WWW.DISS.SELUK.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА
(Авторефераты, диссертации, методички, учебные программы, монографии)

 

На правах рукописи

Егоркина Регина Юрьевна

Разработка информационного и методического обеспечения

мониторинга отходов нано- и микроэлектроники

Специальность: 05.11.13 - Приборы и методы контроля природной

среды, веществ, материалов и изделий

Автореферат

диссертации на соискание ученой степени

кандидата технических наук

Москва 2010 Диссертационная работа выполнена на кафедре «Промышленная экология» Московского государственного института электронной техники (технического университета)

Научный руководитель: доктор химических наук, профессор Кольцов В.Б.

Официальные оппоненты: доктор технических наук, профессор Шубов Л.Я.

кандидат технических наук Ивченков А.О.

Ведущая организация: Открытое акционерное общество «Научноисследовательский институт молекулярной электроники и "Микрон"»

Защита состоится «7» октября 2010 г. в 14 часов 30 минут на заседании диссертационного совета Д.212.134.04. при Московском государственном институте электронной техники (ТУ) по адресу: 124498, Москва, г. Зеленоград, проезд 4806, дом 5, МИЭТ.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке института.

Автореферат разослан «»_2010 г.

Ученый секретарь диссертационного совета доктор технических наук, профессор А.И. Погалов

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность диссертации.

В настоящее время в Российской Федерации, в связи с переходом промышленности на инновационный путь развития, приоритетными направлениями науки, технологий и техники являются: индустрия наносистем и материалов, а также рациональное природопользование.

В условиях развития указанных отраслей становится актуальной разработка эффективного информационного и методического обеспечения мониторинга отходов нано- и микроэлектроники, с целью организации рационального природопользования и обеспечения безопасности окружающей природной среды. Локальное развитие инновационных технологий приводит к необходимости организации мониторинга региональных и локальных антропогенных воздействий (импактного мониторинга) производства на окружающую природную среду. С точки зрения природоохранной деятельности, на сегодняшний день достигнуты большие успехи в области мониторинга загрязнений атмосферы, гидросферы и литосферы для традиционных производств.

Однако мониторинг отходов инновационных технологий ведется весьма условно. В частности, в учете и контроле отходов в области микроэлектроники, не говоря уже о наноэлектронике, имеются весьма ощутимые пробелы. Данное положение объясняется, как отсутствием норм отходообразования, так и отсутствием единой номенклатуры отходов и их соответствующей классификации. Кроме того, отсутствуют единые нормы и правила обращения с жидкими органическими отходами производства изделий нано- и микроэлектроники.

Необходимость проведения таких исследований и разработка научно обоснованных предложений по координации действий в системе мониторинга окружающей среды в звене «предприятие – контрольнонадзорный орган» очевидна и является, безусловно, актуальной проблемой.

Объект исследования - отходы технологических операций производства материалов и приборов нано- и микроэлектроники.

Предмет исследования - система мониторинга отходов технологий нано- и микроэлектроники.

Цель диссертационной работы: разработка информационного и методического обеспечения системы импактного экологического мониторинга отходов нано- и микроэлектроники.

Для достижения поставленной цели, в работе было необходимо решить следующие задачи:

1. Провести системный анализ номенклатуры отходов производства нано- и микроэлектроники на предприятиях города Зеленограда.

2. Провести исследование и анализ условий происхождения отходов, их свойств, агрегатного состояния и установить класс опасности, с целью разработки классификации отходов отрасли.

3. По критериям предельных концентраций и свойств компонентов отходов в различных средах, с применением специальных программных средств, рассчитать классы опасности отходов нано- и микроэлектроники.

4. По критериям степени деградации компонентов экосферы и компенсационному принципу, провести исследование и выполнить математическое моделирование оценки воздействия отходов на компоненты окружающей среды.

5. Провести комплексные исследования и разработать оптимальную систему отходооборота и переработки жидких органических отходов.

6. Разработать систему мониторинга отходов нано- и микроэлектроники по регионально - отраслевому принципу «единого окна».

Методы исследования. Теоретической основой проведенных исследований служат: системный анализ существующих мониторингов и системы обращения с отходами, математическое моделирование компенсационных оценок, оптимизация обращения с отходами, с момента их образования до момента их переработки.

Научная новизна работы состоит в следующем:

1. Разработано принципиально новое информационное и методическое обеспечение мониторинга отходов производства изделий нано- и микроэлектроники, с учетом сложного многокомпонентного состава.

2. Впервые проведено исследование опасных свойств отходов нано- и микроэлектроники, с применением специальных программных средств по критериям предельных концентраций и свойств компонентов отходов в различных средах, выполнены расчеты классов опасности отходов отрасли.

3. Систематизированы требования к местам временного накопления отходов отрасли.

4. На основе данных, об условиях происхождения отходов, их свойств, агрегатном состоянии и рассчитанном классе опасности, разработан информационный блок кодировки данных о принципиально новых классификационного каталога отходов.

5. Исследовано и проведено математическое моделирование компенсационных возмещений и оценок антропогенного воздействия жидких органических отходов сложного химического состава на компоненты окружающей среды.

6. Обоснован выбор наиболее малоотходного и энергетически эффективного метода переработки жидких органических отходов нано- и микроэлектроники путем термодинамического моделирования по критериям экологической эффективности и безопасности.

Диссертационная работа выполнялась в рамках программы планов мероприятий по осуществлению контроля хозяйственной деятельности ЦКП «МСТиЭКБ» МИЭТ, Центра изготовления фотошаблонов ОАО «ЗИТЦ» и ООО «Радис ЛТД» на соответствие экологическим требованиям.

Практическая ценность работы состоит в следующем:

1. Разработана номенклатура отходов нано- и микроэлектроники, с учетом условий происхождения, свойств и агрегатного состояния отходов сложного химического состава.

2. Разработано информационное и методическое обеспечение импактного мониторинга отходов нано- и микроэлектроники.

3. Разработано информационное и методическое обеспечение антропогенного воздействия отходов сложного химического состава на компоненты окружающей среды, а также проведено математическое моделирование данных воздействий.

4. Разработаны требования к эффективному обращению с отходами, с момента их накопления до переработки методом фильтрационного горения в «сверхадиабатическом» режиме.

Использование такой установки позволит обезвредить, как отходы нанои микроэлектроники, так и ТБО г. Зеленограда, а также отработанные масла автотранспорта и может являться элементом малой энергетики.

Предложенная система обращения и переработки отходов может быть внедрена на территории города с использованием промышленных и бытовых отходов по принципу «отход – как ресурс».

5. С применением специального программного обеспечения и критериев предельно допустимых концентраций компонентов отходов в различных средах, выполнен расчет классов опасности отходов отрасли.

6. Результаты диссертационной работы использованы в НИР, проводимых по заданию Министерства образования и науки РФ (942-грГр.асп.- ПЭ, 849-гб-53-Гр.асп. – ПЭ, 829-ГБ-53-Гр.асп.-ПЭ).

Внедрение результатов работы.

1. Результаты работы внедрены в учебный процесс МИЭТ в УМК дисциплин «Экологическая экспертиза, сертификация и оценка природопользования».

2. Результаты данной работы, в виде проектов, технической, технологической документации и руководящих технических регламентов, внедрены:

в Центре коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонентная база» Московского института электронной техники;

в «Центре изготовления фотошаблонов ОАО «Зеленоградский инновационно-технологический центр»;

3. Разработанная система мониторинга отходов нано- и микроэлектроники предложена к реализации в Зеленоградский отдел экологического контроля Департамента природопользования и охраны окружающей среды города Москвы.

На защиту выносятся следующие научные положения:

1. Разработанное информационное обеспечение мониторинга отходов нано- и микроэлектроники включает:

происхождения отходов, их свойствах, агрегатном информационный блок кодировки данных о принципиально новых отходах, для пополнения данных Федерального классификационного каталога отходов;

систему мониторинга отходов нано- и микроэлектроники по регионально - отраслевому принципу и схеме «единого 2. Разработанное методическое обеспечение мониторинга отходов нано- и микроэлектроники включает:

энергетически эффективного метода переработки жидких органических отходов нано- и микроэлектроники, путем термодинамического моделирования и расчета переработки унифицированный метод оценки объемов отходов отрасли;

выполненный, с применением специальных программных средств, по заявленным опасным свойствам отходов нано- и микроэлектроники по критериям предельных концентраций и свойств компонентов отходов в различных средах, расчет классов опасности отходов рассматриваемого вида;

возмещений и оценки антропогенного воздействия жидких органических отходов сложного химического состава на окружающую среду по критериям степени деградации Апробация работы.

Основные положения диссертационной работы, ее научные и практические результаты докладывались и обсуждались на:

всероссийских межвузовских научно-технических конференциях «Микроэлектроника и информатика» (Зеленоград 2007, 2008, 2009, 2010), международной научно-практической конференции «Роль мелиорации в обеспечении продовольственной и экологической безопасности России» (Москва, 2009), международных научнопрактических конференциях «Экономика, экология и общество России в 21-ом столетии» (Санкт-Петербург, 2009, 2010), международных научнотехнических конференциях «Наука и образование» (Мурманск, 2008, 2009, 2010), международной научно-практической конференции «Промышленные и бытовые отходы: проблемы хранения, захоронения, утилизации, контроля» (Пенза, 2010).

Достоверность результатов.

Выводы и рекомендации, полученные в результате работы, не противоречат основным представлениям и положениям в данной области исследований, и результатам, полученным ранее другими авторами.

Все результаты получены с использованием современных методик и программных комплексов.

Достоверность полученных автором результатов по обращению с отходами нано- и микроэлектроники, подтверждены аттестатом и удостоверением Ростехнадзора (Протокол заседания № 00-09-10075 от 25.09.2009г.).

Публикации.

По теме диссертации опубликовано 19 печатных работ, в том числе 2 статьи в ведущих научных журналах, утвержденных ВАК.

Структура и объем диссертации:

Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, списка использованных источников (121 наименование), и десяти приложений.

Работа содержит 116 страниц основного текста, включая 27 таблиц, рисунков. Общий объем работы составляет 132 страницы.

Личный вклад.

Все результаты диссертации получены автором лично.

Наиболее существенными из них являются:

1. На основе выполненного системного анализа номенклатуры отходов нано- и микроэлектроники, разработана классификация и кодификация отходов отрасли.

2. Проведено исследование опасных свойств отходов нано- и микроэлектроники, а также, с применением специальных программных средств, по критериям предельных концентраций и свойств компонентов отходов в различных средах, установлены классы опасности отходов рассматриваемого вида.

3. По критериям степени деградации компонентов экосферы и компенсационному принципу выполнено математическое моделирование оценки воздействия отходов сложного химического состава на компоненты окружающей среды.

4. На основе комплексного анализа и систематизации требований по обращению с опасными материалами разработаны руководящие технические требования по временному накоплению отходов.

5. Проведено комплексное исследование и разработана оптимальная система отходооборота и переработки жидких органических отходов отрасли.

6. Обосновано и предложено модернизировать существующую систему мониторинга отходов по регионально-отраслевому признаку по схеме «единого окна».

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обоснована актуальность решаемой проблемы, показана ее научная новизна и практическое применение, сформулированы цель и задачи диссертационной работы, основные положения, выносимые на защиту.

В первой главе приведен общий аналитический обзор мониторинга отходов в системе оценки воздействия на окружающую среду.

Проведен анализ процесса образования отходов при изготовлении изделий нано- и микроэлектроники на технологической линии Центра коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонентная база» МИЭТ, Центра изготовления фотошаблонов ОАО «Зеленоградский инновационно-технологический центр», ООО «Радис ЛТД». Установлено, что применение в технологическом процессе органических реактивов и специальных заготовок ведет к образованию специфичных отходов отрасли, которые не приведены в Федеральном классификационном каталоге отходов, что является проблемой при осуществлении мониторинга и определении порядка обращения с отходами. Системный анализ существующей структуры и элементов мониторинга показал, что в каждом конкретном случае методический подход к нормированию отходов определяется индивидуально. Информационное обеспечение мониторинга в настоящее время заключается в сборе информации множеством контрольно-надзорных органов.

В главе обосновано, что разработка нового информационного и методического обеспечения мониторинга отходов отрасли позволит упростить процедуры определения свойств отхода, регистрации и дальнейшего принятия решения по отходообороту.

Вторая глава посвящена разработке информационного и методического обеспечения мониторинга отходов нано- и микроэлектроники. Выявлены недостатки существующей системы мониторинга отходов исследуемой отрасли на территории Зеленограда, в числе которых следует отдельно отметить отсутствие единых норм для обращения с отходами отрасли и разветвленный бюрократический механизм сбора однородной информации.

Определено соотношение между жидкими и твердыми отходами нано- и микроэлектроники. Результаты проведенного исследования показали, что по агрегатному состоянию твердые и жидкие отходы составляет 63% и 37%, соответственно. Отходы отработанных неорганических кислот и щелочей не учитываются, так как не проходят стадию временного накопления. Поэтому, твердые отходы превалируют по массе. Однако, сопоставляя образование отходов по классам опасности, необходимо отметить, что жидкие отходы II класса опасности и твердые отходы II класса опасности соотносятся примерно, как 300:1, а отходы III класса опасности соотносятся как 14:1 (жидкие к твердым, соответственно) (таблица 1).

на предприятиях нано- и микроэлектроники города Зеленограда Класс Жидкие отходы, Твердые отходы, Масса отхода, отхода Формализованные данные об агрегатном и физическом состоянии, опасных свойствах, степени вредного воздействия на окружающую природную среду и происхождении отходов содержатся в Федеральном классификационном каталоге отходов (ФККО). Применяемая в каталоге тринадцатизначная кодовая система обеспечивает идентификацию основных критериев. Классификатор не включает информацию об отходах нано- и микроэлектроники. В этом случае их приравнивают к отходам другого происхождения. Например, брак заготовок фотошаблонов на 99,98% состоит из кварцевого стекла, а 0,02% составляет напыление хрома. Следовательно, этот вид отхода возможно характеризовать по ФККО либо как «Лом и отходы, содержащие хром»

3-его класса опасности, либо, как «Стеклянные отходы» 5-ого класса опасности. Такое применение кодировки дает противоречивую информацию об объемах, происхождении и свойствах отхода. Для решения выявленной проблемы разработан информационный блок классификационного каталога отходов нано- и микроэлектроники по принципам ФККО (таблица 2).

Таблица 2. Классификация отходов нано- и микроэлектроники Предлагаемый код по ФККО

ОТХОДЫ ВЫСОКИХ ТЕХНОЛОГИЙ

70000000 00

ОТХОДЫ ПРОИЗВОДСТВА ИЗДЕЛИЙ НАНО- И

71000000 00

МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ

71200000 00 52100000 02 52100000 02 52100000 02 52110000 02 52200000 02 52400202 02 04 2* 71200000 02 71200000 02 71200000 02 71200000 01 71200000 02 71210000 02 71200000 02 71200000 02 71200000 02 71300000 00 71300000 02 71300000 02 71300000 01 71400000 00 71400000 13 абразивные круги отработанные, лом отработанных 31404302 01 99 5*

ОТХОДЫ ЭКСПЛУАТАЦИИ И ОБСЛУЖИВАНИЯ

71500000 00 58200000 01 99 5* 97100000 01 Фильтрующие загрузки и фильтры воздухоподготовки 71500000 00 Предлагаемый код по ФККО 71500000 00 71500000 00 * - имеется в ФККО и соответствует свойствам отходов производства нано- и микроэлектроники.

Некоторые из отходов нано- и микроэлектроники были зарегистрированы автором в Московском кадастре отходов.

Данные об отходах и их движении предоставляются предприятиями в явочном порядке. Организация упрощенной схемы сбора информации об отходе по регионально - отраслевому принципу обеспечит сбор достоверной информации. При этом департамент природопользования и распределительного элемента.

Структура разработанной системы обеспечит оперативное предоставление информации пользователями. Для ведомственных органов исполнительной власти такая служба предоставляет средства мониторинга воздействия отходов на окружающую среду (рис.1).

Рис. 1 Распределительная схема мониторинга отходов нано- и Методическое обеспечение мониторинга включает в себя расчетные подсистемы, которые может применять как контрольно-надзорный орган, так и предприятия для оценки своего воздействия (рис.2).

Рис.2 Подсистемы методического обеспечения мониторинга Так масса отхода, образовавшегося за определенный период времени, определяется как функциональная зависимость от удельной нормы образования отхода (niоб) и фактической мощности производства При отсутствии установленных норм образования, масса отхода определяется как функциональная зависимость от фактического объема образовавшегося отхода за определенный период времени (V) и определяется в общем виде по формуле:

где н - насыпная плотность твердых отходов или средняя плотность жидких отходов, т/м3;

z - число источников, шт.

Значение объема отходов (V0), для периодических процессов (жидкостное травление, гальванические процессы), непосредственно связано с вместимостью емкости (), применяемой в технологической операции и являющейся источником образования отхода, объемным расходом материала, переходящего в отход (Vе):

где - период образования отхода.

Для периодических процессов образования отходов с продолжительностью цикла более суток и менее одного года (водо- и воздухоподготовка):

где Т – время работы аппарата за год, число месяцев;

m - число циклов образования отходов;

М0 - масса материала, переходящего в отход в аппарате;

m - число циклов образования отхода за месяц;

Qф, Qпр- мощность аппарата, проектная и фактическая соответственно, т/год;

Кт - коэффициент, учитывающий число пусков и остановок аппарата за выбранный период.

При определении системы обращения с отходами, кроме массы, необходимо знать класс опасности отхода. На основании заявленных предприятиями данных о компонентном составе образующихся отходов нано- и микроэлектроники определен класс опасности. Расчет выполнен с применением программного продукта фирмы «Логус» по критериям класса опасности в воздухе рабочей зоны, ПДК в почве, токсичности, растворимости (S25i) и летучести (P25i) при нормальных условиях. Класс опасности отхода устанавливается на основе индекса токсичности отхода, с учетом компонентного состава отхода (c). Блок-схема алгоритма расчета класса опасности отходов приведена на рис. 3.

Рис 3 Блок-схема алгоритма расчета класса опасности отхода.

Расчет индекса токсичности отхода на основе ПДК химических веществ в почве осуществляется по формуле:

где S=S25/100 - безразмерный коэффициент растворимости.

Расчет индекса токсичности отхода на основе средней летальной дозы DL50 осуществляется по формуле:

При отсутствии значений ПДКп или DL50 для компонентов отхода, но при наличии класса опасности в воздухе рабочей зоны, индекс токсичности компонентов отхода определяется по формуле (6), где в качестве значения DL50 подставляется условная величина – эквивалент DL50. Эквивалент DL50 определяется ориентировочно по показателю класса опасности в воздухе рабочей зоны.

Рассчитав индекс токсичности для отдельных компонентов отхода (Кi) выбирают 1-3 ведущих компонента, имеющих минимальные значения Кi, причем должны выполняться условия:

После этого рассчитывают суммарный индекс токсичности отхода по соотношению:

где m- число компонентов отхода, причем m3.

Класс и степень опасности отхода устанавливаются по значению суммарного индекса токсичности.

Выполненные расчеты классов опасности отходов нано- и микроэлектроники и паспортные опасные свойства положены в основу информационного блока классификационного каталога отходов.

Третья глава посвящена математическому моделированию оценки воздействия отходов исследуемой отрасли на окружающую среду с использованием данных, полученных в процессе применения разработанного импактного мониторинга.

В главе выполнена оценка эффективности переработки жидких органических отходов.

Являясь частью системы контрольно-надзорных органов, в области охраны окружающей среды, Департамент природопользования и охраны окружающей среды города Москвы имеет доступ к информации по загруженности, условиям обращения с отходами специальных объектов.

Тем самым, это учреждение имеет все возможности для координации деятельности по обращению с отходами, с учетом их свойств.

Использование данных, полученных по отрасли региональным департаментом, позволит, применяя математическое моделирование, проводить оценку воздействия отходов на компоненты экосферы и эффективности использования отхода. Таким образом, подсистемами мониторинга отходов производства изделий нано- и микроэлектроники на заданной территории являются оценка ущерба и платы за негативное воздействие на окружающую среду при размещении отходов, а также рекомендации по обращению с отходами.

Аварийная ситуация при обращении с отходами нано- и микроэлектроники может привести к ухудшению качества компонентов окружающей природной среды. Наибольший риск в таком случае будет испытывать водный объект, в который могут попасть отходы в составе сточных вод, а также почвы в случае несанкционированного разлива отходов.

При оценке ущерба, причиненного окружающей среде, в результате ухудшения качества городских почв, учитывается общая площадь загрязненного контура почвы (Sзагр) и максимальная глубина загрязнения (hзагр), а также концентрация каждого компонента и его предельно допустимая концентрация в качестве суммарного показателя загрязнения.

Существенными факторами для оценки ущерба, наносимого городским почвам, также являются: фактические затраты на проведение оценки вреда (Зо), ставки для исчисления размера вреда (Нзагр), средоохранная и средовоспроизводящая способность почвенного покрова (Кц).

Тогда размер вреда и убытков (Узагр) с учетом коэффициента индексации (Кин) можно представить следующей зависимостью:

Если принять объем отходов равный усредненному за период с 2004 по 2009 годы (таблица 1), то предполагаемый годовой ущерб составит 5 826 209,25 рублей. В то время как ущерб, нанесенный почвенному покрову при разливе объема отходов, образованных в одну смену, составит 32 000,28 рублей.

компенсационном принципе возмещения ущерба и на затратах, связанных с ликвидацией допущенного нарушения и восстановлением состояния водного объекта до показателей, наблюдаемых до выявленного нарушения, а также для устранения последствий нарушения.

Оценка размера вреда производится с учетом наиболее существенных факторов, влияющих на его величину, к которым относятся: состояние водных объектов (Кв), природно-климатические условия, в зависимости от времени года (Квг); длительность и интенсивность воздействия загрязняющих веществ на водный объект (Киз), коэффициент инфляции экономического развития (К ин), массы веществ (Mi) и ставки для исчисления размера вреда (Hi).

Интенсивность негативного воздействия загрязняющих веществ на водный объект устанавливается в зависимости от кратности превышения фактической концентрации загрязняющего вещества при сбросе на выпуске сточных вод над его фоновой концентрацией в воде водного объекта.

Оценку вреда (У), причиненного водному объекту сбросом загрязняющих веществ в составе сточных вод, можно представить следующей зависимостью:

УК КК НМК

Выполненная оценка ущерба наносимого водному объекту, в случае аварийного попадания в него жидких органических отходов нано- и микроэлектроники в составе сточных вод, за одну смену равна 1699, тыс. руб., в то время как годовой ущерб составит 423 235,49 тыс.руб.

Очевидно, что подобное нарушение условий природопользования нанесет большой вред компонентам окружающей среды и повлечет значительные экономическое затраты на ликвидацию аварии. Поэтому любое негативное воздействие на окружающую среду является платным.

При оценке платы за размещение отходов используются критерии массы отхода, норматива платы и экологической значимости региона. Так, суммарно предприятия, занятые в производстве изделий нано- и микроэлектроники, ежегодно производят выплаты экологического налога за размещение всех групп отходов в размере 1 264 847,64 рублей, из которых 498 482,56 рублей налог за размещение жидких органических отходов.

Плата за негативное воздействие на окружающую среду может быть снижена на 70% за счет размещении отходов на специализированных площадках, расположенных в пределах промышленной зоны источника негативного воздействия. Также возможно применение поправочного коэффициента 0 при временном накоплении и фактическом использовании в течение 3 лет в собственном производстве или переданных для использования в течение этого срока.

Тем острее и актуальнее становится проблема эффективного и экологически безопасного обращения с жидкими органическими отходами.

Эффективность переработки жидких органических отходов определена по тепловому эффекту реакции от переработки смеси отхода и условного топлива, с учетом характеристик отхода (содержание по массе углерода, водорода, кислорода, летучей серы, влаги и средняя теплота сгорания отходов (CP, HP, OP, SPL, WP и QPн(отх), соответственно) и дополнительного условного топлива (Сp = 69,3%, Hp = 3%, Ор = 2,5%, Np = 0,5%, Sp =0,2 %, W9 =5 %, QPн(у.т.) = 11950 ккал/кг или 50 кДж/кг).

диметилформамида, содержащего резист: Сp = 49,3%, Ор =21,9%, Np = 19,2%, Sp = 1%; Hp =9,6%W9 = 1%. и QPн(отх) = 5785,5 ккал/кг.

Количество условного топлива, необходимое для стабилизации процесса горения отходов в газификаторе определяется по формуле:

где:

Qнр ( см) —теплота сгорания смеси, ккал/кг (МДж/кг);

Qнр ( у.т) — теплота сгорания условного топлива, ккал/кг (МДж/кг);

Qнр (отх ) — теплота сгорания отходов, ккал/кг (МДж/кг);

Bотх — требуемое количество перерабатываемых отходов в единицу времени, кг/ч или т/год, — КПД реактора.

Экологическая безопасность выбросов от такой реакции обеспечится пережогом отходящих газов.

Удельный объем образующихся газов, объем воздуха для горения условного топлива, с целью обеспечения стабилизации процесса на первой стадии, объем воздуха для горения условного топлива в топочном устройстве газификатора, с целью пережога поступающих дымовых газов на второй стадии процесса, определяется по следующим выражениям:

V О 0,089С р 0, 255Н р 0,033(S р O р ), м3 / кг;

VRO 0,0187(С 0,375S ), м / кг;

Общий удельный объем дымовых газов составит Vотх = 8,12 м3/кг.

Теплосодержание дымовых газов, образованных сжиганием отходов на первой стадии газификации, определяем по формуле (22):

I отх V ' (cV )CO V o (cV ) N V o (cV ) H O ( 1 1) V o (cV ) З 2252,5 кДж/м3, (22) где (cV )CO, (cV ) N, (cV ) H O, (cV ) З энтальпия каждого компонента дымовых газов, влажного воздуха (кДж/м3) и золы (кДж/кг).

Теплосодержание дымовых газов (I’’отх), образованных сжиганием отходов в газификаторе, при температуре пережога этих газов на второй стадии составит 12 220,6 кДж/м3.

Теплосодержание дымовых газов, образованных сжиганием условного топлива для стабилизации процесса горения жидких органических отходов в реакторе определяем по формуле:

Аналогично определяем теплосодержание дымовых газов, образованных сжиганием условного топлива для стабилизации процесса горения отходов при температуре пережога этих газов на второй стадии процесса.

Суммарное количество тепловой энергии, получаемой от сжигания отходов и условного топлива (необходимого для стабилизации процесса горения и пережога дымовых газов от реактора), I’у.т. = 1121,97 кДж/м3.

Теплосодержание дымовых газов (I’’’у.т.), образованных сжиганием условного топлива, с целью пережога поступающих дымовых газов при температуре, равной теоретической температуре горения определяется по выражению (22) и составляет 28 600,36 кДж/кг.

Следовательно, Bу.т где Vгу.т— удельный объем дымовых газов, образованных сжиганием условного топлива, расходуемого на повторный пережог дымовых газов, поступающих от реактора в газификатор, м3/кг.

Количество тепловой энергии, которое может быть выработано при сжигании в реакторе отходов и условного топлива, для стабилизации процесса горения и для пережога дымовых газов определяем по формуле (24):

Q ( BотхQнр(отх ) Bу.тQнр( у.т) ) р Bу.тQнр( у.т) г 1,37 ккал/ч, где — КПД газификатора.

Это количество тепловой энергии содержит количество пара, которое можно определить по формуле (25) где: iп.в. — теплосодержание питательной воды, поступающей в газификатор (~104,4 ккал/кг), iпе — теплосодержание получаемого пара, ккал/кг.

Если принять, что примерно 10 % из полученного пара расходуется на обеспечение процесса переработки, а остальное направляется на выработку энергии, то принимая за удельный показатель часовой расход пара на выработку 1МВт, равный 5т, можно получить количество вырабатываемой электрической энергии.

Аналогично выполнены расчеты для других жидких органических отходов нано- и микроэлектроники (таблица 3).

Таблиц 3.Результаты расчетов энергетической эффективности термической переработки жидких органических отходов нано- и Метилпирролидон Тетраметиловый При этом следует указать, что технологическая схема позволяет при необходимости увеличить производство тепловой и электрической энергии сверх того количества, которое образуется только при сжигании и дожигании отходов. Это можно осуществить при увеличении расхода условного топлива в реакторе, сохранив при этом неизменным расход топлива для обеспечения стабилизации процесса горения в газификаторе.

Таким образом, переработка отработавшей органики нано- и микроэлектроники в две стадии обеспечит выход от 235,8кВт до 450кВт.

Перерабатывая отходы в смеси или с добавлением отработанных масел, выход тепловой энергии значительно выше, это дает возможность перерабатывать другие аналогичные отходы города. Перспективы развития отрасли и территории служат еще одним основанием для приятия решения о внедрении на выбранной территории специализированной установки, позволяющей организовать экологически безопасную переработку отходов отрасли.

Экологически безопасное и экономически эффективное управление отходами производства изделий нано- и микроэлектроники одновременно откроет широкие перспективы решения проблемы построения малой энергетики на базе местных нетрадиционных и возобновляемых источников топлива.

Четвертая глава посвящена анализу и разработке оптимальной схемы отходооборота. В качестве первой ступени обращения с отходами разработаны требования к местам временного хранения отходов отрасли.

После накопления транспортной партии в специально оборудованных сооружениях отход передается на переработку, обезвреживание или захоронения. Оптимальная система обращения с отходами должна быть комплексной и учитывать экологическую и экономическую составляющие при размещении отходов. Для этого выполнен анализ оптимизации отходооборота и изложен проведенный анализ технологий переработки отходов.

Основными существенными критериями оптимизации задач контроля отходов предприятий нано- и микроэлектроники и оценки эффективности структуры системы обращения с отходами являются:

1. Процедуры, связанные с размещением, использованием, обезвреживанием отходов, передачей права собственности на отходы, а также штрафы за нарушение экологической безопасности при удалении отходов (F1i(X,Y,Z)).

2. Процедуры, связанные с работами специализированных организации по захоронению, транспортировке и подготовке отходов (F2i(X,Y,Z)).

3. Процедуры, связанные с работами специализированных организаций по обезвреживанию отходов (F3i(Z)).

Тогда критерий оценки эффективности структуры системы обращения с отходами можно представить в следующем виде:

F(X,Y,Z)=AiF1i(X,Y,Z)+BiF2i(X,Y,Z)+CiF3i(Z), (27) где А, В, С - безразмерные весовые коэффициенты.

При этом функции процедур обращения и контроля зависят от экологической ситуации и значимости территории, местонахождения объектов размещения отходов, параметров, описывающих структуру системы управления их размещением, и концентрации (массы) вредных веществ (X, Z и У, соответственно).

Процедуры, связанные с обеспечением экологически безопасного размещения отходов, зависят главным образом от структуры системы управления размещением отходов предприятия, а именно - от числа операций по удалению отходов.

Значения весовых коэффициентов определяется с помощью анализа отчетных и статистических данных за выбранный промежуток времени.

Таким образом, оптимизация задач контроля обращения с отходами предприятий исследуемой отрасли будет иметь вид:

F(X,Y,Z)= Ai Fi1 (X,Y,Z)+ Bi Fi2 (X,Y,Z)+ Ci Fi3 (Z) min;

где Q - объем (масса) отходов;

Р - мощность предприятия (производства);

N - число инвестируемых предприятием операций по удалению отходов, обеспечивающих экологическую безопасность.

Оптимальное удаление отходов исследуемой отрасли обеспечивается уменьшением протяженности транспортного пути отхода и использовании его в качестве альтернативного топлива. Оценка такого использования была выполнена по критериям готовности процесса к промышленному внедрению, производительности оборудования, эколого-экономических и эксплуатационных показателей.

В то же время такую термическую переработку следует оценивать, прежде всего, как метод переработки отходов, а не способ производства энергии.

Обосновано, что из новых процессов сжигания наиболее перспективен процесс газификации, разработанный в Институте проблем химической физики Российской академии наук. Применяемый в технологии метод основан на использовании явления фильтрационного горения в «сверхадиабатических режимах». При таких режимах температура в зоне реакции существенно превышает адиабатическую (расчетную по классической термодинамике) температуру.

Газификация с последующей утилизацией газа в обычных энергетических установках (двухстадийная схема), обеспечивает высокий КПД и экологическую безопасность процесса. На первой стадии перерабатываемый материал подвергается паро-воздушной газификации, в результате чего образуется газообразное топливо (энергетический продукт-газ). Продукт-газ всегда содержит некоторые количества СО2, Н2О и СН4, а иногда и высшие углеводороды.

Поскольку некоторые компоненты отходов производства и потребления содержат атомы серы и азота, образуются H2S и NО2.

Данная технология переработки отходов реализована при утилизации твердых бытовых отходов, некондиционного топлива, нефтешламов или нефтеотходов, изношенных шин и других резиновых отходов, а также сланцевых отходов. Процесс газификации имеет следующие экологические преимущества:

1. Высокий энергетический КПД (до 95%).

2. Позволит проводить очистку газовых выбросов от соединений серы, хлора, фтора и пыли проще, чем выбросы от обычной термической переработки.

3. Дымовые газы содержат мало окиси углерода, остаточных углеводородов, окислов азота и пылевых частиц.

4. Возможно применение автономных газопоршневых мини-ТЭЦ.

5. Легче вписывается в имеющуюся промышленную инфраструктуру.

6. Сжигание в две стадии позволяет резко уменьшить образование диоксинов и фуранов.

Температура отходящего из реактора синтез-газа не превышает 150°С, при этой температуре летучие тяжелые металлы (Cd, As, Pb, Zn) практически не выносятся с газами.

Усреднение состава горючих отходов и их равномерная подача в процесс термообработки являются необходимыми условиями обеспечения стабилизации термического процесса, повышения эффективности этой операции и последующей газоочистки. Поэтому жидкие органические отходы нано- и микроэлектроники, собираемые в смеси, не будут препятствием для проведения процесса.

Для реактора-газификатора по переработке жидких органических отходов производства изделий нано- и микроэлектроники были определены некоторые технико-экономические характеристики.

Таблица 4. Технико-экономические характеристики реактора-газификатора по переработке жидких органических Технологическая производительность 100кг/час топливо/продукт-газ Время непрерывной работы реактора 7000 час/год Расходные материалы газификации Техническая вода (или мятый пар) до 1т/час Тепловая электростанция, работающая на альтернативном возобновляемом топливе (жидкая отработанная органика нано- и микроэлектроники) для энергоснабжения собственного производства обеспечивает экологически допустимую и дешвую переработку отходов.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ ДИССЕРТАЦИИ

Доказано, что координация действий в области охраны природопользования становится возможным только по результатам обработки собранной информации об отходах, их свойствах и движении.

Разработано информационное и методическое обеспечение мониторинга отходов отрасли по принципам упрощенной схемы сбора информации об отходе от природопользователя с организацией распределительного элемента по региональноотраслевому признаку и схеме «единого окна».

Выполненный системный анализ существующей системы мониторинга отходов нано- и микроэлектроники города Зеленограда позволил установить ее недостатки, для устранения которых разработано принципиально новое информационное и методическое обеспечения импактного мониторинга отходов отрасли.

Разработана классификация специфичных отходов отрасли, образующихся при использовании в технологическом процессе органических реактивов и специальных заготовок.

Проведено исследование опасных свойств отходов нано- и микроэлектроники и с применением специальных программных средств по критериям предельных концентраций и свойств компонентов отходов в различных средах выполнены расчеты классов опасности отходов отрасли.

Систематизированы требования к местам временного накопления отходов отрасли. На основании чего разработан руководящий микроэлектроники на площадке предприятия. Разработанные требования позволили обеспечить соблюдение экологических, санитарных и пожарных норм в Центре коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонентная база»

МИЭТ и Центре изготовления фотошаблонов ОАО «ЗИТЦ».

На основе полученных данных об условиях происхождения отходов, их свойствах, агрегатном состоянии и рассчитанном классе опасности разработан информационный блок кодировки данных об отходах исследуемой отрасли для модернизации Федерального классификационного каталога отходов.

Результаты теоретических исследований позволили обосновать и выполнить математическое моделирование компенсационных возмещений и оценки антропогенного воздействия жидких органических отходов на компоненты окружающей среды.

Выполнена оценка платы за размещение отходов, которая микроэлектроники на территории объекта выплаты экологического ущерба снизится на 70%.

9. Обоснован выбор наиболее малоотходного и энергетически эффективного метода переработки жидких органических отходов нано- и микроэлектроники. При использовании жидких органических отходов нано- и микроэлектроники в качестве источника энергии для собственных нужд, обеспечивается выход энергии до 2,5 МВтч в год.

10. Проведено комплексное исследование и разработана оптимальная система отходооборота и переработки жидких органических отходов нано- и микроэлектроники.

СПИСОК НАУЧНЫХ ТРУДОВ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ

Егоркина Р.Ю. Разработка предложений по модернизации системы обезвреживания отходов нано- и микроэлектроники // Микроэлектроника и информатика – 2010. 17-я всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов: Тезисы докладов - М.: МИЭТ, 2010.- С. 293.

Экологические аспекты микроэлектроники в производства фотошаблонов // «Известия высших учебных заведений.

Электроника».- М: МИЭТ, 2009.- № 6.-С. 85-86. (ВАК) Егоркина Р.Ю., Кольцов В.Б., Калинина И.С. Анализ и расчет отходообразования на предприятиях микроэлектроники города Зеленограда // Роль мелиорации в обеспечении продовольственной и экологической безопасности России.

Международная научно-практическая конференция: Материалы конференции – М.: МГУП, 2009.-С. 168-174.

Егоркина Р.Ю. Модернизация системы мониторинга отходов производства изделий нано- и микросистемной техники // «Известия высших учебных заведений. Электроника».- М:

МИЭТ, 2010. - №3.- С. 90-91. (ВАК) Егоркина Р.Ю., Овчинников В.А. Пути решения проблемы учета отходооборота хозяйствующих субъектов при наличии отдельных производственных территорий // Экономика, экология и общество России в 21-ом столетии. 11-я международная научно-практическая конференция: Сборник научных трудов - СПб.: Изд-во Политехн. ун-та, 2009. - ч. 3. - С.

Егоркина Р.Ю. Анализ способов установления ПДК биологическими методами // Методы и средства экологического мониторинга производств электронной техники: Сборник научных трудов. - М.: МИЭТ, 2008. – С. 66-69.

Егоркина Р.Ю. Разработка методологического обеспечения микросистемной техники на компоненты окружающей среды // Наука и образование – 2010. Международная научнотехническая конференция. - Мурманск: МГТУ, 2010. С 624- Егоркина Р.Ю. Расчет эффективности систем оборотного водоснабжения предприятий микроэлектроники // Методы и средства экологического мониторинга производств электронной техники: Сборник научных трудов - М.: МИЭТ, 2006.- С. 50-57.

Егоркина Р.Ю. О повышении экологической безопасности полигонов для захоронения отходов // Методы и средства экологического мониторинга производств электронной техники:

Сборник научных трудов - М.: МИЭТ, 2006. – С. 58-66.

Егоркина Р.Ю. Сравнительный анализ методов утилизации 10.

углеродосодержащих промышленных и твердых бытовых отходов // Методы и средства экологического мониторинга производств электронной техники: Сборник научных трудов М.: МИЭТ, 2008. – С. 61- 11.

энергосбережения при вторичном использовании отходов // Наука и образование – 2009. Международная научнотехническая конференция: Материалы конференции Мурманск: МГТУ, 2009. – С. 505- Егоркина Р.Ю. Способ переработки отходов, основанный на 12.

Микроэлектроника и информатика – 2008. 15-я всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов: Тезисы докладов- М.: МИЭТ, 2008 – С. 294.

Егоркина Р.Ю. Процесс горения в сверхадиабатическом 13.

режиме как способ утилизации твердых бытовых отходов // Наука и образование – 2008. Международная научнотехническая конференция: Сборник научных трудов Мурманск: МГТУ, 2008. – С. 364- 14.

фильтрационного горения для термической переработки отходов предприятий микроэлектроники г.Зеленограда // Микроэлектроника и информатика – 2009. 16-я всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов: Тезисы докладов - М.: МИЭТ, 2009. – С. 299-300.

Егоркина Р.Ю. Мониторинг отходов производства изделий 15.

нано- и микросистемной техники в системе оценки воздействия на окружающую среду // Экономика, экология и общество России в 21-ом столетии. 12-я международная научнопрактическая конференция: Сборник научных трудов - СПб.:

Изд-во Политехн. ун-та, 2010. – С. 315- Егоркина Р.Ю., Кольцов В.Б. Мониторинг оборота отходов 16.

предприятий микроэлектроники // Методы и средства контроля технологий, материалов и изделий в микро- и наноэлектронике:

Межвузовский сборник научных трудов - М.: МИЭТ, 2009.-С.

17.

фотокаталитических фильтров для нужд микроэлектроники // Микроэлектроника и информатика - 2007. 14-я всероссийская межвузовской научно-техническая конференция студентов и аспирантов: Тезисы докладов - М.: МИЭТ, 2007, – С. 374-375.

Рябышенков А.С., Ларионов Н.М., Кольцова О.В., Егоркина 18.

Р.Ю. Анализ состояния воздушной среды на территории предприятий микроэлектроники // Методы и средства контроля технологий, материалов и изделий в микро- и наноэлектронике:

Межвузовский сборник научных трудов - М.: МИЭТ, 2009.-С.

Егоркина Р.Ю. Информационное и методическое обеспечение 19.

импактного мониторинга отходов нано - и микроэлектроники // Промышленные и бытовые отходы: проблемы хранения, захоронения, утилизации, контроля. 14-я международная научно-практическая конференция: Сборник научных трудов Пенза: ПДЗ, 2010. - С 28-30.

Подписано в печать Зак. № Тираж экз. Уч.-изд.л. Формат 60x84 1/ Отпечатано в типографии МИЭТ.

124498, Москва, Зеленоград, проезд 4806, дом 5, МИЭТ.



 


Похожие работы:

«Цирухин Андрей Александрович РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ДЛЯ МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ НА ОСНОВЕ ДЛИННОПЕРИОДНОЙ ВОЛОКОННОЙ РЕШЁТКИ Специальности: 05.11.07 - Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание учной степени кандидата технических наук Санкт-Петербург - 2010 2 Работа выполнена в Санкт-Петербургском государственном электротехническом университете ЛЭТИ им. В.И. Ульянова (Ленина)...»

«БЕЛИК Алевтина Георгиевна СПОСОБЫ ФОРМИРОВАНИЯ ДИСКРЕТНЫХ ЗНАЧЕНИЙ ИНФОРМАТИВНЫХ СИГНАЛОВ ПРИ КОНТРОЛЕ РАСХОДА ВЕЩЕСТВ ПО РАСЧЕТНЫМ ПАРАМЕТРАМ И ПОКАЗАТЕЛЯМ Специальность: 05.11.13 – Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Омск – 2012 Работа выполнена в федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального образования Омский...»

«Солдатов Алексей Иванович УЛЬТРАЗВУКОВАЯ АППАРАТУРА С ВОЛНОВОДНЫМ АКУСТИЧЕСКИМ ТРАКТОМ Специальность 05.11.13 – Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук Томск 2011 Работа выполнена в ГОУ ВПО Национальный исследовательский Томский политехнический университет Научный консультант : доктор технических наук, профессор Евтушенко Геннадий Сергеевич Официальные оппоненты :...»

«Лочехин Алексей Владимирович ИНТЕГРИРОВАННАЯ СИСТЕМА С ИНЕРЦИАЛЬНЫМ МОДУЛЕМ НА ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОМ ГИРОСКОПЕ И МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ДАТЧИКАХ Специальность 05.11.03 – Приборы навигации АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук Санкт – Петербург 2010 -2 Работа выполнена в Санкт-Петербургском Государственном Университете Информационных Технологий, Механики и Оптики НАУЧНЫЙ РУКОВОДИТЕЛЬ: профессор базовой кафедры ИНС СПбГУ ИТМО при ОАО “Концерн “...»

«Чесноков Михаил Александрович МЕТОДЫ ШУМОПОНИЖЕНИЯ РЕЧЕВЫХ СИГНАЛОВ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ГРЕБЕНЧАТЫХ ФИЛЬТРОВ В ЦИФРОВЫХ СЛУХОВЫХ АППАРАТАХ Специальность 05.11.18 – Приборы и методы преобразования изображений и звука АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Санкт-Петербург – 2013 Работа выполнена на кафедре электротехники и технической электроники федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего профессионального...»

«Богдан Ольга Павловна ЗАКОНОМЕРНОСТИ ВОЗНИКНОВЕНИЯ АРТЕФАКТА ПСЕВДОПОТОК В НЕОДНОРОДНЫХ СРЕДАХ И ЕГО ПРИМЕНЕНИЕ В УЛЬТРАЗВУКОВОЙ ДИАГНОСТИКЕ Специальность: 05.11.17 — Приборы, системы и изделия медицинского назначения Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Томск 2012 Работа выполнена на кафедре Приборы и методы контроля качества ФГБОУ ВПО Ижевский государственный технический университет имени М.Т.Калашникова (ФГБОУ ВПО ИжГТУ имени...»

«Пинаев Александр Леонидович СОЗДАНИЕ И 3D-ХАРАКТЕРИЗАЦИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ НАНОСТРУКТУР НА ПОВЕРХНОСТИ ПОЛИМЕРА С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МЕТОДА ДИНАМИЧЕСКОЙ СИЛОВОЙ ЛИТОГРАФИИ И СКАНИРУЮЩЕЙ СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ Специальность: 05.11.01 – Приборы и методы измерения (механические величины) Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Санкт-Петербург 2011 Работа выполнена в федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего...»

«Комаров Владимир Владимирович Методы и средства дистанционной онкологической диагностики с применением технологии формирования панорамных изображений 05.11.16 – Информационно-измерительные и управляющие системы АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Москва – 2012 Работа выполнена в Национальном исследовательском ядерном университете МИФИ. Научный руководитель : доктор технических...»

«ТИМАКОВ Сергей Владимирович СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМИ РЕЖИМАМИ МАГНЕТРОННОГО НАНЕСЕНИЯ ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫХ ПЛЕНОК Специальности: 05.11.16 – Информационно-измерительные и управляющие системы (приборостроения); 05.11.14 – Технология приборостроения Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук ПЕНЗА 2011 Работа выполнена в государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования Пензенский государственный...»

«Сафатов Александр Сергеевич Разработка методического и технического обеспечения регионального мониторинга биоаэрозолей в атмосферном воздухе 05.11.13 – Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук Барнаул, 2011 2 Работа выполнена в Федеральном государственном учреждении науки Государственный научный центр вирусологии и биотехнологии Вектор Федеральной службы по надзору в...»

«Фесько Юрий Александрович РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННЫХ МЕТОДОВ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТРЕХМЕРНОЙ ФОРМЫ ОБЪЕКТОВ 05.11.07 – Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Новосибирск – 2014 2 Работа выполнена в Федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального образования Сибирская государственная геодезическая академия. Научный руководитель –...»

«Баринова Евгения Анатольевна РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДОВ ПОВЫШЕНИЯ ТОЧНОСТИ ГОНИОМЕТРИЧЕСКИХ СИСТЕМ Специальность: 05.11.16 – Информационно-измерительные и управляющие системы (приборостроение) АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук Санкт-Петербург – 2009 2 Работа выполнена в Санкт-Петербургском государственном электротехническом университете ЛЭТИ им. В.И. Ульянова (Ленина) Научный руководитель – доктор технических наук, старший...»

«Величко Елена Николаевна ПРОГРАММНО-АППАРАТНЫЙ КОМПЛЕКС ОЦЕНКИ ПСИХОФИЗИОЛОГИЧЕСКОГО СОСТОЯНИЯ СПОРТСМЕНА Специальность: 05.11.17 – Приборы, системы и изделия медицинского назначения Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Санкт-Петербург – 2010 Работа выполнена в Санкт-Петербургском государственном университете информационных технологий, механики и оптики Научный руководитель – доктор технических наук, профессор Константин Георгиевич...»

«Калинов Геннадий Алексеевич АВТОМАТИЗИРОВАННЫЕ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ЖИДКОСТИ В НАБЛЮДАТЕЛЬНЫХ СКВАЖИНАХ И РЕЗЕРВУАРАХ 05.11.16 – Информационно-измерительные и управляющие системы АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Хабаровск – 2010 2 Работа выполнена в государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования Тихоокеанский государственный университет Научный руководитель : доктор технических наук, доцент...»

«Чистяков Валерий Валентинович АРХИТЕКТУРА ПРИЕМНИКА СПУТНИКОВОЙ НАВИГАЦИИ ДЛЯ КОСМИЧЕСКИХ АППАРАТОВ И МЕТОДЫ ПЕРВИЧНОЙ ОБРАБОТКИ СИГНАЛОВ Специальность: 05.11.03 – Приборы навигации АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Санкт-Петербург – 2014 Работа выполнена в федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального образования Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет ЛЭТИ...»

«Кострин Дмитрий Константинович РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКОГО ПРОГРАММНО-АППАРАТНОГО КОМПЛЕКСА ДЛЯ АНАЛИЗА СВЕТОИЗЛУЧАЮЩИХ ДИОДОВ Специальность 05.11.07 – Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Санкт-Петербург 2013 2 Работа выполнена на кафедре электронных приборов и устройств СанктПетербургского государственного электротехнического университета ЛЭТИ им. В. И. Ульянова...»

«Ким Валерий Львович МЕТОДЫ И СРЕДСТВА ПОВЫШЕНИЯ ТОЧНОСТИ ИНДУКТИВНЫХ ДЕЛИТЕЛЕЙ НАПРЯЖЕНИЯ Специальность 05.11.01 – Приборы и методы измерения (измерение электрических и магнитных величин) Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук Томск – 2009 2 Работа выполнена в Томском политехническом университете Научный консультант : доктор технических наук, профессор Муравьев Сергей Васильевич Официальные оппоненты : доктор технических наук, с.н.с....»

«Агапов Михаил Юрьевич РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ГОНИОМЕТРИЧЕСКИХ СИСТЕМ КОНТРОЛЯ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ УГЛА Специальность: 05.11.16 – Информационно-измерительные и управляющие системы (приборостроение) АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Санкт-Петербург - 2009 Работа выполнена в Санкт-Петербургском государственном электротехническом университете ЛЭТИ имени В.И. Ульянова (Ленина) Научный руководитель – доктор технических наук, профессор...»

«Климантович Александр Александрович МЕТОДИКА ОПТИМИЗАЦИИ СОСТАВА СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ В СИСТЕМАХ МЕНЕДЖМЕНТА КАЧЕСТВА Специальность 05.11.15 – Метрология и метрологическое обеспечение АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Москва – 2013 Работа выполнена в Московском государственном институте электроники и...»

«Салагаева Анжелика Валериевна ИССЛЕДОВАНИЕ НУКЛОННОГО КОМПОНЕНТА ВТОРИЧНЫХ КОСМИЧЕСКИХ ЛУЧЕЙ КАК ИСТОЧНИКА РАДИАЦИОННОГО ЗАГРЯЗНЕНИЯ ВЕРХНЕЙ И НИЖНЕЙ ТРОПОСФЕРЫ 05.11.13 – приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Красноярск 2011 2 Работа выполнена в Учреждении Российской академии наук Красноярском научном центре Сибирского Отделения РАН Научный руководитель доктор...»








 
© 2013 www.diss.seluk.ru - «Бесплатная электронная библиотека - Авторефераты, Диссертации, Монографии, Методички, учебные программы»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.