WWW.DISS.SELUK.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА
(Авторефераты, диссертации, методички, учебные программы, монографии)

 

На правах рукописи

Юльметова Ольга Сергеевна

РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ МЕТОДОВ УПРАВЛЕНИЯ

ФУНКЦИОНАЛЬНЫМИ ХАРАКТЕРИСТИКАМИ УЗЛОВ ГИРОПРИБОРОВ

Специальность 05.11.14 – технология приборостроения

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Санкт-Петербург 2011

Работа выполнена в государственном научном центре Российской Федерации – ОАО «Концерн «Центральный научно-исследовательский институт «Электроприбор» и в Санкт-Петербургском государственном университете информационных технологий, механики и оптики.

Научный руководитель: доктор технических наук, профессор Валетов Вячеслав Алексеевич

Официальные оппоненты: доктор технических наук, профессор Вейко Вадим Павлович кандидат технических наук, профессор Мурашов Юрий Георгиевич

Ведущая организация:

ФГУП «Санкт-Петербургское ОКБ «Электроавтоматика» имени П.А. Ефимова»

Защита состоится 18 октября 2011 г. в 16 ч. на заседании диссертационного совета Д.212.227.04 при СПбГУ ИТМО, по адресу: 197101, Санкт-Петербург, Кронверкский пр., д. 49, ауд.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке СПбГУ ИТМО.

Автореферат разослан 7 сентября 2011 г.

Ученый секретарь диссертационного совета кандидат технических наук, доцент Киселев С.С.

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы диссертации. Повышение качества изделий точного приборостроения, в том числе гироскопических приборов, требует целенаправленного роста уровня их производства путем активного внедрения высокопроизводительного оборудования, а также разработки новых технологий, создание которых во многом связано с решением технологических задач по обеспечению стабильности и управляемости функциональных характеристик изделий.

Современные исследования в области микрогеометрии поверхностей прецизионных деталей дают основание полагать, что стабильность функциональных характеристик в ряде случаев определяется постоянством шероховатости поверхности. Поэтому одним из возможных путей повышения качества изделий является исследование корреляции характера шероховатости и эксплуатационных параметров изделия.





Основателями теории влияния шероховатости на функциональные характеристики деталей и узлов по праву можно считать И.В. Крагельского, Ю.Р.

Виттенберга, Я.А. Рудзита, представителей школы СПбГУ ИТМО – Ю.Г. Шнейдера, В.А. Валетова, В.М. Мусалимова и их последователей.

Примерами изделий точного приборостроения, для которых большое значение имеет уровень функциональных характеристик их узлов, являются разработанные в ЦНИИ «Электроприбор» (С.-Петербург) под руководством А.С. Анфиногенова и Б.Е. Ландау и не имеющие аналогов электростатический гироскоп (ЭСГ) и бескарданный вариант электростатического гироскопа (БЭСГ), применяемые на морских и космических объектах стратегического назначения. Выходные сигналы гироскопов формируются датчиками первичной информации с оптоэлектронной системой съема данных об угловом положении тонкостенного, покрытого нитридом титана, (ЭСГ) и сплошного (БЭСГ) бериллиевого ротора по светоконтрастному растровому рисунку, нанесенному на наружную сферическую поверхность ротора. Совершенствование этих гироскопов требует создания качественно новых наукоемких и эффективных технологических методов и средств изготовления их элементов, что в первую очередь относится к сферическим бериллиевым роторам.

Большой вклад в теоретическое и практическое решение технологических задач, связанных с процессом изготовления роторов ЭСГ и БЭСГ, внесли В.И. Гаврюсев, В.Г. Кедров, А.Г. Щербак, В.А. Гинзбург, А.К. Гуттовская, Н.В Нарвер, С.М. Дюгуров.

Роторы являются основным конструктивным элементом электростатических гироскопов и представляют собой доведенный сферический узел, на наружную поверхность которого методом локального электрохимического травления (ЭХТ) наносится контрастный рисунок, необходимый для функционирования оптоэлектронной системы съема информации. Соответствие роторов техническим требованиям определяется комплексом функциональных характеристик, к которым помимо оптических, описываемых контрастностью рисунка, можно отнести механические, нормируемые дисбалансом, и электрофизические, обусловленные необходимостью соизмеримости электропроводности базовой поверхности ротора и нанесенного рисунка. Но растровый рисунок, полученный методом ЭХТ, имеет диэлектрическую природу, нестабильную шероховатость, рыхлую структуру и неравномерную толщину модифицированного слоя порядка 1,5-2,0 мкм, что негативно сказывается на динамике ротора при его вращении в электростатическом подвесе.

Кроме того, необходимость повышения точности гироскопов требует создания технологии нанесения рисунка, имеющей более широкий диапазон технических возможностей. Так, например, для ротора БЭСГ повышение точности связано с уменьшением угла наклона полос растрового рисунка, увеличивающего соотношение сигнал-шум, а также с возможностью варьирования количества полос. Для ротора ЭСГ перспективным решением является нанесение полюсных меток с относительной разностью контраста не менее 10%, что позволит сократить время готовности гироскопа при запуске. Однако ЭХТ в принципе не может обеспечить стабильную разницу контрастности, а незначительное изменение конфигурации рисунка требует кардинальной перестройки всей технологии.





Рассмотренные аспекты определяют актуальность и практическую необходимость разработки более совершенных и универсальных методов обработки прецизионной поверхности роторов, обеспечивающих улучшение их функциональных характеристик, к которым в первую очередь можно отнести контрастность и электропроводность.

Целью диссертации являлось исследование и разработка технологических методов управления функциональными характеристиками узлов гироприборов, обеспечивающих стабильность оптических и регулирование электрофизических характеристик прецизионной поверхности с сохранением геометрии узла.

Для достижения поставленной цели необходимо решение следующих задач:

– исследование и выявление прогрессивного метода формирования рисунка на прецизионных поверхностях узлов гироприборов;

– анализ влияния основных параметров процесса обработки поверхности на функциональные характеристики узлов гироприборов;

– разработка принципов математического моделирования для управления оптическими характеристиками рисунка;

– разработка технологических методов управления электрофизическими параметрами рисунка;

– разработка комплекса методик для оценки качества рисунка (контрастности, электропроводности, шероховатости).

Научная новизна 1. Разработаны математические модели процесса формирования растрового рисунка методом лазерного маркирования, позволяющие установить взаимосвязь оптического критерия оптимизации, представляющего собой коэффициент контрастности растрового рисунка, с режимами и условиями процесса лазерного маркирования прецизионных поверхностей.

2. Сформулированы принципы использования термодинамического анализа и кинетической оценки химических взаимодействий при формировании рисунка методом лазерного маркирования, позволяющие регулировать химический состав растрового рисунка и, как следствие, управлять его электрофизическими свойствами.

3. Определены управляющие факторы процесса формирования функциональных характеристик растра, основанные на варьировании парциальных давлений компонентов и состава газовой среды, а также температуры протекания химических реакций при использовании метода лазерного маркирования.

4. Разработана методика процесса оптимизации микрогеометрии прецизионных поверхностей, включающая анализ методов оценки шероховатости, выявление функционального критерия и совокупности управляющих факторов с последующей оптимизацией на основе метода Бокса Уилсона.

5. Предложен непараметрический критерий оценки и контроля шероховатости, сформированный путем построения эмпирических плотностей распределения ординат (или тангенсов углов наклона) трехмерных топографий.

Практическая значимость 1. Разработана принципиально новая технологическая схема формирования оптических элементов заданной контрастности на прецизионной сферической поверхности сплошного бериллиевого ротора электростатического гироскопа с использованием метода лазерного маркирования.

2. Сформулированы и обоснованы общие принципы и условия процесса корректировки электрофизических свойств светоконтрастного рисунка, полученного методом лазерного маркирования, на основе регулирования состава и варьирования парциальных давлений компонентов газовой среды.

3. Разработана методика измерения и контроля оптических свойств растрового рисунка с использованием микроскопа-спектрофотометра МСФУ-К.

4. Разработана методика оценки электрических свойств рисунка, полученного методом лазерного маркирования, на основе построения вольтамперных характеристик, полученных при помощи сканирующей зондовой микроскопии.

5. Разработана методика и программа автоматизированного контроля шероховатости прецизионных поверхностей с использованием трехмерных топографий.

6. Разработан информационный классификатор для хранения данных о конструкторских признаках изделий, технологических методах их создания и условиях метрологического контроля их функциональных характеристик и коррелирующих с ними критериев оценки шероховатости поверхности.

Апробация работы. Основные результаты работы докладывались и обсуждались на Международной конференции «Фундаментальные основы лазерных микро- и нанотехнологий» (FLAMN-10) (СПбГУ ИТМО, СПб., 2010 г.); ежегодной конференции молодых ученых и специалистов «Новые материалы и технологии» (КМУС-2010) (ФГУП ЦНИИ КМ «Прометей», СПб., 2010 г.); Девятой сессии международной научной школы «Фундаментальные и прикладные проблемы надежности и диагностики машин и механизмов» (СПбГУ ИТМО, СПб., 2009 г.); X, XI, XII, XIII конференциях молодых ученых «Навигация и управление движением» (ЦНИИ «Электроприбор», СПб., 2008-2011 гг.); V, VI, VII, VIII Всероссийской межвузовской конференции молодых ученых (СПбГУ ИТМО, СПб., 20082011 гг.); XXXIX, XL научной и учебно-методической конференции (СПбГУ ИТМО, СПб., 2010-2011 гг.).

Публикации. Основные результаты работы изложены в 18 статьях и докладах на конференциях, среди которых 5 статей в журналах из перечня ВАК. Ряд статей был опубликован при поддержке РФФИ в рамках работ по проекту № 10-08-00158 a.

Объем работы. Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения и списка литературы из 69 источников. Общий объем работы составляет 120 стр., в тексте приведено 37 рисунков и 17 таблиц.

На защиту выносятся следующие научные положения и практические результаты:

1. Математические модели процесса формирования контрастного рисунка на прецизионных поверхностях бериллия и нитрида титана, устанавливающие корреляцию контрастности рисунка и технологических режимов лазерного маркирования.

2. Методика экспериментального определения микрогеометрии поверхности, обеспечивающей требуемый уровень функционального критерия, на основе применения теории планирования эксперимента и непараметрических критериев оценки и контроля шероховатости.

3. Непараметрический критерий оценки и контроля шероховатости, сформированный на основе построения плотностей распределения ординат (или тангенсов углов наклона) трехмерных топографий.

4. Технологические методы корректировки электрофизических свойств поверхности растра, связанные с регулированием состава и парциальных давлений компонентов газовой среды обработки в процессе лазерного маркирования.

5. Расчетная методика оценки фазового состава рисунка, полученного методом лазерного маркирования, на основе расчета величины и знака изобарноизотермического потенциала, а также кинетической оценки химических реакций, протекающих в зоне обработки.

ОСНОВНОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обосновывается актуальность темы диссертации, определяются цель и задачи исследования и формулируются основные положения, выносимые на защиту.

В первой главе приводится анализ объекта исследований, включающий рассмотрение конструкторско-технологических и метрологических особенностей процесса изготовления сферических роторов электростатических гироскопов.

Ротор определяется как узел с многофункциональной прецизионной поверхностью, технология обработки которой должна обеспечивать целый ряд предъявляемых как к этой поверхности, так и к ротору в целом требований: оптических, механических и электрофизических. Оптические требования определяются коэффициентом контрастности нанесенного рисунка (контрастность должна составлять 0,7±0,1 для ротора БЭСГ и 0,6±0,1 для ротора ЭСГ); механические – дисбалансами (радиальным 0,10±0,02 мкм и осевым 0,05 мкм) и, наконец, электрофизические – электрической проводимостью. Очевидно, что контрастность влияет на качество съема информации, а от дисбаланса зависит динамика ротора при его вращении в электростатическом поле. При этом нормирование и контроль электрических характеристик роторов на сегодняшний день не предусмотрены в технологическом цикле их изготовления. Но можно полагать, что электрическая неоднородность негативно влияет на динамику ротора, вращение которого происходит в электростатическом подвесе.

Далее в работе обоснованы тенденции развития исследований шероховатости, дается оценка современного состояния и определяются перспективы совершенствования процессов формирования рисунка. Здесь же приводятся статистические данные по воспроизводимости результатов процесса формирования рисунка методом ЭХТ и обосновывается гипотеза, в соответствии с которой предполагается влияние шероховатости на отражательную способность и дисбаланс ротора. Согласно данной гипотезе, нестабильность оптических показателей (разброс контрастности в пределах от 0,56 до 0,85) и изменение дисбаланса на 0,03 мкм, имеющие место после нанесения рисунка, могут быть вызваны нестабильной шероховатостью поверхности рисунка. Поэтому необходимы исследования для выявления характера шероховатости поверхности, которая полностью отвечает требуемому уровню контрастности и вместе с тем не приводит к изменению дисбаланса. Между тем в условиях слабой управляемости и низкой воспроизводимости, что присуще технологии ЭХТ, определение шероховатости, соответствующей требуемому уровню функционального критерия, оказывается невозможным.

Первую главу завершает постановка задач исследований, решение которых необходимо для разработки более совершенной технологии формирования рисунка, а также для поиска эффективных методов и средств обеспечения стабильности и управляемости функциональных характеристик узлов гироприборов.

Во второй главе представлена информационно-логическая модель (рис.1) теоретико-прикладных и расчетно-экспериментальных исследований по повышению качества роторов электростатических гироскопов, в соответствии с которой для достижения главной цели – повышения качества ротора необходимо обеспечить эффективную схему нанесения рисунка, возможность регулирования и стабильность функциональных характеристик. При этом в качестве метода, позволяющего решить поставленные задачи, рассматривается метод лазерного маркирования. Физическая сущность процесса лазерной обработки описывается термическими процессами, сопровождаемыми взаимодействием поверхности образца с компонентами газовой среды, в результате чего на поверхности появляется резко отличающаяся по цвету от базовой поверхности пленка, отражающая структурные и химические изменения поверхностного слоя. Поэтому именно шероховатость модифицированного слоя, толщина и фазовый состав образованной пленки служат управляемыми величинами, полностью определяющими оптические, механические и электрофизические характеристики полученного растра. В качестве экспериментальных средств обеспечения требуемой шероховатости выступают режимы процесса лазерного маркирования. Регулятором толщины и фазового состава пленки являются состав и парциальные давления компонентов газовой среды обработки. Расчетнотеоретической основой, обеспечивающей стабильность оптических и механических характеристик, является методика оптимизации шероховатости поверхности, базирующаяся на методе Бокса Уилсона – инструментарии теории планирования эксперимента.

Средством регулирования фазового состава и, в определенной мере, электрофизических свойств пленки может служить варьирование составом и соотношением парциальных давлений компонентов газовой среды, а также температурой процесса на основе расчета изобарно-изотермических потенциалов химических реакций взаимодействий материала ротора с этими компонентами и кинетической оценки этих реакций, базирующейся на уравнениях Аррениуса.

При этом дополнительным средством регулирования электрофизических свойств растра может служить варьирование стехиометрией покрытия, на котором формируется растровый рисунок. В частности, для покрытия нитрида титана общей формулы TixNy изменение стехиометрического коэффициента y в пределах от 0,557 до 1,0 уменьшает электросопротивление покрытия от 112,5 до мкОм·см. А стехиометрический состав нитрида титана также определяется парциальным давлением азота в процессе нанесения покрытия, где в полной мере применимы методы термодинамического анализа и оценки кинетических факторов.

Цель Задачи Обеспечение требуемой схемы Обеспечение стабильности функциональных Создание относительной разницы контрастности параметры величины создания Экспериментальные средства обеспечения факторы Расчетно-теоретические Оптимизация шероховатости на Термодинамический анализ и способы обеспечения Рис. 1. ИЛМ теоретико-прикладных и расчетно-экспериментальных исследований по повышению качества роторов электростатических гироскопов Таким образом, в качестве основного приема, способного обеспечить стабильность оптических и механических свойств ротора, в работе используется оптимизация шероховатости функциональных поверхностей. Процесс оптимизации определяется методикой, основные положения которой отражает блоксхема, представленная на рис. 2.

Аналитическая Экспериментальная характеристик и фиксацией критериев оценки шероховатости Оптимизация шероховатости – экспериментальный поиск шероховатости, определяющей требуемый уровень функционального критерия, на основе теории планирования эксперимента Рис. 2. Блок-схема процесса оптимизации шероховатости В операторах 14 блок-схемы осуществляется последовательный анализ с выбором функционального критерия и критерия оценки шероховатости. Также осуществляется выбор оборудования и средств программного обеспечения для измерения и вычисления требуемых критериев оценки шероховатости. В операторе 5 производится определение уровня воспроизводимости критериев оценки шероховатости и функционального критерия для поверхностей, полученных одним технологическим методом на идентичных режимах. Недостаточный уровень воспроизводимости требует поиска альтернативной, более прогрессивной технологии и перехода к блоку 6. Операторы 7 и 8 определяют работы по поиску корреляции шероховатости с функциональным критерием. Если влияние шероховатости на функциональный критерий не выявлено, то исследования заканчиваются и следует переход к оператору 9.

Влияние шероховатости на функциональный критерий предполагает оптимизацию шероховатости (блок 10), т.е. проведение экспериментального поиска шероховатости поверхности, обеспечивающей требуемый уровень функционального критерия. Согласно предлагаемой методике, оптимизация шероховатости включает три основных этапа:

– на основе теории планирования эксперимента осуществляется создание математической модели (уравнения регрессии), связывающей функциональный критерий с режимами технологической обработки;

– на базе математической модели определяется оптимальный технологический режим для создания поверхности с требуемым уровнем функционального критерия;

– на выявленных оптимальных режимах осуществляются формирование поверхности и фиксация шероховатости этой поверхности, которая и будет являться оптимальной для требуемого уровня функционального критерия.

Проведение оптимизации шероховатости для оптических характеристик роторов электростатических гироскопов позволило получить следующие результаты.

1. Математические модели, адекватно описывающие процесс формирования рисунка на доведенной поверхности бериллия (1) и нитрида титана (2), связывающие контрастность с технологическими режимами лазерного маркирования:

для прецизионной бериллиевой поверхности K = 0,38 + 0,13P + 0,06 N 0,14V 0,06 f + 0,10 PV + 0,05Pf + 0,04PVf, (1) для поверхности нитрида титана где К – контрастность растрового рисунка, определяемая нормированной разностью коэффициентов отражения базовой поверхности ротора и нанесенного рисунка на длине волны 860 нм.; Р, V, N, f – кодированные значения мощности излучения, скорости перемещения луча по обрабатываемой поверхности, плотности линий (число линий, приходящихся на 1 мм маркируемой поверхности при диаметре пятна луча 25 мкм) и частоты следования импульсов. Переход от натуральных значений факторов к кодированным значениям Fк осуществляется по формуле: Fк = Fн Fо, где Fн – натуральное значение фактора, Fо – значение фактора на основном уровне, I – интервал варьирования фактора. Для прецизионной бериллиевой поверхности значения факторов на основном уровне составили: Ро=2,5 Вт, Vо=25мм/с, Nо=500 лин/мм, fо=25кГц, а интервалы варьирования для каждого фактора равны IР=0,5 Вт, IV=15мм/с, IN= лин/мм, I f=5кГц. Для прецизионной поверхности нитрида титана значения факторов на основном уровне составили: Ро =2 Вт, Vо =50мм/с, Nо=500 лин/мм, а интервалы варьирования для каждого фактора равны IР=0,2 Вт, IV=20мм/с, I N=200 лин/мм.

2. Технологические режимы для создания растра с требуемым уровнем контрастности:

для прецизионной бериллиевой поверхности с контрастностью 0,7:

P=2 Вт, N=300 лин/мм, V=10 мм/с и f=30 кГц;

для поверхности нитрида титана с контрастностью 0,6:

P=2 Вт, N=500 лин/мм, V=50 мм/с и f=20 кГц.

3. Шероховатость поверхности, контроль которой предложено осуществлять на базе графических изображений плотностей распределения тангенсов углов наклона трехмерных топографий, представленных на рис. 3.

Рис. 3. Графические изображения плотностей распределения тангенсов углов наклона трехмерных топографий поверхностей рисунков, полученных методом лазерного маркирования, с К=0,7±0,1 на поверхности доведенного бериллиевого образца (а), и с К=0,6±0,1 на поверхности доведенного покрытия нитрида титана (б) Таким образом, шероховатость поверхности оценивалась на базе предложенного непараметрического критерия – плотности распределения ординат трехмерной топографии. Необходимость разработки нового критерия оценки шероховатости обусловлена двумя причинами. Во-первых, предписанные стандартом параметры для оценки шероховатости поверхности нечувствительны к изменениям топологии поверхности при нанесении рисунка методом лазерного маркирования на прецизионную поверхность узлов гироприборов и, следовательно, параметрическое описание профиля поверхности не может быть использовано при оптимизации шероховатости для функциональных характеристик роторов электростатических гироскопов. Во-вторых, благодаря развитию средств метрологического оснащения, предназначенных для контроля шероховатости поверхности, наиболее полным способом описания шероховатости поверхности на сегодняшний день является ее топография – трехмерная модель поверхности.

Очевидно, что использование микротопографий поверхностей в качестве критериев оценки и контроля их микрогеометрии является наиболее эффективным. Однако поскольку зрительное восприятие микротопографий носит субъективный характер, в данной работе предложена методика практического использования микротопографии поверхностей для оценки и контроля их микрогеометрии на основе непараметрических критериев – графических изображений эмпирических плотностей распределения ординат (или тангенсов углов наклона) микротопографии (рис. 4).

Рис. 4. Микротопография модели поверхности и процедура построения непараметрического критерий ее оценки и контроля На рис. 4 представлены: микротопография модели исследуемой поверхности (а), результат разбиения микротопографии на уровни и подсчет числа ординат, попавших в каждый уровень (слой) (б) и плотность распределения ординат топографий H(y) (в), где H – вероятность, определяемая отношением числа ординат, попавших в слой, к общему числу ординат трехмерной топографии; yi – фактические значения ординат, определяющих границы слоя. Аналогично строится плотность распределения тангенсов углов наклона трехмерных топографий H(tg), где tg – отношение разности ближайших ординат к шагу дискретизации. При сравнении двух и более микротопографий следует осуществлять построение указанных кривых в едином масштабе. Программа, реализующая описанную методику, разработана в среде МАТЛАБ.

Наряду с выбором и обеспечением способа описания шероховатости важной составляющей процесса оптимизации является этап фиксирования промежуточных результатов: технологических режимов, уровня функционального критерия и шероховатости поверхности, не удовлетворяющих цели исследования, но являющихся неотъемлемой составляющей процесса оптимизации на основе теории планирования эксперимента. Эти данные послужили основанием для создания единой информационной модели, позволяющей в упорядоченном и структурированном виде хранить конструкторские признаки изделий, а также технологические и метрологические данные для создания и контроля поверхностей с требуемым уровнем функциональных характеристик. В основу разработки базы данных (БД) положена структурная схема, представленная на рис. 5. В схеме выделены три информационных блока: конструкторский, технологический и метрологический. Каждый блок несет специфическую информацию. В конструкторском фиксируются такие характеристики, как марка материала, форма детали или узла, а также ее наименование. В технологическом – определяется перечень двух последних операций в технологическом цикле изготовление детали, поскольку именно на этом этапе формируется рабочий микрорельеф поверхности, также указываются наименование оборудования, марка инструмента и режимы обработки – данные, необходимые для технологического обеспечения оптимальной микрогеометрии. Важной является дополнительная информацию об обработке, например сведения о дисперсности притирочных паст, диаметре пятна лазерного луча и т.д., которые во многом определяют свойства полученного микрорельефа. И, наконец, метрологический блок содержит информацию о значениях и условиях измерения функционального критерия и критерия оценки шероховатости поверхности.

Конструкторский Технологический Метрологический модуль Рис.5. Структурная схема построения базы данных для технологического обеспечения шероховатости функциональных поверхностей Однако наряду с шероховатостью, определяющей оптические и механические свойства роторов электростатических гироскопов, функциональные характеристики ротора при создании рисунка методом лазерного маркирования связаны также с толщиной и фазовым составом пленки, являющейся результатом взаимодействия поверхности металла с компонентами газовой среды обработки. Управление параметрами оборудования, в данном случае режимами лазерной обработки, не всегда достаточно для выполнения специфичных требований к растровому рисунку, в частности электропроводности. Эти характеристики во многом определяются фазовым составом покрытия, образующегося в результате воздействия на металлическую поверхность лазерных импульсов. А фазовый состав непосредственно связан с газовой средой, основными характеристиками которой являются ее состав и парциальные давления компонентов. Очевидно, что процессы, протекающие на обрабатываемой поверхности при нагреве, что имеет место при лазерном маркировании, обусловлены химическими взаимодействиями. И наиболее объективными для анализа указанных процессов являются такие методы и подходы, которые основаны на единых принципах и критериях, в частности на энергетических характеристиках, что связано:

– с термодинамическим анализом, определяющим принципиальную разрешенность конкретного взаимодействия;

– с кинетической оценкой, использующей известные уравнения Аррениуса, которые описывают практически каждый из протекающих в данном случае термически активируемых процессов.

Средством оценки вероятности протекания какого-либо химического взаимодействия является определение изобарно-изотермического потенциала данной реакции. Расчет изобарно-изотермического потенциала Z0Т реакции, как разности суммы Z0Т продуктов и суммы Z0Т исходных компонентов, можно производить по выражению где HоТ – тепловой эффект процесса (изменение энтальпии) и S0Т – изменение энтропии системы, Cp – теплоемкость.

При расчете Z0Т реакций металла с газами для давлений газовой среды, отличных от атмосферного, необходимо учитывать влияние парциального давления компонентов Pg:

где k – стехиометрический коэффициент, Z0Т – изобарно-изотермический потенциал при нормальном давлении (10,2 · 10-4 Па), R – универсальная газовая постоянная, равная 8,3 Дж/(мольК).

Термодинамический анализ – инструментарий, который позволяет расчетным путем оценить разрешенность и приоритет протекания конкретных реакций и тем самым прогнозировать, обоснованно подбирать и регулировать условия для нанесения растра с требуемым уровнем электрофизических свойств, определяемых его фазовым составом.

На рис. 6, а приведены зависимости Z0Т от температуры, полученные на базе уравнений (3) и (4) для реакций бериллия с кислородом и азотом, являющимися основными компонентами воздушной среды, а также с углеродом, который в реальных условиях лазерной обработки может являться продуктом процесса диссоциации CO2.

ZoТ, кДж/моль Рис 6. Температурная зависимость изобарно-изотермического потенциала реакций образования Be3N2, Be2C и BeO на воздухе (а), в среде азота (б) Отрицательный знак Z0Т свидетельствует о разрешенности всех трех реакций в пределах температурного диапазона от 300 до 2000К, причем значение Z0Т реакции бериллия с кислородом во всем диапазоне температур значительно меньше, чем с азотом или углеродом, следовательно, образование оксида бериллия более вероятно. Следует отметить, что диссоциация углекислого газа термодинамически разрешена при температурах, превышающих температуру в зоне лазерного маркирования, вследствие чего образование карбида бериллия оказывается маловероятным. Таким образом, растры, полученные в ходе лазерной обработки на воздухе, вероятнее всего представляют собой оксид бериллия, хотя возможно образование и нитрида бериллия, то есть двухфазного состава растра, где присутствуют и Be3N2 и BeO.

Представляет интерес оценка значения и знака изобарно-изотермического потенциала для реакций взаимодействия бериллия с кислородом, углеродом и азотом в азотной среде. На рис. 6, б представлены зависимости изобарноизотермического потенциала реакций образования Be3N2, Be2С и BeO в среде азота 99,99%. Все три реакции образования карбида, нитрида и оксида бериллия имеют отрицательный изобарно-изотермический потенциал в диапазоне температур от 300 до 2000К, что свидетельствует о разрешенности протекания реакций. Из рис. 6, б видно, что наименьшее значение Z0Т имеет для реакции образования оксида бериллия. Однако наряду с оценкой разрешенности протекания реакции также важна кинетическая оценка скорости ее протекания. Как отмечалось ранее, кинетическую оценку принято осуществлять на основе уравнения Аррениуса где kT – константа скорости реакции при данной температуре Т; A – коэффициент уравнения Аррениуса; Е – энергия активации.

Постоянные уравнения Аррениуса (А и Е) имеют большое значение: их сопоставление позволяет сравнивать кинетическую активность различных химических процессов – при равных условиях реакция, которой соответствует меньшее значение Е и большее значение А, протекает быстрее, и наоборот. В таблице 1 представлены значения постоянных в уравнении Аррениуса, рассчитанные для реакций образования оксида, нитрида и карбида бериллия в среде воздуха и среде азота.

ТАБЛИЦА 1. Расчетные значения постоянных уравнения Аррениуса для реакций образования оксида, нитрида и карбида бериллия в среде воздуха и азота.

образования кДж/моль Из таблицы 1 видно, что на воздухе наименьшим значением энергии активации E и наибольшей постоянной скорости A обладает реакция образования нитрида бериллия, затем карбида и оксида. В среде азота значения энергий активации для реакций изменяются незначительно по сравнению со значениями, полученными для воздушной среды. А постоянная скорости в среде азота для реакции образования нитрида возрастает на порядок, в то время как для реакции бериллия с кислородом уменьшается также на порядок. Это свидетельствует о том, что в среде азота скорость протекания реакции образования нитрида выше скорости остальных реакций. Таким образом, в соответствии с проведенным термодинамическим анализом и кинетической оценкой, в среде азота наиболее вероятно получение нитрида бериллия. В то время как на воздухе возможно получение двухфазного состава растра.

Фазовый состав растра во многом определяет электрофизические свойства полученной структуры. В таблице 2 приведены справочные данные об удельных сопротивлениях бериллия и его соединений.

ТАБЛИЦА 2. Удельные сопротивления бериллия и его соединений.

Бериллий и его соединения BeO Be3N Данные этой таблицы показывают, что из рассматриваемых соединений бериллия наименьшим сопротивлением обладает его карбид, затем нитрид и оксид. Этот факт подтверждает возможность управления электрофизическими свойствами наносимого растра путем изменения его фазового состава. А методом прогнозирования могут служить термодинамический анализ и кинетическая оценка реакций, протекающих в газовой среде, где происходит формирование рисунка методом лазерного маркирования.

Третья глава содержит описание технологического и метрологического оборудования, обеспечивающего проведение экспериментальных исследований и практическую реализацию разработанных технологических процессов создания растрового рисунка методом лазерного маркирования.

Представлены методики оценки качества рисунка, связанные с измерением контрастности на микроскопе-спектрофотометре МСФУ-К, контролем шероховатости на измерительной станции Hommel Tester T8000 и оценкой электропроводности на основе построения вольт-амперных характеристик на сканирующем зондовом микроскопе NanoEducator.

В четвертой главе описываются разработанные технологические схемы создания оптических элементов заданной контрастности методом лазерного маркирования на реальных роторах электростатических гироскопов, рассматривается инструментарий создания базы данных для технологического обеспечения шероховатости функциональных поверхностей, обозначаются этапы разработки программы в среде МАТЛАБ для построения непараметрических критериев оценки и контроля шероховатости и излагаются результаты экспериментальной проверки теоретических положений работы.

К экспериментальным результатам, подтверждающим теоретические положения, относятся эмпирические зависимости контрастности растрового рисунка от режимов лазерного маркирования. На рис. 7. приведен график зависимости контрастности K для прецизионной бериллиевой поверхности от мощности лазера Р, варьируемой в диапазоне от 1,5 до 2 Вт. На рис. 8 приведен график зависимости контрастности K для бериллиевой поверхности от скорости перемещения лазера V.

Рис 7. Зависимость контрастности Рис. 8. Зависимость контрастности K от мощности лазера P при скоро- K от скорости сканирования V при сти 10 мм/c, частоте импульсов 20 мощности 2 Вт, частоте импульсов кГц и плотности линий 500 лин/мм 20 кГц и плотности линий 700 лин/м В таблице 3 приведены результаты исследований влияния плотности линий N на степень оптического контраста обработанной лазером поверхности.

ТАБЛИЦА 3. Влияние плотности линий на контрастность модифицированного слоя бериллиевой поверхности.

Мощность Скорость движе- Частота Плотность Контрастность, Проведенные эксперименты свидетельствуют о том, что с увеличением мощности лазерного излучения и плотности линий контрастность увеличивается. Скорость движения лазерного луча влияет на коэффициент контрастности инверсным образом: с увеличением скорости сканирования контрастность уменьшается. Эти данные полностью согласуются с результатами, полученными при анализе уравнения регрессии выражение (2), связывающего контрастность с режимами лазерного маркирования, например, по поверхности нитрида титана.

Знаки коэффициентов в уравнении регрессии при варьируемых факторах (мощности P, скорости V и плотности линий N) определяет характер влияния данного фактора на критерий, определяющий функциональную характеристику. Знак “+” означает, что увеличение данного фактора приводит к возрастанию функционального критерия, знак “” свидетельствует о том, что увеличение данного фактора приводит к уменьшению функционального критерия. При мощности P и плотности линий N коэффициенты положительные, а при скорости сканирования V коэффициент отрицательный. Таким образом, эмпирические кривые, определяющие влияния режимов лазерного маркирования на контрастность рисунка, подтверждают адекватность полученной математической модели.

В данной главе также представлены результаты рентгеноэлектронного анализа, подтверждающие основные положения, сделанные на базе расчета Z0Т и кинетической оценки химических взаимодействий.

ТАБЛИЦА 4. Данные рентгеноэлектронного анализа рисунка, полученного методом лазерного маркирования в среде воздуха и азота.

Элемент Бериллиевый Образец после нанесения Образец после нанесеобразец до рисунка ния рисунка В таблице 4 приведены данные рентгеноэлектронного анализа поверхности бериллиевого образца, а также растрового рисунка, полученного методом лазерного маркирования в среде воздуха и среде азота. Из таблицы 4 видно, что поскольку на воздухе металлический образец имеет естественную оксидную пленку, то фоновое содержание кислорода составляет величину порядка 62,98%, азота 4,17%. После маркирования на воздухе содержание кислорода в образце значительно увеличивается. Содержание азота относительно фонового изменяется лишь на 1,72%. Таким образом, на воздухе рисунок, полученный методом лазерного маркирования, имеет двухфазный состав с преобладанием оксида бериллия. После маркирования бериллиевого образца в среде азота, содержание азота увеличивается почти в 9 раз, в то время как содержание кислорода относительно фонового состава почти не изменяется.

Эти данные в полной мере согласуются с результатами расчетов, полученных на базе термодинамического анализа и кинетической оценки, приведенными во второй главе.

Важно отметить, что формирование рисунка методом лазерного маркирования осуществлялось как на бериллиевой поверхности, так и на поверхности износостойкого покрытия нитрида титана, предварительно нанесенного на сплошной бериллиевый ротор. Технология создания рисунка по покрытию имеет следующие преимущества:

• возможность получения более широкой цветовой гаммы за счет варьирования не только режимами лазерного маркирования, но и стехиометрией покрытия нитрида титана, имеющего оттенки от соломенно-золотистого до темно-коричневого;

• возможность химического стравливания покрытия, толщина которого ( мкм) больше толщины модифицированного слоя маркированного рисунка (порядка 0,7 мкм) в том случае, если гироузел после формирования рисунка не удовлетворил техническим требованиям (контрастности или дисбалансу).

То есть введение покрытия позволяет создать возвратную технологию, сохраняющую годным ротор, полученный после финишной механообработки.

В табл. 5 приведены сравнительные характеристики роторов БЭСГ, изготовленных с использованием ЭХТ и с применением технологии лазерного маркирования поверхности покрытия нитрида титана, предварительно нанесенного на ротор.

ТАБЛИЦА 5. Сравнительный анализ технологии ЭХТ и лазерного маркирования характеристики 4 Изменение кон- Требует создания новой Изменение данных в профигурации ри- оснастки и перестройки грамме управления лазерсунка всей технологии ным лучом Экономичность Данные таблицы свидетельствуют о том, что технология лазерного маркирования по покрытию, предварительно нанесенному на ротор, является весьма перспективной.

1. Сформулированы принципы математического моделирования процесса лазерного маркирования на примере поверхности нитрида титана и прецизионной бериллиевой поверхности роторов электростатических гироскопов, позволяющие решить задачу регулирования контрастности рисунка.

2. Предложена качественно новая технология, которая обеспечивает возможность создания оптических элементов заданной разноконтрастности на роторе электростатического гироскопа, и позволяет формировать растровый рисунок любой ориентации относительно оси вращения ротора, что способствует повышению точности оптоэлектронного съема информации.

3. Разработана технологическая схема корректировки электрофизических свойств поверхности сплошных роторов БЭСГ посредством варьирования состава и парциальных давлений компонентов газовой среды при формировании рисунка методом лазерного маркирования.

4. Создан комплекс методик для оптимизации шероховатости поверхности и оценке таких функциональных характеристик растрового рисунка, как контрастность, электропроводность и фазовый состав.

5. Выполнено формирование растровых рисунков различной конфигурации на реальных роторах БЭСГ с получением функциональных характеристик более высокого уровня по сравнению с предшествующей технологией.

Содержание диссертации изложено в следующих работах:

в публикациях из перечня ВАК 1. Юльметова О.С. Оптимизация микрогеометрии функциональных поверхностей деталей приборов для повышения их качества // Научнотехнический вестник СПбГУ ИТМО. - 2008, № 48, с. 140-142.

2. Юльметова О.С., Юльметова Р. Р., Сисюков А. Н. Создание базы данных непараметрических критериев оценки микрогеометрии функциональных поверхностей. // Известия вузов. «Приборостроение», т. 53, № 8, СПб., 2010, с.15Юльметова О.С., Третьяков С.Д. О проблемах оптимизации микрогеометрии поверхностного слоя деталей приборов // Известия вузов. «Приборостроение», т. 53, № 8, СПб., 2010, с.12-15.

4. Юльметова О.С., Яковлева С.А. Вопросы размерной стабильности материалов и элементов конструкций в приборостроении // Известия вузов. «Приборостроение», т. 53, № 8, СПб., 2010, с. 23-26.

5. Юльметова О.С., Щербак А.Г. Исследование процесса формирования светоконтрастного растра посредством лазерного маркирования // Научнотехнический вестник СПбГУ ИТМО. - 2010, № 05(69), с. 28-34.

в прочих публикациях 6. Юльметова О.С. Оптимизация микрогеометрии функциональных поверхностей деталей приборов для повышения их качества // Гироскопия и навигация № 2 (61), 2008, с. 96.

7. Юльметова О.С. Современное состояние и перспективы развития исследований микрогеометрии поверхности // Гироскопия и навигация № 2(65), 2009, с. 81-82.

8. Юльметова О.С., Юльметова Р. Р., Сисюков А. Н. Разработка программы в среде Matlab для обработки и анализа микрогеометрии поверхности // Сборник трудов конференции молодых ученых, Выпуск 2. Биомедицинские технологии, мехатроника и робототехника / Главный редактор д.т.н. проф. В.Л.

Ткалич. - СПб.: СПбГУ ИТМО, 2009, с. 300-304.

9. Юльметова О.С., Валетов В.А. Методика экспериментального исследования влияния микрогеометрии поверхностей на их трибологические характеристики. // Трибология и надежность № 9: Сборник научных трудов IX Международной конференции. - СПб.: Петербургский государственный университет путей сообщения, 2009, с. 101-107.

10. Юльметова О.С. Разработка методики экспериментальных исследований влияния шероховатости на функциональные свойства деталей гироприборов.// Сборник тезисов докладов конференции молодых ученых, Выпуск 3. Труды молодых ученых / Главный редактор д.т.н. проф. В.О. Никифоров. - СПб.:

СПбГУ ИТМО, 2010, с. 155.

11. Юльметова О.С. Анализ моделей описания шероховатости в контексте этапов развития науки // Сборник тезисов докладов конференции молодых ученых, Выпуск 3. Труды молодых ученых/ Главный редактор д.т.н. проф. В.О.

Никифоров. - СПб.: СПбГУ ИТМО, 2010, с. 156.

12. Юльметова О.С. Исследование контрастности лазерных меток на прецизионных металлических поверхностях.// Тезисы докладов IX конференции молодых ученых и специалистов. - СПб.: ГНЦ ФГУП ЦНИИ «Прометей», 2010, с.

55.

13. Yulmetova O. S., Matyzhonok V.N. Research on the contrast of laser marks on precise surfaces of metals // Abstracts of International conference «Fundamentals of laser assisted micro- and nanotechnologies» (FLAMN-10). - St. Petersburg:

ITMO, 2010 p.107.

14. Юльметова О.С. Исследование корреляции шероховатости с функциональными свойствами узлов гироприборов // Гироскопия и навигация № 2(69), 2010, с. 68.

15. В.А. Валетов, С.Д. Васильков, А.Н. Сисюков, О.С. Юльметова. Методика исследования характеристик поверхностного слоя деталей приборов: Учебное пособие. - СПб.: СПбГУ ИТМО, 2010.- 92 с.

16. Юльметова О.С., Щербак А.Г. Термодинамический анализ топохимических взаимодействий при формировании растрового рисунка посредством лазерного маркирования на бериллиевых узлах гироприборов // Сборник тезисов докладов конференции молодых ученых. Выпуск 2. - СПб.: СПбГУ ИТМО, 2011, с. 318.

17. Юльметова О.С. Щербак А.Г., Геращенко М. Д. Оптимизация процесса формирования функциональных поверхностей прецизионных узлов гироприборов // Гироскопия и навигация № 2 (73), 2011, с. 92.

18. Юльметова О.С., Валетов В.А., Третьяков С.Д. Создание базы данных по взаимосвязи видов и режимов обработки поверхностей деталей с критериями оценки шероховатости.// Девятая сессия международной научной школы «Фундаментальные и прикладные проблемы надежности и диагностики машин и механизмов». Сборник трудов. - СПб.: ИПМАШ РАН, 2009, с. 464-470.

Тиражирование и брошюровка выполнены в ГНЦ РФ ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор»

197046, Россия, Санкт-Петербург, ул. Малая Посадская, 30.

Корректор: А.К. Крытова Тираж 100 экз.



 
Похожие работы:

«Рубашова Дарья Александровна МЕТОДЫ И СИСТЕМА ОЦЕНКИ БИОМЕХАНИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК СТРУКТУР ГЛАЗА Специальность: 05.11.17 – Приборы, системы и изделия медицинского назначения АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Санкт-Петербург 2013 Работа выполнена на кафедре прикладной механики и инженерной графики Федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего профессионального образования Санкт-Петербургский...»

«Михеева Алена Юрьевна УНИФИКАЦИЯ ПРОБОПОДГОТОВКИ НА ОСНОВЕ КОЛОНОЧНОЙ ХРОМАТОГРАФИИ ПРИ ОПРЕДЕЛЕНИИ СТОЙКИХ ОРГАНИЧЕСКИХ ЗАГРЯЗНИТЕЛЕЙ 05.11.11- Хроматография и хроматографические приборы Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук Москва – 2009 2 Работа выполнена в ФГУП Российский научно-исследовательский центр чрезвычайных ситуаций ФМБА России, ЗАО Центр исследования и контроля воды Научные руководители: Кандидат физико-математических наук...»

«МИШКОВ Михаил Юрьевич РАЗРАБОТКА ДИЭЛЬКОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ ДЛЯ СИСТЕМ ЭКОЛОГИЧЕСКОГО МОНИТОРИНГА ПРЕСНОВОДНЫХ СРЕД Специальность 05.11.13 – Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Ижевск – 2009 УДК 621.317.335 Работа выполнена в ГОУ ВПО Ижевский государственный технический университет (ИжГТУ). Научный руководитель : Заслуженный деятель науки...»

«УДК 389 ЧУНОВКИНА Анна Гурьевна РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДОВ ОЦЕНИВАНИЯ РЕЗУЛЬТАТОВ ИЗМЕРЕНИЙ В НОВЫХ МЕТРОЛОГИЧЕСКИХ ЗАДАЧАХ специальность 05.11.15 – Метрология и метрологическое обеспечение АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук Санкт-Петербург 2010 Работа выполнена во ФГУП Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д.И....»

«Чугреев Сергей Александрович УСОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ МЕТОДА НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ КОМПАКТ-ДИСКОВ Специальность 05.11.13 - Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Новосибирск - 2010 1 Работа выполнена в Сибирском государственном университете путей сообщения (г. Новосибирск) и Алтайском государственном техническом университете им. И.И. Ползунова (г. Барнаул). Научный...»

«Мазалов Александр Владимирович ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ (Al)GaN/AlN ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ БЛИЖНЕГО УФ-ДИАПАЗОНА Специальность 05.11.07 – Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Москва 2013 Работа выполнена в ОАО НИИ Полюс им. М.Ф.Стельмаха. Научный руководитель : доктор технических наук Александр Анатольевич Мармалюк Официальные оппоненты : Владимир Петрович Астахов доктор...»

«МОКРОУСОВ Андрей Владимирович АППАРАТНО-ПРОГРАММНЫЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ И АНАЛИЗА КАРТИН ГАЗОВОГО РАЗРЯДА НА ПОВЕРХНОСТИ КОЖНОГО ПОКРОВА В ОБЛАСТИ БИОЛОГИЧЕСКИ АКТИВНЫХ ТОЧЕК Специальность 05.11.17 Приборы, системы и изделия медицинского назначения Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Новосибирск, 2013 Работа выполнена в федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального образования...»

«УДК 535.3 Патяев Александр Юрьевич РЕФРАКТОМЕТРИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ КОНТРОЛЯ ПРОТИВООБЛЕДЕНИТЕЛЬНОЙ ОБРАБОТКИ ВОЗДУШНЫХ СУДОВ Специальность: 05.11.07 – Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Санкт-Петербург – Работа выполнена...»

«Красильников Антон Валентинович РАЗРАБОТКА МЕТОДИК И АППАРАТУРЫ ДЛЯ ТЕХНИЧЕСКОЙ ДИАГНОСТИКИ И ПРОГНОЗИРОВАНИЯ РАБОТОСПОСОБНОСТИ ПУСКОВЫХ УСТРОЙСТВ ПОДВОДНЫХ АППАРАТОВ Специальность 05.11.14 – технология приборостроения Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Санкт-Петербург 2010 Работа выполнена в Государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования Санкт–Петербургский государственный университет...»

«Давыдов Юрий Фдорович УСОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ ОПТИЧЕСКОГО МЕТОДА КОНТРОЛЯ КОНЦЕНТРАЦИИ КАПЕЛЬНОЙ ФАЗЫ СЕРНОЙ КИСЛОТЫ НА ОСНОВЕ ПРИМЕНЕНИЯ СЕПАРАТОРА Специальность: 05.11.13 – Приборы и методы контроля природной среды веществ, материалов и изделий АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Барнаул 2012 Работа выполнена в Алтайском государственном техническом университете им. И. И. Ползунова Научный руководитель : доктор технических наук, доцент...»

«КОЛОБОВА Анна Викторовна ИССЛЕДОВАНИЕ И РАЗРАБОТКА МЕТОДОВ МЕТРОЛОГИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ПРОМЫШЛЕННО ВЫПУСКАЕМЫХ СТАНДАРТНЫХ ОБРАЗЦОВ СОСТАВА ГАЗОВЫХ СМЕСЕЙ Специальность: 05.11.15 – Метрология и метрологическое обеспечение АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Санкт-Петербург 2008 Работа выполнена в федеральном государственном унитарном предприятии Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии имени Д.И. Менделеева Научный...»

«Федосов Юрий Валерьевич ИНТЕГРИРОВАННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ПОДГОТОВКИ ПРОИЗВОДСТВА ЭЛЕКТРОННОЙ АППАРАТУРЫ Специальность 05.11.14 – Технология приборостроения Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Санкт-Петербург – 2012 Работа выполнена...»

«Клюйков Дмитрий Александрович ПОЛНАЯ МОДЕЛЬ СИГНАЛОВ ОЭС ОПТИЧЕСКОГО ДИСТАНЦИОННОГО ЗОНДИРОВАНИЯ АТМОСФЕРЫ ИЗ КОСМОСА Специальность 05.11.07 – Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Москва – 2011 2 Работа выполнена в Московском энергетическом институте (техническом университете) на кафедре светотехники Научный руководитель доктор технических наук, профессор Будак Владимир Павлович...»

«КРАСНОБАЕВ ДМИТРИЙ АНАТОЛЬЕВИЧ Исследование и разработка методов обработки сигналов и принятия решений в медицинских диагностических системах Специальность: 05.11.17–Приборы, системы и изделия медицинского назначения АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Таганрог 2011 2 Работа выполнена на кафедре Радиопримных устройств и телевидения Технологического института Южного федерального университета в г. Таганроге Научный руководитель :...»

«Иванова Людмила Юрьевна РАЗРАБОТКА РАБОЧИХ ИНСТРУМЕНТОВ И ИССЛЕДОВАНИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТЕЙ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНОЙ ДЕЗИНТЕГРАЦИИ УРОЛОГИЧЕСКИХ И КАРДИОЛОГИЧЕСКИХ ОРГАНОМИНЕРАЛЬНЫХ КОНКРЕМЕНТОВ Специальность 05.11.17 – Приборы, системы и изделия медицинского назначения АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Томск 2013 2 Работа выполнена в Федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального образования...»

«ХРАМЕНКОВ АЛЕКСЕЙ ВИКТОРОВИЧ МЕТОД ОЦЕНКИ СООТВЕТСТВИЯ МЕТРОЛОГИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ ПРЕДПРИЯТИЯ ПРИ СЕРТИФИКАЦИИ ЕГО СИСТЕМЫ МЕНЕДЖМЕНТА КАЧЕСТВА Специальность 05.11.15 – Метрология и метрологическое обеспечение АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Москва 2010 ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ Актуальность темы. Эффективность работы промышленного...»

«Сафатов Александр Сергеевич Разработка методического и технического обеспечения регионального мониторинга биоаэрозолей в атмосферном воздухе 05.11.13 – Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук Барнаул, 2011 2 Работа выполнена в Федеральном государственном учреждении науки Государственный научный центр вирусологии и биотехнологии Вектор Федеральной службы по надзору в...»

«ТУЖИЛКИН Олег Владимирович БЕСПРОВОДНЫЕ ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ НА ОСНОВЕ АВТОНОМНЫХ БЕЗАККУМУЛЯТОРНЫХ РАДИОДАТЧИКОВ Специальность 05.11.16 – Информационно-измерительные и управляющие системы (приборостроение) Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук ПЕНЗА 2013 Работа выполнена на кафедре Информационно-вычислительные системы Федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего профессионального...»

«Коморовский Витольд Станиславович КОНТРОЛЬ И ПРОГНОЗИРОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ КРУПНЫХ ЛЕСНЫХ ПОЖАРОВ КАК ДИНАМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ НА ПОВЕРХНОСТИ ЗЕМЛИ Специальность 05.11.13 – Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Красноярск – 2010 Работа выполнена в Государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования Сибирский государственный технологический...»

«Чистяков Валерий Валентинович АРХИТЕКТУРА ПРИЕМНИКА СПУТНИКОВОЙ НАВИГАЦИИ ДЛЯ КОСМИЧЕСКИХ АППАРАТОВ И МЕТОДЫ ПЕРВИЧНОЙ ОБРАБОТКИ СИГНАЛОВ Специальность: 05.11.03 – Приборы навигации АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Санкт-Петербург – 2014 Работа выполнена в федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального образования Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет ЛЭТИ...»






 
© 2013 www.diss.seluk.ru - «Бесплатная электронная библиотека - Авторефераты, Диссертации, Монографии, Методички, учебные программы»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.