морфологию поверхностей.

2 Алгоритм и программная реализация предложенной модели роста поверхности тонких пленок НиМЭМС, позволившие определить параметры и характеристики морфологии поверхности и установить их зависимости от условий осаждения.

3 Комплекс программ, реализующий моделирование воздействия давления и термоудара на упругий элемент НиМЭМС в виде мембраны с жестким центром методом конечных элементов, позволяющий проводить вычислительный эксперимент и эффективно решать задачи исследования влияния геометрических параметров упругого элемента на распределения деформаций и температур.

4 Установленные численным моделированием зависимости между температурой подложки, скоростью, временем осаждения и параметрами, характеризующими морфологию, позволяющие получать тонкие пленки НиМЭМС с заданной морфологией поверхности.

5 Установленные зависимости между геометрическими параметрами упругого элемента в виде мембраны с жестким центром и распределением температур и деформаций НиМЭМС, применение которых позволило повысить чувствительность и уменьшить погрешность датчиков давления.

Апробация работы. Основные научные и практические результаты исследований по теме диссертации опубликованы в периодических изданиях, докладывались и обсуждались на международных научно-технических конференциях, симпозиумах и семинарах: «Аналитические и численные методы моделирования естественнонаучных и социальных проблем» (Пенза, 2007–2010 гг.), «Системы проектирования, моделирования, подготовки производства и управления проектами CAD/CAM/CAE/PDM» (Пенза, 2009 г.), «Университетское образование» (Пенза, 2007–2011 гг.), «Методы создания, исследования микро- и наносистем и экономические аспекты микро- и наноэлектроники» (Пенза, 2009 г.), «Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы» (Ульяновск, 2010 г.), «Современные информационные и электронные технологии» (Одесса, 2010 г.), «Информационные технологии в науке, образовании, телекоммуникации и бизнесе» (ЯлтаГурзуф, 2010 г.), «Нанотехнологии – 2010» (Дивноморское, 2010 г.), «Современные проблемы наноэлектроники, нанотехнологий, микро- и наносистем» (Абрау-Дюрсо, 2010 г.), «Инновационные технологии»

(Ульяновск, 2010 г.), «Проблемы автоматизации и управления в технических системах» (Пенза, 2011 г.).

Публикации. По материалам диссертации опубликовано научных работ, в том числе 5 статей в журналах из перечня ВАК РФ, 3 патента РФ на изобретение, 5 свидетельств о регистрации электронного ресурса. Отдельные результаты отражены в отчетах по НИР. Основные положения диссертации представлены в опубликованных работах.

Личный вклад автора. Автором выполнен основной объем исследований, проведен анализ полученных данных, сформулированы основные положения диссертации, составляющие ее новизну и практическую значимость.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, списка используемой литературы и двух приложений. Основная часть изложена на 132 страницах, содержит 55 рисунков, 6 таблиц. Список литературы содержит 127 наименований. Приложения представлены на 15 страницах.

СОДЕРЖАНИЕ ДИССЕРТАЦИИ

Во введении дано обоснование актуальности диссертационной работы, сформулированы цель и основные задачи исследования, раскрыта практическая значимость работы, сформулированы научные положения, выносимые на защиту.

В первой главе проведен анализ современного состояния и проблем в области создания микроэлектронных датчиков давления. Отмечено, что наибольшее количество выпускаемых высокоточных и высокостабильных датчиков давления специального назначения (для ракетной и авиационной техники, стендовых испытаний), выпускаемых в мире, – это тонкопленочные датчики давления. Несмотря на различие в технологиях изготовления тонкопленочных датчиков давления разных производителей, существуют общие задачи повышения точностных и эксплуатационных характеристик датчиков. Решение таких задач возможно путем применения современной технологии математического моделирования, численных методов и разработки комплекса программ для проведения вычислительного эксперимента при разработке датчиков давления.

В процессе изготовления датчиков требуется получение поверхности тонких пленок на упругом элементе НиМЭМС с заданной морфологией. Для ее исследования применяют различные методы, обзор которых показал, что высокоинформативным методом является метод атомно-силовой микроскопии. В сочетании с методами математического и численного моделирования открываются новые возможности по управлению параметрами морфологии поверхности.

Дан обзор основных существующих теоретических подходов к проблеме моделирования роста поверхности тонких пленок, рассмотрены методы теории фракталов и клеточных автоматов. Показаны преимущества методов Монте-Карло при компьютерном моделировании роста тонких пленок.

Рассмотрены аналитические и численные методы моделирования упругих элементов НиМЭМС, используемые при проектировании датчиков давления. Решение задач моделирования воздействия давления и температур на НиМЭМС требует анализа дифференциальных уравнений. Показано, что поставленные задачи целесообразно решать методом конечных элементов. Его реализация в виде комплекса проблемно-ориентированных программ открывает путь к установлению новых связей и закономерностей, позволяющих улучшить параметры и характеристики датчиков давления на основе НиМЭМС.

Во второй главе описывается разработанная математическая модель роста тонких пленок, учитывающая поверхностную диффузию осажденных частиц, влияние температуры подложки, скорости и времени осаждения. Предложенная модель основана на теории клеточных автоматов, методах Монте-Карло и заключается в следующем:

– поверхность разбивается прямоугольной сеткой на L2 точек c периодическими граничными условиями;

– новые частицы считаются идентичными и места их осаждения выбираются случайно, а скорость осаждения частиц F определяется количеством частиц, попавших на поверхность за один шаг Монте-Карло, и измеряется в единицах [монослой/шаг Монте-Карло (МС/МК)];

– для каждой из точек поверхности [i, j], в которую попадает новая частица и ее ближайших соседних точек [i±1, j±1] вычисляются вероятности pij диффузии частицы в эту точку;

– для каждой из вновь попавших на поверхность частиц генерируется случайное число и осуществляется диффузия частицы в соответствии c вычисленными вероятностями.

Вероятность pij диффузии частицы в точку находится согласно формуле Больцмана, связывающей энергию состояния с вероятностью нахождения системы в этом состоянии. Энергия состояния Ei,j частицы, находящейся в точке [i, j], определяется как где Гi, j – коэффициенты, зависящие от толщины поверхности h в точке [i, j] и ближайших к ней точек; – коэффициент, зависящий от осаждаемого материала, кг·м·с 2.

Коэффициенты Гi, j представляют собой сумму двух членов:

Первое слагаемое определяется по формуле Оно соответствует конечно-разностному выражению, аппроксимирующему лапласиан 2 h. Его физическим смыслом является сила поверхностного натяжения, обеспечивающая сглаживание поверхности.

Второе слагаемое является конечно-разностной аппроксимацией квадрата градиента где – коэффициент, зависящий от осаждаемого материала, м 1.

Это слагаемое вносит нелинейность, степень которой характеризуется коэффициентом.

Таким образом, модель представляет собой вероятностный клеточный автомат, поскольку правила перехода в следующее состояние не детерминированы, а имеют вероятностный характер.

Для исследования роста поверхности тонких пленок НиМЭМС были разработаны алгоритм и программная реализация предложенной модели, позволяющие проводить моделирование процесса роста и численный анализ морфологии поверхности методами Фурье-анализа и статистической обработкой данных. Основной морфологической характеристикой является шероховатость поверхности W, определяемая как среднеквадратичное отклонение толщины h от своего среднего значения h :

где L – линейный размер; d – размерность структуры; hi – толщина пленки в i-й точке; h – пространственная средняя толщина поверхности.

На рисунке 1 а,б показаны зависимости шероховатости W от толщины пленки при различных значениях относительной температуры (рисунок 1,а) и скорости осаждения частиц (рисунок 1,б), полученные с использованием разработанной программы.

Из рисунка 1 видно, что температура и скорость осаждения оказывают противоположное влияние на шероховатость поверхности.

Увеличение температуры приводит к увеличению шероховатости поверхности. Увеличение скорости осаждения, напротив, приводит к ее уменьшению.

а – влияние температуры подложки T, отн. ед., на шероховатость поверхности;

б – влияние скорости осаждения F, МС/МК, на шероховатость поверхности Фурье-преобразование производится с использованием алгоритма быстрого преобразования Фурье. На рисунке 2,а представлено полученное с помощью разработанной программы усредненное по всем направлениям Фурье-преобразование функции толщины поверхности.

Прямая линия представляет собой линейную аппроксимацию данных по методу наименьшего квадратичного отклонения.

а – усредненное по направлениям Фурье-преобразование поверхности;

б – зависимость фрактальной размерности поверхности пленки Поверхность тонкой пленки является примером случайного фрактала, поэтому важной ее характеристикой служит фрактальная размерность. Наклон прямой среднеквадратичного отклонения усредненного по направлениям Фурье-преобразования в логарифмическом масштабе связан с фрактальной размерностью d структуры формулой d = 2 – s, где s – наклон прямой среднеквадратичного отклонения.

На рисунке 2,б представлена зависимость фрактальной размерности поверхности тонкой пленки от температуры подложки. Установлено, что по мере увеличения температуры, наклон прямой среднеквадратичного отклонения стремится к нулю, а фрактальная размерность приближается к двум.

Третья глава посвящена сопоставлению теоретических результатов математического моделирования с экспериментальными данными атомно-силовой микроскопии. Исследовались образцы тонких пленок никеля и хрома, полученные при различных температурах подложки и скоростях осаждения методом магнетронного напыления. С целью сопоставления результатов моделирования с экспериментальными данными атомно-силовой микроскопии были определены основные параметры, характеризующие морфологию поверхности: шероховатость поверхности, фрактальная размерность, гистограмма толщин.

Сопоставление теоретических результатов с экспериментальными данными атомно-силовой микроскопии показало, что предложенная модель роста тонких пленок, разработанные алгоритм и программа позволяют описывать экспериментальные данные и исследовать влияние температуры подложки, скорости и времени осаждения на параметры, характеризующие морфологию тонких пленок НиМЭМС.

В четвертой главе представлены результаты математического моделирования методом конечных элементов воздействия давления и температур на упругие элементы НиМЭМС датчиков давления, полученные с помощью разработанного комплекса программ.

Отмечено, что задачи исследования воздействия давления и температур на упругие элементы НиМЭМС датчиков давления требуют анализа дифференциальных уравнений, решения которых при сложных геометриях задачи редко могут быть выражены в виде элементарных функций. В связи с этим для решения поставленных задач предпочтительным является метод конечных элементов. Его реализация в виде комплекса проблемно-ориентированных программ позволяет решать задачи повышения чувствительности и уменьшения погрешностей тонкопленочных НиМЭМС датчиков давления.

Преимуществом разработанных программ по сравнению с коммерческими пакетами конечноэлементного анализа является их приспособленность для решения задач математического моделирования НиМЭМС датчиков давления с возможностью быстрого изменения геометрических параметров упругого элемента НиМЭМС и повторного решения задачи, что позволяет исследовать зависимости и выявлять закономерности, характеризующие свойства НиМЭМС.

Для исследования воздействия давления с помощью разработанной программы моделирования деформаций решались дифференциальные уравнения теории механики деформируемого тела. Исходными данными расчетной модели упругого элемента в виде мембраны с жестким центром являются: радиус мембраны Rm, радиус жесткого центра Rc, толщина мембраны Wm, толщина жесткого центра Wc, модуль упругости материала мембраны E, коэффициент Пуассона, действующее на мембрану давление P.

С помощью разработанной программы проведено исследование влияния толщины мембраны и радиуса жесткого центра упругого элемента НиМЭМС на его радиальные деформации. Получена зависимость между относительным радиусом жесткого центра мембраны и границей зон положительных и отрицательных радиальных деформаций (рисунок 3,а). Она позволяет определять и наиболее полно использовать зоны с разными деформациями для размещения тензоэлементов на упругий элемент НиМЭМС. Полученная кривая аппроксимирована полиномом четвертой степени.

а – зависимость положения границы зон положительных и отрицательных радиальных деформаций от относительного радиуса жесткого центра;

б – зависимость суммы абсолютного значения максимальных радиальных положительных и отрицательных деформаций от относительного радиуса С помощью разработанной программы установлена зависимость между относительным радиусом жесткого центра и суммой абсолютных значений максимальных положительных и отрицательных радиальных деформаций мембраны. Определено значение относительного радиуса жесткого центра Rc /Rm = 0,18, при котором эта сумма принимает максимальное значение (рисунок 3,б). Изготовление жесткого центра таким радиусом позволяет получить максимально возможную чувствительность тонкопленочных тензорезисторных НиМЭМС при конструкции упругого элемента в виде мембраны с жестким центром, большую на 33 % по сравнению с упругим элементом в виде плоской мембраны той же толщины.

Проведенное численное моделирование позволило установить зависимости между толщиной мембраны, относительным радиусом жесткого центра и радиусом r2, соответствующим максимуму положительных радиальных деформаций (рисунок 4,а), а также радиусом r1, соответствующим равным им по абсолютной величине отрицательным деформациям (рисунок 4,б). Расположение тензоэлементов в зонах, равных по величине и противоположных по знаку деформаций, позволяет устранить погрешность от нелинейности измерительной цепи НиМЭМС датчиков давления.

а – зависимости положения максимума положительных радиальных деформаций r2 от относительного радиуса жесткого центра б – зависимости радиуса расположения отрицательных радиальных деформаций r1 (по модулю равных максимальным положительным) от относительного радиуса жесткого центра при различной толщине мембраны Установленные зависимости аппроксимированы полиномами, которые позволяют вычислять значения радиусов при различных толщинах мембраны и относительных радиусах жесткого центра.

Для исследования воздействия термоудара на НиМЭМС датчиков давления, погрешность от которого может достигать 30–60 %, разработана программа моделирования термоудара на упругий элемент в виде мембраны с жестким центром. Результат решения уравнения теплопроводности методом конечных элементов, полученный с помощью разработанной программы, при воздействующей температуре T = – 196 С и начальной температуре 20 С в различные моменты времени t показан на рисунке 5,а.

а – распределение температур на плоской поверхности упругого элемента б – зависимость разницы максимальной и минимальной температур в различные моменты времени от относительного радиуса жесткого центра Для оценки радиального градиента температур и влияния жесткого центра на распределение температур были определены значения разности максимальной и минимальной температур плоской поверхности упругого элемента (рисунок 5,б) и значение температуры тонкой части мембраны в один и тот же момент времени (рисунок 6,а) при различных радиусах жесткого центра. Установлено, что жесткий центр начинает оказывать значительное влияние на температуру тонкой части мембраны упругого элемента и размещенные на ней тензоэлементы при значении относительного радиуса Rc /Rm > 0,6.

Для оценки возникающих при воздействии термоудара термонапряжений и термодеформаций, приводящих к динамической температурной погрешности, методом конечных элементов решались уравнения теории термоупругости, связывающие деформации и температуры.

На рисунке 6,б представлены радиальные деформации, полученные в результате моделирования воздействия давления в условиях воздействия термоудара (температурой T = –196 С) методом конечных элементов. Установлено, что при значении относительного радиуса жесткого центра Rc /Rm < 0,6 разница в значении радиальных деформаций упругого элемента НиМЭМС при наличии градиента температур и его отсутствия достигает 25 %.

а – зависимость температуры тонкой части мембраны упругого элемента НиМЭМС от относительного радиуса жесткого центра (t = 2 c);

б – зависимость радиальных деформаций плоской поверхности упругого элемента от относительного радиуса в присутствии и отсутствии градиента Таким образом, реализация метода конечных элементов в виде комплекса программ позволила изучить воздействие давления и температур на упругие элементы НиМЭМС датчиков давления, установить зависимости между параметрами НиМЭМС и применить их для решения задач повышения чувствительности и уменьшения погрешностей датчиков давления.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ

В ходе проведенных исследований НиМЭМС применены современные технологии математического моделирования, численные методы и разработан комплекс программ, позволяющий эффективно проводить вычислительный эксперимент. Основные результаты и выводы по работе заключаются в следующем:

1 Разработана модель роста тонких пленок НиМЭМС, позволяющая учитывать поверхностную диффузию осаждаемых частиц, температуру подложки, скорость и время осаждения.

2 Разработаны алгоритм и программная реализация предложенной модели, позволившие исследовать процесс роста и влияние температуры подложки, скорости и времени осаждения на параметры, характеризующие морфологию тонких пленок НиМЭМС.

3 Проведено сопоставление результатов численного моделирования с данными атомно-силовой микроскопии образцов тонких пленок никеля и хрома, полученных при различных технологических режимах. Сравнение характеристик и параметров морфологии показало, что разработанная модель позволяет описывать данные экспериментальных исследований.

4 Разработан комплекс проблемно-ориентированных программ, реализующих метод конечных элементов и позволяющий моделировать воздействие давления и термоудара на упругие элементы НиМЭМС датчиков давления.

5 С использованием разработанного комплекса программ исследовано воздействие давления и термоудара на НиМЭМС датчиков давления при различных геометрических параметрах упругого элемента в виде мембраны с жестким центром.

6 Математическое моделирование, численные методы и разработанный комплекс программ применены для решения задач повышения чувствительности и уменьшения погрешностей тонкопленочных НиМЭМС датчиков давления.

7 Установлена зависимость относительного радиуса границы зон положительных и отрицательных радиальных деформаций от отношения радиусов мембраны и жесткого центра, позволяющая определять области с положительными и отрицательными деформациями и наиболее полно использовать зоны с разными по знаку деформациями для размещения тензоэлементов на мембране НиМЭМС.

8 Моделированием воздействия давления на НиМЭМС определено значение отношения радиуса жесткого центра к радиусу мембраны упругого элемента НиМЭМС (Rc /Rm = 0,18), при котором обеспечивается максимальная чувствительность тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления, на 33 % большая аналогичной величины в случае упругого элемента в виде плоской мембраны той же толщины.

9 Установлена связь относительного радиуса жесткого центра и толщины мембраны с расположением максимума положительных радиальных деформаций, а также равных им по абсолютной величине отрицательных радиальных деформаций, что позволяет определять места размещения тензоэлементов с одинаковыми, но противоположными по знаку деформациями, и устранить погрешность от нелинейности измерительной цепи НиМЭМС датчиков давления.

10 Получены зависимости распределения температур от геометрических параметров упругого элемента НиМЭМС в виде мембраны с жестким центром при моделировании воздействия термоудара.

Вычислены значения возникающих деформаций под воздействием давления в присутствии градиента температур. Показано, что жесткий центр позволяет уменьшить температурную погрешность, вызванную термодеформациями, при относительном радиусе Rc /Rm > 0,6.

11 Получены аналитические выражения, аппроксимирующие численные данные моделирования, использование которых позволяет сокращать время разработки НиМЭМС датчиков давления.

ОСНОВНЫЕ ПУБЛИКАЦИИ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ

Публикации в изданиях, рекомендованных ВАК РФ 1 Чернов, П. С. Моделирование деформаций мембран датчиков давления / П. С. Чернов, Е. М. Белозубов, В. А. Васильев // Измерительная техника. – 2009. – № 3. – С. 33–36.

2 Чернов, П. С. Проектирование упругих элементов нано- и микроэлектромеханических систем / П. С. Чернов, Е. М. Белозубов, В. А. Васильев, А. И. Запевалин // Измерительная техника. – 2011. – № 1. – С. 17–19.

3 Чернов, П. С. Датчики давления в России и за рубежом / П. С. Чернов, Е. М. Белозубов, В. А. Васильев, Н. В. Громков // Метрология. – 2010. – № 10. – С. 15–24.

4 Chernov, P. S. Simulation of deformation in the membranes of pressure transducers / P. S. Chernov, E. M. Belozubov, V. A. Vasil’ev // Measurement Techniques. – New York : Springer, 2009. – Vol. 52. – No. 3. – P. 271–276.

5 Chernov, P. S. Design of elastic components of nano- and microelectromechanical systems / P. S. Chernov, E. M. Belozubov, V. A. Vasil’ev, A. I. Zapevalin // Measurement Techniques. – New York : Springer, 2011. – Vol. 54. – No. 1. – P. 21–24.

6 Чернов, П. С. Моделирование деформаций мембран датчиков давления / П. С. Чернов, Е. М. Белозубов, В. А. Васильев // Университетское образование : тр. XI Междунар. науч.-метод. конф. – Пенза :

Изд-во ПГУ, 2007. – С. 339–340.

7 Чернов, П. С. Применение компьютерных технологий при проектировании тонкопленочных датчиков давления / П. С. Чернов, Е. М. Белозубов, В. А. Васильев, Д. А. Измайлов // Проблемы автоматизации и управления в технических системах : тр. Междунар. науч.техн. конф. – Пенза : Изд-во ПГУ, 2007. – С. 169–172.

8 Чернов, П. С. Моделирование воздействия давления на чувствительные элементы датчиков / П. С. Чернов, Е. М. Белозубов, В. А. Васильев // Аналитические и численные методы моделирования естественнонаучных и социальных проблем : тр. II Междунар. науч.-техн. конф. – Пенза : Изд-во ПГУ ; Приволжский дом знаний, 2007. – C. 232–235.

9 Чернов, П. С. Проектирование мембран датчиков давления на основе компьютерного моделирования деформаций / П. С. Чернов, Е. М. Белозубов, В. А. Васильев // Системы проектирования, моделирования, подготовки производства и управления проектами CAD/ CAM/CAE/PDM : тр. II Междунар. науч.-практ. конф. – Пенза : Изд-во ПГУ ; Приволжский дом знаний, 2009. – C. 8–11.

10 Чернов, П. С. Моделирование начальных стадий роста поверхности пленок материалов методами Монте-Карло / П. С. Чернов, В. А. Васильев // Методы создания, исследования микро-, наносистем и экономические аспекты микро- и наноэлектроники : тр. II науч.-техн.

конф. – Пенза : Информационно-издательский центр ПГУ, 2009. – С. 156–169.

11 Чернов, П. С. Возможности программного пакета ANSYS в задачах проектирования нано- и микроэлектромеханических систем / П. С. Чернов, В. А. Васильев, А. И. Запевалин // Университетское образование : сб. ст. XIV Междунар. науч.-метод. конф. – Пенза : Приволжский дом знаний, 2010. – С. 608–610.

12 Чернов, П. С. Моделирование напряженно-деформированного состояния мембран датчиков давления / П. С. Чернов, В. Ю. Дарвин // Университетское образование : сб. ст. XIV Междунар. науч.метод. конф. – Пенза : Приволжский дом знаний, 2010. – С. 693–695.

13 Чернов, П. С. Численный анализ моделей роста поверхности и АСМ-изображений тонких пленок / П. С. Чернов, В. А. Васильев // Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы : сб. ст.

XII Междунар. конф. –Ульяновск : УлГУ, 2010. – С. 254–255.

14 Чернов, П. С. Моделирование воздействия термоудара на НиМЭМС датчиков давления методом конечных элементов / П. С. Чернов, В. А. Васильев // Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы : сб. ст. XII Междунар. конф. – Ульяновск : УлГУ, 2010. – С. 256–257.

15 Чернов, П. С. Моделирование деформаций мембран сложной формы датчиков давления / П. С. Чернов, В. Ю. Дарвин // Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы : сб. ст. XII Междунар.

конф. –Ульяновск : УлГУ, 2010. – С. 258.

16 Чернов, П. С. Моделирование упругих элементов нано- и микроэлектромеханических систем датчиков давления / П. С. Чернов, Е. М. Белозубов, В. А. Васильев, И. Р. Вергазов, Н. В. Громков, А. И. Запевалин // Современные информационные и электронные технологии :

сб. тр. IX Междунар. науч.-практ. конф. – Одесса, 2010. – Ч. 2. – С. 158.

17 Чернов, П. С. Технологии и проблемы создания микроэлектронных датчиков давления / П. С. Чернов, Е. М. Белозубов, В. А. Васильев, Н. В. Громков // Труды XXXVII Междунар. конф. (Украина, Крым, Ялта-Гурзуф, 20–30 мая 2010 года). Приложение к журналу «Открытое образование». – М. : МГАПИ, 2010. – C. 210–211.

18 Чернов, П. С. Моделирование воздействия давления и температуры на НиМЭМС датчиков давления / П. С. Чернов, В. А. Васильев // Труды школы молодых ученых «Современные проблемы наноэлектроники, нанотехнологий, микро- и наносистем» (Абрау-Дюрсо, Россия, 20–25 сентября 2010). – Ульяновск : УлГУ, 2010. – С. 25–27.

19 Чернов, П. С. Модель роста поверхности тонких пленок материалов / П. С. Чернов, В. А. Васильев // Труды школы молодых ученых «Современные проблемы наноэлектроники, нанотехнологий, микро- и наносистем» (Абрау-Дюрсо, Россия, 20–25 сентября 2010). – Ульяновск : УлГУ, 2010. – С. 28–30.

20 Чернов, П. С. Моделирование роста тонких пленок на поверхности материалов / П. С. Чернов, В. А. Васильев // Труды международной научно-технической конференции и молодежной школысеминара «Нанотехнологии – 2010» (Дивноморское, Россия, 19–24 сентября, 2010). – Таганрог : ТТИ ЮФУ. – Ч. 1. – С. 155–157.

21 Чернов, П. С. Датчики давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем / П. С. Чернов, Е. М. Белозубов, В. А. Васильев, Н. В. Громков // Труды международной научнотехнической конференции и молодежной школы-семинара «Нанотехнологии – 2010» (Дивноморское, Россия, 19–24 сентября, 2010). – Таганрог : ТТИ ЮФУ. – Ч. 2. – С. 184–186.

22 Чернов, П. С. Модель роста поверхности тонких пленок материалов / П. С. Чернов, В. А. Васильев // Инновационные технологии. – Ульяновск : УлГУ, 2010. – № 3. – С. 42–50.

23 Чернов, П. С. Моделирование влияния температуры и скорости осаждения на морфологию поверхностей / П. С. Чернов, В. А. Васильев // Математическое и компьютерное моделирование естественнонаучных и социальных проблем : сб. ст. IV Междунар. науч.-техн.

конф. молодых специалистов, аспирантов и студентов (май 2010 г.). – Пенза : Приволжский дом знаний, 2010. – С. 181–183.

24 Чернов, П. С. Применение метода конечных элементов к решению задач оптимизации конструкций нано- и микроэлектромеханических систем / П. С. Чернов, В. А. Васильев // Аналитические и численные методы моделирования естественнонаучных и социальных проблем : сб. ст. V Междунар. науч.-технич. конф. (октябрь 2010 г.) – Пенза : Приволжский дом знаний, 2010. – С. 255–257.

25 Чернов, П. С. Исследование влияния технологических параметров процесса осаждения на морфоструктуру поверхности тонких пленок / П. С. Чернов // Аналитические и численные методы моделирования естественнонаучных и социальных проблем : сб. ст. V Междунар. науч.-техн. конф. (октябрь 2010 г.) – Пенза : Приволжский дом знаний, 2010. – С. 134–136.

26 Чернов, П. С. Создание нано- и микроэлектромеханических систем датчиков давления повышенной точности и чувствительности / П. С. Чернов, В. А. Васильев // Проблемы автоматизации и управления в технических системах : тр. междунар. науч.-техн. конф. – Пенза :

Изд-во ПГУ, 2011. – Т. 1. – С. 264–267.

27 Чернов, П. С. Клеточные автоматы и моделирование роста поверхности тонких пленок / П. С. Чернов, В. А. Васильев // Университетское образование : сб. ст. XV Междунар. науч.-метод. конф. – Пенза : Изд-во ПГУ, 2011. – С. 240–241.

28 Чернов, П. С. Исследование роста поверхности тонких пленок материалов / П. С. Чернов // Университетское образование : сб. ст.

XV Междунар. науч.-метод. конф. – Пенза : Изд-во ПГУ, 2011. – С. 470–473.

29 Пат. 2399031 Российская Федерация, G01L 9/04. Датчик давления с тонкопленочной тензорезисторной нано- и микроэлектромеханической системой / Чернов П. С., Васильев В. А., Белозубов Е. М. – Бюл. № 25 от 10.09.2010.

30 Пат. 2398195 Российская Федерация, G01L 9/04. Способ изготовления нано- и микроэлектромеханической системы датчика давления и датчик давления на его основе / Чернов П. С., Васильев В. А., Белозубов Е. М. – Бюл. № 24 от 27.08.2010.

31 Пат. 2411474 Российская Федерация, G01L 9/04. Датчик давления повышенной точности на основе нано- и микроэлектромеханической системы с тонкопленочными тензорезисторами / П. С. Чернов, В. А. Васильев, Е. М. Белозубов. – Бюл. № 4 от 10.02.2011.

32 Чернов, П. С. Алгоритм и программа «Моделирование воздействия давления на чувствительные элементы датчиков мембранного типа» / П. С. Чернов, Е. М. Белозубов, В. А. Васильев. – Свидетельство об отраслевой регистрации разработки в отраслевом фонде алгоритмов и программ № 10846 от 06.06.2008 г.

33 Чернов, П. С. Алгоритм и программа «Моделирование роста поверхности тонких пленок» / П. С. Чернов, В. А. Васильев. – Свидетельство № 15561 от 07.04.2010 г. : [зарегистрировано в объединенном фонде электронных ресурсов «Наука и образование», ИНИМ РАО, г. Москва, 31.03.2010 г.].

34 Чернов, П. С. Алгоритм и программа «Моделирование радиальных деформаций мембран с жестким центром датчиков давления» / П. С. Чернов, В. А. Васильев. – Свидетельство № 15770 от 02.06.2010 г. :

[зарегистрировано в объединенном фонде электронных ресурсов «Наука и образование», ИНИМ РАО, г. Москва, 01.06.2010 г.].

35 Чернов, П. С. Алгоритм и программа «Моделирование температурных воздействий на чувствительный элемент мембранного типа» / П. С. Чернов, В. А. Васильев. – Свидетельство № 15771 от 02.06.2010 г. :

[зарегистрировано в объединенном фонде электронных ресурсов «Наука и образование», ИНИМ РАО, г. Москва, 01.06.2010 г.].

36 Чернов, П. С. Электронная лабораторная работа «Исследование деформаций мембран тонкопленочных датчиков давления» / П. С. Чернов, Е. М. Белозубов, В. А. Васильев. – Свидетельство об отраслевой регистрации разработки в отраслевом фонде алгоритмов и программ № 7988 от 28.03.2007 г.

МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ

ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ

НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ

ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ

Специальность 05.13.18 – Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ Компьютерная верстка М. Б. Жучковой Формат 60 841/16. Усл. печ. л. 1,16.

Тел./факс: (8412) 56-47-33; e-mail: iic@pnzgu.ru

Похожие работы:

«Комаров Артем Олегович СОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ АНОДНОЙ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ НА ОСНОВЕ ПОВЫШЕНИЯ ОДНОРОДНОСТИ НАГРЕВА С ПОМОЩЬЮ РАСПРЕДЕЛЕННОГО ОБТЕКАНИЯ ИЗДЕЛИЯ РАСТВОРОМ ЭЛЕКТРОЛИТА Специальность 05.16.01 – Металловедение и термическая обработка металлов и сплавов Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Рыбинск – 2012 2 Работа выполнена в федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального образования...»

«БУРЦЕВА ЕЛЕНА ВАСИЛЬЕВНА МЕТОДИКА ОРГАНИЗАЦИИ ПРОФЕССИОНАЛЬНОЙ ПОДГОТОВКИ СТУДЕНТОВ В ПРОЦЕССЕ ИЗУЧЕНИЯ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЙ ОБЛАСТИ ПРАВОВАЯ ИНФОРМАТИКА 13.00.08 – Теория и методика профессионального образования АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата педагогических наук Тамбов 2002 Работа выполнена в лаборатории Информационные технологии в обучении Тамбовского государственного технического университета. Научные руководители: доктор технических наук,...»

«ПОГОРЕЛОВ ВЯЧЕСЛАВ ВИКТОРОВИЧ ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИИ ОБНОВЛЕНИЯ КРУПНОМАСШТАБНЫХ ЦИФРОВЫХ КАРТ И ПЛАНОВ ГОРОДОВ С ПРИМЕНЕНИЕМ ЦФС ОRТHО/NEVA Специальность 25.00.34 – аэрокосмические исследования Земли, фотограмметрия АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Москва, 2009 Диссертационная работа выполнена на кафедре аэрофотогеодезии Государственного университета по землеустройству. Научный руководитель : доктор технических наук Чекалин...»

«Войцеховский Николай Сергеевич ТЕХНОЛОГИЯ РАЗРАБОТКИ И РЕАЛИЗАЦИИ СОЦИАЛЬНОГО ПРОЕКТА (на примере реализации приоритетного национального проекта Здоровье) Специальность 22.00.08 - социология управления Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата социологических наук Санкт-Петербург 2009 2 Работа выполнена на кафедре социологии ГОУ ВПО СанктПетербургский государственный инженерно-экономический университет Научный руководитель : доктор философских наук,...»

«СОРОКОЖЕРДЬЕВ Кирилл Геннадьевич РАЗРАБОТКА МЕТОДИКИ ОЦЕНКИ И ОПТИМИЗАЦИИ ВАЛЮТНОГО РИСКА ПРИ СПЕКУЛЯТИВНЫХ ОПЕРАЦИЯХ НА РЫНКЕ FOREX Специальность: 08.00.13 – Математические и инструментальные методы экономики АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание учёной степени кандидата экономических наук Санкт-Петербург – 2004 2 Работа выполнена на кафедре Мировая экономика в ГОУ ВПО СанктПетербургский государственный политехнический университет НАУЧНЫЙ РУКОВОДИТЕЛЬ: доктор экономических...»

«ИСТОМИН ЕВГЕНИЙ АНДРЕЕВИЧ АВИАЦИОННЫЙ ГТД В СИСТЕМЕ ПОЖАРОТУШЕНИЯ БОЛЬШОЙ МОЩНОСТИ И ДАЛЬНОСТИ ДЕЙСТВИЯ Специальность 05.07.05 Тепловые, электроракетные двигатели и энергоустановки летательных аппаратов Автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук Москва – 2012 Работа выполнена в Московском авиационном институте (национальном исследовательском университете) Научный руководитель : д.т.н., профессор Лепешинский Игорь Александрович Официальные...»

«Алексеева Надежда Андреевна ОСОБЕННОСТИ РЕАЛИЗАЦИИ ТЕКСТОВЫХ КАТЕГОРИЙ В КРЕОЛИЗОВАННОМ ТЕКСТЕ ПЕСНИ (НА МАТЕРИАЛЕ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПЕСЕН В СТИЛЕ КАНТРИ) Специальность 10.02.04 – Германские языки Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата филологических наук Санкт-Петербург – 2013 2 Работа выполнена в Федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального образования Санкт-Петербургский государственный экономический...»

«Гаранин Дмитрий Анатольевич ИНФОРМАЦИОННО-СТАТИСТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ И МОДЕЛИ УПРАВЛЕНИЯ ТОВАРНЫМ АССОРТИМЕНТОМ ПРОМЫШЛЕННЫХ ПРЕДПРИЯТИЙ Специальность 08.00.13 – Математические и инструментальные методы экономики АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата экономических наук Санкт-Петербург 2005 Работа выполнена на кафедре Предпринимательство и коммерция в Государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования Санкт-Петербургский...»

«До Динь Чунг МАТЕРИАЛЫ ФУНКЦИОНАЛЬНОГО НАЗНАЧЕНИЯ С УЛУЧШЕННЫМИ СВОЙСТВАМИ НА ОСНОВЕ МОДИФИЦИРОВАННЫХ ЭПОКСИДНЫХ ОЛИГОМЕРОВ 05.17.06 – технология и переработка полимеров и композитов АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Москва – 2011 Pa6ora BbIrIoJIHeHa xa$elpe rexHoJr ua orkrvrnepepa6orxu rrlracrnr{ecKr4x Macc PoccHficKoroxl{MuKo-TexHorrorrrrrecKoro yHHBepcHTera A. I4. MenAeneeBa HM. HayuHsrfi pyrcoBoAr{TeJrb : rexHnr{ecKr4x...»

«Кораблев Сергей Александрович ПОКАЗАТЕЛИ ОЦЕНКИ ДЕЯТЕЛЬНОСТИ ПО УПРАВЛЕНИЮ ЛЕСАМИ И ЛЕСОХОЗЯЙСТВЕННОГО ПРОИЗВОДСТВА 08.00.05 – Экономика и управление народным хозяйством (Экономика, организация и управление предприятиями, отраслями, комплексами: промышленность) Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата экономических наук Санкт-Петербург 2008 2 Работа выполнена в Санкт-Петербургской государственной лесотехнической академии им. С.М.Кирова на кафедре...»

«Глинкин Михаил Евгеньевич МЕТОД ПРОЕКТИРОВАНИЯ СИСТЕМЫ ЧАСТОТНОГО УПРАВЛЕНИЯ АСИНХРОННЫМ ДВИГАТЕЛЕМ С ШИРОТНО-ИМПУЛЬСНЫМ РЕГУЛИРОВАНИЕМ Специальность: 05.09.03 – Электротехнические комплексы и системы АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Липецк-2004 Работа выполнена в Тамбовском государственном техническом университете Научный руководитель доктор технических наук, профессор КАЛИНИН В.Ф. Официальные оппоненты : доктор технических наук,...»

«ГАЙРАБЕКОВ ИБРАГИМ ГИЛАНИЕВИЧ РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ ГЕОДЕЗИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ ИНЖЕНЕРНОЙ ЗАЩИТЫ ЗДАНИЙ И СООРУЖЕНИЙ Специальность: 25.00.32 – Геодезия АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук Москва 2011 Работа выполнена на кафедре прикладной геодезии Московского государственного университета геодезии и картографии (МИИГАиК). Научный консультант : доктор технических наук, профессор КЛЮШИН Е.Б. Официальные оппоненты : доктор технических...»

«Алексеев Иван Владимирович СОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ ОРГАНИЗАЦИИ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ РАЗЛИЧНЫХ ВИДОВ ТРАНСПОРТА В ТРАНСПОРТНЫХ УЗЛАХ 05.22.19 – Эксплуатация водного транспорта, судовождение Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Владивосток - 2008 Работа выполнена в Федеральном государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования Морской государственный университет имени адмирала Г.И.Невельского. Научный руководитель :...»

«КОСТИКОВА ЕЛЕНА ВАЛЕНТИНОВНА АЛГОРИТМЫ И АРХИТЕКТУРА ВИДЕОИНФОРМАЦИОННОЙ СИСТЕМЫ НА ОСНОВЕ ПРОСТРАНСТВЕННО-РЕКУРСИВНОГО МЕТОДА КОДИРОВАНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЙ Специальность: 05.25.05 – Информационные системы и процессы АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Санкт-Петербург – 2013 2 Работа выполнена в ФГБОУ ВПО Государственный университет морского и речного флота имени адмирала С. О. Макарова Научный руководитель : кандидат технических наук,...»

«МАКОВЕЕВА Елена Владимировна Влияние состояния подкрановых путей на нагруженность ходовой тележки лесопогрузчика типа КБ 05.21.01 – Технология и машины лесозаготовок и лесного хозяйства АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук Архангельск – 2011 Работа выполнена в Северном (Арктическом) федеральном университете. Научный руководитель : доктор технических наук, профессор Д.Г. Мясищев Официальные оппоненты : доктор технических наук,...»

«Приложение № 2 СВЕДЕНИЯ О СОИСКАТЕЛЕ И ПРЕДСТОЯЩЕЙ ЗАЩИТЕ Ф.И.О.: СЕРАФИМОВ МИХАИЛ АНДРЕЕВИЧ Тема диссертации: Исследование процесса отбортовки отверстий в производстве деталей летательных аппаратов Специальность: 05.07.02 – Проектирование, конструкция и производство летательных аппаратов Отрасль наук и: Технические науки Шифр совета: Д 212.110. Тел. ученого секретаря 915-31- диссертационного совета E-mail: dc2mati@yandex.ru Предполагаемая дата защиты 27 октября 2011г. в 13- диссертации: Место...»

«ЛАНГ Яков Викторович МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ И АЛГОРИТМЫ ФОРМИРОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННЫХ УЧЕБНЫХ КУРСОВ НА БАЗЕ УЧЕБНЫХ ОБЪЕКТОВ 05.13.18 – Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Тюмень – 2011 Работа выполнена на кафедре программного обеспечения Института математики и компьютерных наук ГОУ ВПО Тюменский государственный университет кандидат физ.-мат. наук, профессор...»

«Резян Арутюн Давидович ТРАНСФОРМАТОРНЫЕ ФАЗОВЫЕ АНАЛОГО-ЦИФРОВЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ПОВЫШЕННОЙ ТОЧНОСТИ Специальность: 05.13.05 – Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Москва - 2008 ~2~ Работа выполнена в Московском государственном институте электроники и математики (техническом университете) Научный руководитель – доктор технических наук, профессор Косинский...»

«УДК 808.2 (075.8) Ампилогова Ирина Александровна АКТИВИЗАЦИЯ УПОТРЕБЛЕНИЯ ПОБУДИТЕЛЬНЫХ КОНСТРУКЦИЙ В РУССКОЙ РЕЧИ ИНОСТРАННЫХ СТАЖЕРОВ Специальность: 13.00.02 – теория и методика обучения и воспитания (русский язык как иностранный, уровень профессионального образования) Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата педагогических наук Санкт-Петербург 2002 Работа выполнена на кафедре русского языка как иностранного (для стажеров) Российского государственного...»

«АЛЛАЕВ АКМАЛЬ ЭРГАШЕВИЧ МОДЕЛИ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ МУЛЬТИСЕРВИСНЫХ СЕТЕЙ ДОСТУПА 05.12.13 – Системы, сети и устройства телекоммуникаций АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Санкт-Петербург 2004 Работа выполнена в Санкт-Петербургском государственном университете телекоммуникаций им. проф. М.А. Бонч-Бруевича. Научный руководитель : доктор технических наук, профессор Гольдштейн Борис Соломонович Официальные оппоненты : доктор...»








 
© 2013 www.diss.seluk.ru - «Бесплатная электронная библиотека - Авторефераты, Диссертации, Монографии, Методички, учебные программы»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.